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它能夠實現納米級別的測量，對微觀結構的細節進行觀測和分析，揭示出表面的微觀特征；還具備高速掃描的能力，實現快速獲取樣品的形貌數據。 功能和作用介紹 作為一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，臺階儀可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

這一寬廣的放大倍數范圍使得它能夠適應從宏觀到微觀的不同觀測需求。在低放大倍數下，可以觀察樣品的整體形態；而在高放大倍數下，則可以深入探究樣品的微觀結構細節。大圖拼接功能進一步擴展了觀測視野，對于一些較大尺寸的樣品，可以通過拼接圖像獲得完整的微觀形貌。同時，該系列電鏡標配二次電子探頭和背散射電子探頭（四象限高分辨探頭）。

在現代科技發展的今天，微納米表面輪廓形貌測量已成為許多領域的重要研究內容。微納米表面輪廓形貌的測量可以幫助我們了解材料的物理特性、表面形態以及質量狀況。那么，有哪些微納米表面輪廓形貌測量儀器？ 1、白光干涉儀 白光干涉儀是一種常見的微納米表面輪廓儀測量儀器，常用于研究產品的微觀形貌和粗糙度。

由于電子的德布羅意波長非常短，透射電子顯微鏡的分辨率比光學顯微鏡高的很多，可以達到0.1~0.2nm，放大倍數為幾萬~百萬倍。因此，使用透射電子顯微鏡可以用于觀察樣品的精細結構，甚至可以用于觀察僅僅一列原子的結構，比光學顯微鏡所能夠觀察到的最小的結構小數萬倍。

2、車身涂層表面(外觀)涂漆和未涂漆的噴涂和未噴涂金屬片的表面外觀在微觀上是由微觀結構和波紋決定的。使用激光共聚焦顯微鏡可以用于測量事先定義的不同部位和不同生產工藝流程的車身表面并記錄單個波長范圍內的幅值。通過這些數據可以評估材料和制造條件的影響。一某個區域剖面的測量結果可以與汽車模型的設定值進行比較。3、墊圈激光共聚焦顯微鏡的測量速度比接觸式測量快數百倍。

臺階儀 臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺階高、膜層厚度、粗糙度等微觀形貌參數的測量。

納米科技的迅猛發展將我們的視野拓展到了微觀世界，而測量納米級尺寸的物體和現象則成為了時下熱門的研究領域。納米級測量儀器作為一種重要的工具，扮演著重要的角色。那么，如何才能準確測量納米級物體呢？在納米級測量中，由于物體尺寸的相對較小，傳統的測量儀器往往無法滿足精確的要求。而納米級測量儀器具備高精度、高分辨率和非破壞性的特點，可以測量微小的尺寸。

白光干涉儀可以精確測量其表面形貌，確保加工精度達到設計要求。在光學元件制造中，比如高精度的透鏡、反射鏡等，需要對其表面進行精確的形貌測量，以保證光學性能。 2. 表面粗糙度測量 原理：表面粗糙度是指加工表面具有的較小間距和微小峰谷的不平度。白光干涉儀通過測量微觀表面的高度變化來量化粗糙度。

它用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。對大坡度的產品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。 2、二維超精密測量 CP系列臺階儀，亞埃級垂直分辨率。作為一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。

（3）測量精度和范圍：白光干涉儀在測量微觀形貌方面精度高，適用于從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，測量范圍一般在納米到微米級別；激光干涉儀在測量大尺寸、長距離的位移和變形等方面精度高，相干長度長，測量范圍大。

表面形貌即為表面微觀幾何形態，不僅對接觸零件的機械和物理特性起著決定作用，而且對一些非接觸零件的光學和外部特性影響也很大。所以對表面形貌的精準測量能正確地識別出加工過程的變化和缺陷，對研究表面幾何特性與使用性能的關系、控制和改進加工方法等都有著顯著的意義。

白光干涉儀的形貌測量，以表面形貌為主，即工件某一個表面上的微觀形貌：1、微觀輪廓尺寸測量：主要是臺階高、槽深之類，涉及到最小縱向10nm量級，在驗證上可以與原子力顯微鏡、臺階儀交叉驗證。2、粗糙度測量：白光測量的粗糙度范圍從0.1nm到10μm級別。面和線粗糙度測量，最高可確保0.1nm的測量可靠性，不限制材質和形狀。

圖1 硼化物涂層噴涂后的形貌與物相表征：(a) HZB涂層的表面微觀形貌；(b) HZB涂層的截面微觀形貌；(c) HZB涂層的表面XRD圖譜；(d) HZRB涂層的表面微觀形貌；(e) HZRB涂層的截面微觀形貌；(f) HZRB涂層的表面XRD圖譜 圖2 硼化物涂層在燒蝕過程中的表面溫度曲線 圖3 硼化物涂層燒蝕前后的表面宏觀形貌照片

在形貌測量方面，不管是光滑表面還是粗糙表面，低反射率還是高反射率，都能提供精確的形貌測量參數，其測量參數包括樣品表面的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器，可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應面廣，數據復現性高、測量穩定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

通過TEM證實，表面球化衰退層微觀組織中的第二相粒子是MgS或(Mg，Mn)xSy粒子，具有FCC結構和近球形八面體形貌體征。

激光共聚焦顯微鏡作為一種高分辨顯微鏡，能夠對材料表面的微觀結構進行準確、快速的測量，提供更準確、全面的粗糙度信息。如VT6000共聚焦顯微鏡以針孔共聚焦技術為原理，測量復雜零件表面形貌及粗糙度時，對大傾角的產品有更好的成像效果，能夠針對性解決許多測量問題： 1、對微小結構或微紋理的材料表面 傳統的檢測方法往往無法準確描述其粗糙度情況。

臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，最高垂直分辨率可達亞埃米級，且垂直方向動態比率高，可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。探針物理接觸測量結果穩定可靠，重復性好，精準拿捏測量的輪廓形貌細節。

通過FIB-SEM對電極極片進行結構表征時，先利用聚焦離子束（FIB）在電極極片上將樣品切割為類正方體的形狀，通過SEM對樣品的指定側面進行形貌掃描得到側表面的結構表征，進一步通過FIB對此表面進行切除并用SEM繼續形貌掃描。通過FIB反復切割和SEM反復形貌掃描得到的一系列二維圖像，進而重構得到電極的三維微觀結構。

臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。 什么是臺階儀分辨率？ 臺階儀分辨率是指在臺階儀的測量范圍內，儀器能夠精確分辨出的最小距離。分辨率越高，儀器就能夠分辨出更小的表面形貌差異，得到更精確的測量結果。