最后,在網格矢高凹面鏡周圍使用一對坐標中斷,并將 Tilt About Z 參數設置為 180 度,以考慮表面的正確方向。此時,通過干涉測量法對凹面進行測量的雙通道系統應如下所示。 我們可以根據表面矢高圖驗證反射鏡的形狀。與凸面鏡情況類似,為了分析表面矢高形狀,從當前矢高輪廓中移除基底半徑,以僅關注較小的制造誤差。
Morimoto等人的工作,我們選擇了三種類型的相位光柵,分別是交叉型,棋盤形和網格圖案。 在本案例中,光柵被用于單光柵干涉儀中,建模為僅相位透射函數(因為X射線波長遠小于光柵周期),并在VirtualLab Fusion中我們還檢查了其自成像。 建模任務 系統參數來自 N. Morimoto, et al., Opt.