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規格：2D MEMS掃描微鏡芯片 6. 激光掃描系統的光路圖 ? 由于VirtualLab Fusion的相對定位系統，只需要確定在z方向的距離。? 理想像差都包含在掃描鏡元件內。 7. 掃描操作中的鏡面傾斜? 因為掃描微鏡的傾斜與兩軸有關，傾斜操作并不是獨立的。

如圖所示，在實現表面微結構3D圖像的高精度重建與測量的同時，共聚焦顯微鏡以其明顯優于金相顯微鏡的橫向分辨率，也能夠提供表面微結構的清晰影像圖片，幫助更細致的觀察微結構的表面特征，從圖像可知，在高倍率鏡頭下，棱鏡峰側壁的刀具磨損紋路痕跡明顯，金字塔頂和底部界限分明，微透鏡表面粒子邊緣清晰。

規格：2D MEMS掃描微鏡芯片 6. 激光掃描系統的光路圖 ?由于VirtualLab Fusion的相對定位系統，只需要確定在z方向的距離。?理想像差都包含在掃描鏡元件內。 7. 掃描操作中的鏡面傾斜?因為掃描微鏡的傾斜與兩軸有關，傾斜操作并不是獨立的。

預應力微鏡 另一個案例是預應力微鏡模型。這種鏡子可以作為一個光學反射裝置使用。為了創造弧形表面或類似彈簧的結構，MEMS 設備制造商有時會使用電鍍工藝在微鏡中引入殘余應力。這個案例演示了如何建立這樣的模型，并在模型中包括了初始應力和應變。此外，該模型還演示了不同材料的變形結構有什么不同，例如鋁和鋼。鋁的微鏡變形和剝離。鋼的微鏡變形和剝離。

由光學函數計算反射鏡表面輪廓 計算反射鏡的表面輪廓? 這個案例演示了如何設計微結構反射鏡的光學函數。? 微結構反射鏡的加工需要表面輪廓，而不是一個光學函數。下一個將解釋基于給定的光學函數來計算微結構表面輪廓。? VirtualLab基于薄元近似方法（TEA）來計算表面輪廓結構的。

?反射函數與透射函數一樣，但為了得到類似的衍射角必須在旋轉方向上拉伸：→像素大小的變化： 反射函數像素大小 透射函數像素大小 5.設計步驟3-反射鏡高度輪廓?這個案例演示了如何設計一個微結構反射鏡的光學函數。?加工微結構反射鏡需要的是其表面高度輪廓，而不是一個光學函數。下面將解釋如何計算一個給定的光學函數的微結構反射鏡的表面高度輪廓。

同為微納米級表面光學分析儀器，白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡都具有非接觸式、高速度測量、高穩定性的特點，都有表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能，適用范圍廣，可測多種類型樣品的表面微細結構。但白光干涉儀與共聚焦顯微鏡還是有著不同之處。

由光學函數計算反射鏡表面輪廓 計算反射鏡的表面輪廓?這個案例演示了如何設計微結構反射鏡的光學函數。?微結構反射鏡的加工需要表面輪廓，而不是一個光學函數。下一個將解釋基于給定的光學函數來計算微結構表面輪廓。?VirtualLab基于薄元近似方法（TEA）來計算表面輪廓結構的。

行業應用與未來展望 目前，這一技術體系已廣泛應用于航空航天、能源電力、汽車制造及石油化工等關鍵領域，從檢查渦輪葉片的微裂紋，到監測風力發電機齒輪箱的磨損，視頻內窺鏡已成為保障關鍵資產安全運行的核心工具。

熒光顯微鏡主要應用在生物領域及醫學研究中，能得到細胞或組織內部微細結構的熒光圖像，在亞細胞水平上觀察諸如Ca2+ 、PH值，膜電位等生理信號及細胞形態的變化，是形態學，分子生物學，神經科學，藥理學，遺傳學等領域中新一代強有力的研究工具。以共聚焦技術為原理的共聚焦顯微鏡，是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。

