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<p>本案例建立了一薄膜體聲波諧振器(FBAR)模型，一個(gè)硅襯底上挖一個(gè)空腔，然后在其上增加隔離層、下電極壓電層和上電極層，結(jié)構(gòu)如圖所示：</p><p><img src="https://img.jishulink.com/202205/imgs/c13a34fa2c6945ebbbe32c149f037a96.png" alt="Untitled1.png"></p><p class="ql-align-center

MIM 雙環(huán)諧振器傳感器的設(shè)計(jì)與優(yōu)化（一）核心結(jié)構(gòu)：MIM雙環(huán)諧振器的設(shè)計(jì)該傳感器采用MIM雙環(huán)諧振器結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)如圖1所示，核心由兩層金屬夾一層介質(zhì)基板構(gòu)成，通過納米環(huán)與垂直臂的巧妙布局實(shí)現(xiàn)電磁場強(qiáng)約束。

?有許多種類的納米波導(dǎo)濾波器：齒形等離子體波導(dǎo)[2]，盤型諧振腔Channel drop濾波器，矩形幾何諧振腔[3]以及環(huán)形諧振腔[4]。?MIM波導(dǎo)中，有兩種等離子體濾波器，即帶通和帶阻濾波器。

? 有許多種類的納米波導(dǎo)濾波器：齒形等離子體波導(dǎo)[2]，盤型諧振腔Channel drop濾波器，矩形幾何諧振腔[3]以及環(huán)形諧振腔[4]。 ? MIM波導(dǎo)中，有兩種等離子體濾波器，即帶通和帶阻濾波器。

? 有許多種類的納米波導(dǎo)濾波器：齒形等離子體波導(dǎo)[2]，盤型諧振腔Channel drop濾波器，矩形幾何諧振腔[3]以及環(huán)形諧振腔[4]。? MIM波導(dǎo)中，有兩種等離子體濾波器，即帶通和帶阻濾波器。

? 有許多種類的納米波導(dǎo)濾波器：齒形等離子體波導(dǎo)[2]，盤型諧振腔Channel drop濾波器，矩形幾何諧振腔[3]以及環(huán)形諧振腔[4]。 ? MIM波導(dǎo)中，有兩種等離子體濾波器，即帶通和帶阻濾波器。

例如: 光學(xué)諧振器的諧振可以通過壓電控制鏡修改諧振器的長度來調(diào)諧。這樣，可以調(diào)整光傳輸峰值。 校準(zhǔn)儀可以簡單的傾斜來改變它們的傳輸峰值。 聲光濾波器可以通過電輸入來調(diào)諧，這可以影響所產(chǎn)生聲波的振幅或頻率。參見聲光可調(diào)濾波器一文。

同時(shí)，不同于工作帶寬受諧振波長限制的諧振輔助或慢光結(jié)構(gòu)，本PSW MZM支持更寬的光學(xué)帶寬，展現(xiàn)出卓越的效率與高速性能。盡管受測試設(shè)備限制，我們已驗(yàn)證調(diào)制器帶寬可突破110GHz，通過優(yōu)化電學(xué)結(jié)構(gòu)可進(jìn)一步提升性能以探索太赫茲帶寬工作。

許多亞波長吸聲材料或設(shè)備是基于諧振結(jié)構(gòu)開發(fā)的，如裝飾膜諧振器、亥姆霍茲諧振器。帶有背腔的傳統(tǒng)微孔板也是低頻吸聲器的良好候選者。研究內(nèi)容：提出了一種基于微穿孔板和卷曲法布里-珀羅通道的混合聲學(xué)超材料吸收器，它可以有效地吸收非常低頻率（<500 Hz）的入射聲波能量，具有較寬的相對(duì)吸收帶寬。

雙曲超材料開辟了各種可能性，例如可提供先進(jìn)傳感功能的平面透鏡、無衍射成像、超靈敏光學(xué)顯微鏡、納米諧振器等。共振納米結(jié)構(gòu)共振納米結(jié)構(gòu)具有光-物質(zhì)相互作用所需的強(qiáng)度，電磁相互作用所需的高局域化，以及散射和吸收所需的大橫截面。其可以用作高效的超透鏡、聚光鏡、納米諧振器和亞波長波導(dǎo)。

雙曲超材料開辟了各種可能性，例如可提供先進(jìn)傳感功能的平面透鏡、無衍射成像、超靈敏光學(xué)顯微鏡、納米諧振器等。共振納米結(jié)構(gòu)共振納米結(jié)構(gòu)具有光-物質(zhì)相互作用所需的強(qiáng)度，電磁相互作用所需的高局域化，以及散射和吸收所需的大橫截面。其可以用作高效的超透鏡、聚光鏡、納米諧振器和亞波長波導(dǎo)。表面等離子體光子學(xué)的應(yīng)用表面等離子體光子學(xué)依賴于在金屬-電介質(zhì)界面的納米結(jié)構(gòu)中發(fā)生的光學(xué)過程。

由于液位檢測環(huán)境的復(fù)雜性和多變性，也為傳感器的應(yīng)用帶來了不同挑戰(zhàn)。對(duì)于密閉的空間水窖水位測量可采用超聲波法。 超聲波法是換能器將電功率脈沖轉(zhuǎn)換為超聲波，射向液面，經(jīng)液面反射后再由換能器將該超聲波轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。超聲波是機(jī)械波，傳播衰減小，界面反射信號(hào)強(qiáng)，且發(fā)射和接收電路簡單，因而應(yīng)用較為廣泛。

