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二維-三維坐標(biāo)系與矩陣轉(zhuǎn)換光刻成像模型中x-y坐標(biāo)系（全局）和i-j坐標(biāo)系（局部）示意圖如圖所示。

光學(xué)相干斷層掃描（OCT）是一種斷層成像系統(tǒng)，可以根據(jù)從圖像反射或散射的光生成橫截面或三維圖像。 醫(yī)用組織成像是該系統(tǒng)的最典型應(yīng)用，因?yàn)镺CT安全且具有高分辨率，儘管光可以穿透的深度限制在毫米量級(jí)。OCT測(cè)量系統(tǒng)依賴(lài)於邁克森干涉儀 (Michelson interferometer)，使得從參考物反射的光與樣品之間的相干性表明散射光源自樣品中與參考鏡的位置相對(duì)應(yīng)的深度。

本文聚焦厚掩模衍射下的光刻成像理論內(nèi)核，深挖三維矢量模型中偏振像差的作用機(jī)理，為先進(jìn)三維制程光刻精度提升提供關(guān)鍵理論支撐。 全局坐標(biāo)系示意圖02/厚掩模衍射下的光刻成像理論在三維矢量成像模型中，掩模圖形結(jié)構(gòu)尺寸接近甚至小于照明光的波長(zhǎng)，基爾霍夫薄掩模近似不能準(zhǔn)確描述光刻成像性能。

網(wǎng)格化的瓊斯光瞳獲取方法示意圖5.局部與全局坐標(biāo)系的變換二維矢量成像模型假設(shè)入瞳面和出瞳面之間各級(jí)衍射光的傳播方向與光軸平行，若光軸方向?yàn)閦軸，瓊斯光瞳建立在與z軸垂直的i?j坐標(biāo)系。準(zhǔn)確仿真像面成像結(jié)果需要出瞳面處x?y?z坐標(biāo)系下的三維偏振矢量，所以二維矢量成像模型在出瞳面處將偏振態(tài)從二維i?j坐標(biāo)系轉(zhuǎn)換到三維x?y?z坐標(biāo)系。

Figure 3 菲涅耳波帶片系統(tǒng)佈局圖但是，如果現(xiàn)在使用POP分析建模相同的情況，則將觀(guān)察到光束開(kāi)始聚焦在成像表面上，如圖4所示。在這裡，我們從束腰尺寸為2.6 mm的高斯光束開(kāi)始並將光束聚焦下降到束腰約0.4毫米的斑點(diǎn)。此範(fàn)例說(shuō)明只能使用POP模擬這種類(lèi)型的結(jié)構(gòu)。Figure 4 菲涅耳波帶片在成像平面上的 POP結(jié)果。

為了對(duì)VHG進(jìn)行建模，需要使用高效的Kogelnik理論或嚴(yán)格耦合波分析（RCWA）等算法。 圖1（a）所示的SRG，可以通過(guò)幾種方法製造，如電子束寫(xiě)入，光刻，納米壓印，或鑽石車(chē)削。與VHG不同，SRG沒(méi)有空間變化的折射率。相反，光柵的表面是由周期性的微結(jié)構(gòu)組成的。為了對(duì)SRG進(jìn)行建模，需要採(cǎi)用類(lèi)似傅里葉模態(tài)法（也叫RCWA）的算法。本文將介紹VHG的工具。

厘米級(jí)的3D建模要想實(shí)現(xiàn)車(chē)輛的輔助駕駛或更高階的自動(dòng)駕駛，車(chē)輛必須要能感知自己所處的環(huán)境，這對(duì)于汽車(chē)行業(yè)是一個(gè)新的挑戰(zhàn)，也是實(shí)現(xiàn)自動(dòng)駕駛最關(guān)鍵的一步。激光雷達(dá)可以以厘米級(jí)的精度對(duì)周?chē)h(huán)境進(jìn)行3D建模。

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