LSST散射光模型包含了所有光學元件以及結構元件，表現為圓頂（1），望遠鏡裝置（2），和相機組件（3）。每個光學表面賦予微表面粗糙規格及顆粒清潔度，非光學表面賦予Z306 Aeroglaze（涂黑處理）。 關鍵面的分析是從2個視角分析照明模型元件：1）從探測器，2）從圓頂外部。

其中，VT6000系列共聚焦顯微鏡，在結構復雜且反射率低的表面3D微觀形貌重構與檢測方面具有不俗的表現。 一、結構深、角度大電子產品中一些光學薄膜表面存在一些特殊的微結構，這些結構表現為窄而深的“V形”、“金字塔”。白光干涉儀在測量此類結構時，由于形貌陡峭、角度大，無法形成干涉條紋信號，或條紋寬度過窄而無法準確地解調出深度信息。

應用：金屬板除粗糙度評價標準外，激光共聚焦顯微鏡還可以計算和評估表面封閉區域的微體積，適用于評估這些重要的功能性三維結構。結合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數據的功能。應用：摩擦學，腐蝕等表面工程磨痕的體積測量，粗糙度測量，表面形貌，腐蝕以及亞微米表面工程后的表面形貌。

行業應用與未來展望 目前，Wabtec旗下的原奧林巴斯工業內窺鏡解決方案已廣泛應用于航空航天、能源電力、汽車制造及石油化工等領域。從檢查渦輪發動機葉片的微裂紋，到探測風力發電機齒輪箱的磨損，這些設備始終守護著關鍵資產的安全。

除粗糙度評價標準外，還可以計算和評估表面封閉區域的微體積。應用拼接功能可以將測量范圍擴大到幾個毫米。VT6000激光共聚焦顯微鏡基于共聚焦顯微技術，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可以對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實現器件表面形貌3D測量。

該幾何結構由多層襯底構成，襯底為布拉格反射鏡，在襯底頂部有一個微透鏡，量子點位于頂層內：由布拉格反射鏡組成的微透鏡幾何結構示意圖（旋轉對稱）入射波長為969nm的近場和遠場圖下圖展示了球面微透鏡在不同極化方向時，三個偶極子的近場強度和遠場強度（具有不同比例的偽彩色圖）：x、y、z方向極化偶極子的強度（入射波長969nm,球面微透鏡）x、y、z方向極化偶極子的遠場上部

該幾何結構由多層襯底構成，襯底為布拉格反射鏡，在襯底頂部有一個微透鏡，量子點位于頂層內： 由布拉格反射鏡組成的微透鏡幾何結構示意圖（旋轉對稱） 入射波長為969nm的近場和遠場圖 下圖展示了球面微透鏡在不同極化方向時，三個偶極子的近場強度和遠場強度（具有不同比例的偽彩色圖）： x、y、z方向極化偶極子的強度（入射波長969nm,球面微透鏡

該幾何結構由多層襯底構成，襯底為布拉格反射鏡，在襯底頂部有一個微透鏡，量子點位于頂層內： 由布拉格反射鏡組成的微透鏡幾何結構示意圖（旋轉對稱） 入射波長為969nm的近場和遠場圖 下圖展示了球面微透鏡在不同極化方向時，三個偶極子的近場強度和遠場強度（具有不同比例的偽彩色圖）：

這顆行星被命名為K2-2016-BLG-0005Lb，它是開普勒2016年觀測數中確認的第一顆系外行星，該數據使用了引力微透鏡技術而不是開普勒最主要檢測方法檢測到27個可能的物體。（你知道開普勒望遠鏡最主要的檢測方法是什么嗎？）

VirtualLab Fusion：基本工具箱+衍射工具箱 1.建模任務 ? 這個案例演示了設計一個理想化微結構的光束整形鏡。? 光束整形鏡產生一個任意相位調制（非離散相位級次）。? 反射鏡將高斯激光束整形成一個圓形高帽。? 這個案例將演示計算反射鏡的光學函數。? 在開始此案例之前，我們迫切建議您閱讀案例LBS.001和545。