薄膜體聲波諧振器(FBAR)壓電耦合仿真
瀏覽：1950
本案例建立了一薄膜體聲波諧振器(FBAR)模型，一個硅襯底上挖一個空腔，然后在其上增加隔離層、下電極壓電層和上電極層，結(jié)構(gòu)如圖所示：
幾何模型
仿真得到結(jié)構(gòu)隨頻率響應(yīng)的電勢和振幅分布，如下圖所示：
頻率為 3GHz
頻率為3.2 GHz
頻率為3.4 GHz
頻率為3.6 GHz
電勢分布云圖
頻率為3 GHz
頻率為3.2 GHz
頻率為3.4 GHz
頻率為3.6 GHz
振幅分布云圖
感興趣的朋友可下載模型源文件，歡迎交流合作
以下內(nèi)容為付費(fèi)內(nèi)容，請購買后觀看
模型源文件下載
技術(shù)鄰APP
工程師必備
工程師必備
- 項(xiàng)目客服
- 培訓(xùn)客服
- 平臺客服
TOP