摘要 諧振波導(dǎo)光柵(RWG)由于其在波長、相位和偏振等方面的可調(diào)諧性，在研究和工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。RWG的結(jié)構(gòu)包含一個(gè)薄的高折射率波導(dǎo)薄膜，該薄膜與光柵接觸。波導(dǎo)支持多種導(dǎo)模，并且根據(jù)厚度的不同，模式的數(shù)量也不同。在這個(gè)例子中，我們應(yīng)用VirtualLab Fusion中的傅立葉模態(tài)法(FMM)嚴(yán)格分析RWG的性質(zhì)。

摘要 諧振波導(dǎo)光柵(RWG)由于其在波長、相位和偏振等方面的可調(diào)諧性，在研究和工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。RWG的結(jié)構(gòu)包含一個(gè)薄的高折射率波導(dǎo)薄膜，該薄膜與光柵接觸。波導(dǎo)支持多種導(dǎo)模，并且根據(jù)厚度的不同，模式的數(shù)量也不同。在這個(gè)例子中，我們應(yīng)用VirtualLab Fusion中的傅立葉模態(tài)法(FMM)嚴(yán)格分析RWG的性質(zhì)。

摘要 在本案例中，針對(duì)Nd:YAG激光器的諧振腔，我們基于λ/4膜堆結(jié)構(gòu)，通過理論分析確定了的初始膜系設(shè)計(jì)；同時(shí)利用電場分布分析對(duì)膜層結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化，使得在滿足高反射率要求的同時(shí)，薄膜整體的激光損傷閾值得到了顯著提高。 應(yīng)用場景 1064nm是Nd : YAG激光器常用的光譜線。為適應(yīng)激光波長漂移及不同激光模式的需求，必須在中心波長附近保持約20nm的寬帶高反射性能。

圖4 金屬諧振結(jié)構(gòu)在寬波長范圍下的反射率曲線和反射相位曲線同樣，也可以對(duì)金屬諧振結(jié)構(gòu)表面的電場和磁場進(jìn)行模擬和輸出，如圖5所示。這一步驟與超材料吸波體、電磁誘導(dǎo)透明和超材料濾波器等器件的模擬基本一致。與介質(zhì)天線結(jié)構(gòu)類似，后續(xù)也需要對(duì)不同參數(shù)下的金屬諧振結(jié)構(gòu)進(jìn)行掃描并將其相位進(jìn)行輸出，以便后續(xù)超透鏡的相關(guān)設(shè)計(jì)。

進(jìn)行彩色轉(zhuǎn)換的材料包括量子點(diǎn)(是指數(shù)納米大小的超微半導(dǎo)體粒子，該物質(zhì)隨著尺寸變化會(huì)帶來發(fā)光顏色的改變，用作電視顯示的發(fā)光體)，這種量子點(diǎn)要以薄膜的形式進(jìn)行涂層。 目前，噴墨方法已廣泛用于涂層，但為了實(shí)現(xiàn)沒有藍(lán)色漏光現(xiàn)象的完美的色彩變換，需要增加薄膜的厚度或使用額外的彩色濾光片。該技術(shù)存在這樣的問題點(diǎn)。

圖2:基于兩個(gè)45°棱鏡之間薄膜涂層的偏振立方體。 由于多層膜中的干涉效應(yīng)與波長有關(guān)，薄膜偏振器只能在有限的波長范圍和角度范圍內(nèi)工作。不過，通過對(duì)薄膜設(shè)計(jì)的適當(dāng)優(yōu)化，可以在幾十甚至幾百納米的范圍內(nèi)工作。然而，這種寬帶偏振器不能實(shí)現(xiàn)窄帶偏振器(激光線偏振器)的非常高的性能，窄帶偏振器針對(duì)窄波長范圍進(jìn)行了優(yōu)化。圖3顯示了中等工作帶寬為50nm的示例。

摘要 諧振波導(dǎo)光柵(RWG)由于其在波長、相位和偏振等方面的可調(diào)諧性，在研究和工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。RWG的結(jié)構(gòu)包含一個(gè)薄的高折射率波導(dǎo)薄膜，該薄膜與光柵接觸。波導(dǎo)支持多種導(dǎo)模，并且根據(jù)厚度的不同，模式的數(shù)量也不同。在這個(gè)例子中，我們應(yīng)用VirtualLab Fusion中的傅立葉模態(tài)法(FMM)嚴(yán)格分析RWG的性質(zhì)。

薄膜諧振器中的殘余應(yīng)力 您也可以對(duì)制造過程中產(chǎn)生的薄膜諧振器的熱殘余應(yīng)力進(jìn)行建模。使用固體力學(xué) 接口、熱膨脹 功能和特征頻率 研究功能，可以計(jì)算出熱應(yīng)力如何改變薄膜諧振器的諧振頻率。預(yù)應(yīng)力微鏡 另一個(gè)案例是預(yù)應(yīng)力微鏡模型。這種鏡子可以作為一個(gè)光學(xué)反射裝置使用。為了創(chuàng)造弧形表面或類似彈簧的結(jié)構(gòu)，MEMS 設(shè)備制造商有時(shí)會(huì)使用電鍍工藝在微鏡中引入殘余應(yīng)力。