氣體質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter/Controller, MFM/MFC) 的核心優(yōu)勢在于,它直接測量單位時間內(nèi)流過管道的氣體質(zhì)量(通常單位為 kg/h, g/min 或 sccm/slpm 標準狀態(tài)下的體積流量),無論現(xiàn)場的溫度和壓力如何波動,質(zhì)量流量計都能確保輸送的氣體分子數(shù)量恒定,對于需要精確配比化學反應氣體的半導體蝕刻工藝,或是要求嚴格排放標準的煙氣監(jiān)測,這種“不受環(huán)境干擾”的穩(wěn)定性是體積流量計無法比擬的