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二次電子探頭主要用于獲取樣品表面的形貌信息，它對樣品表面的起伏和粗糙度較為敏感；背散射電子探頭則可以提供樣品內部的成分信息，通過分析背散射電子的強度和分布，可以了解樣品內部不同元素的分布情況。兩種探頭的結合使用，為全面分析樣品提供了有力的手段。 （3）真空系統與樣品臺 如前所述，真空系統具有高真空和低真空兩種模式，不同機型的抽真空時間也有所不同。

表面形貌即為表面微觀幾何形態，不僅對接觸零件的機械和物理特性起著決定作用，而且對一些非接觸零件的光學和外部特性影響也很大。所以對表面形貌的精準測量能正確地識別出加工過程的變化和缺陷，對研究表面幾何特性與使用性能的關系、控制和改進加工方法等都有著顯著的意義。

它能夠實現納米級別的測量，對微觀結構的細節進行觀測和分析，揭示出表面的微觀特征；還具備高速掃描的能力，實現快速獲取樣品的形貌數據。 功能和作用介紹 作為一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，臺階儀可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

它通過分析反射光的干涉模式來重建表面的三維形貌。 非接觸無損測量，超高縱向分辨率，測量從光滑到粗糙等各種精細器件表面。

在現代制造業，尤其是高端裝備、汽車工業、精密電子及新材料領域，產品的表面與三維形貌已不再是簡單的“外觀”問題，而是直接關乎性能、可靠性與壽命的核心質量指標。一個微米級的臺階、一道納米級的劃痕、一處難以察覺的翹曲變形，都可能成為產品失效的“阿喀琉斯之踵”。傳統接觸式測量或二維視覺檢測，在面對復雜曲面、異形結構及微觀形貌時，往往力不從心，數據片面，效率低下。

能測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。 3、臺階儀CP200臺階儀不同于光學輪廓儀和顯微鏡的是它的測量方式是接觸式探針測量。它可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器，可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應面廣，數據復現性高、測量穩定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

它用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。對大坡度的產品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。 2、二維超精密測量 CP系列臺階儀，亞埃級垂直分辨率。作為一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。

臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，最高垂直分辨率可達亞埃米級，且垂直方向動態比率高，可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。探針物理接觸測量結果穩定可靠，重復性好，精準拿捏測量的輪廓形貌細節。

白光干涉儀又叫做非接觸式光學3D表面輪廓儀，是以白光干涉掃描技術為基礎研制而成用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。它以白光干涉技術為原理，光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束，一束經被測表面反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化，能實現表面輪廓的三維重建并可進行輪廓尺寸分析。

它可以構建出樣品的三維表面形貌和內部結構，這對于分析材料的三維形態、孔隙結構和顆粒分布等特征十分重要。同時通過實時觀察樣品的三維成像過程，能更好的研究材料的動態變化和響應。 總的來說激光共聚焦顯微鏡具有高分辨率、非接觸式成像、三維成像和實時觀察等優點，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數都可以測量。

WD4000晶圓幾何形貌測量系統WD4000晶圓幾何形貌測量系統可以在一個測量系統中自動測量Wafer厚度、表面粗糙度、微納三維形貌。使用光譜共焦技術測量晶圓厚度、TTV、BOW、 WARP等參數，同時生成Mapping圖；采用白光干涉測量技術對Wafer表面進行非接觸式掃描同時建立表面3D層析圖像，顯示2D剖面圖和3D立體彩色視圖，高效分析表面的2D、3D參數。

b.表面球化衰退層微觀組織中的第二相粒子結構特征分析 圖4是第二相粒子TEM形貌圖片，從圖中可以清晰看出第二相粒子呈近球形八面體形貌。 圖5是第二相粒子TEM衍射圖譜，經過標定，該第二相粒子為FCC結構，a≈5.18A。

VT6000激光共聚焦顯微鏡基于共聚焦顯微技術，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可以對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實現器件表面形貌3D測量。在材料生產檢測領域中能對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

2、具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能，粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。應用：金屬板除粗糙度評價標準外，激光共聚焦顯微鏡還可以計算和評估表面封閉區域的微體積，適用于評估這些重要的功能性三維結構。結合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數據的功能。

▲圖3 齒輪微觀形貌/3/詳細的滑動軸承潤滑接觸副，結合高級彈性液力潤滑分析理論與各接觸部件運動結果，系統耦合結構剛度、潤滑油屬性與供油邊界、各部件潤滑換熱邊界以及接觸副表面微觀形貌。準確計算滑動軸承表面液動接觸結果，評估軸承潤滑情況，分析軸承摩擦磨損，對于軸承常見故障進行相應的診斷。

其中表面形貌的3D測量，包括了輪廓的測量以及表面粗糙度的測量，是微納結構測量最為基礎和重要的項目。目前常用的微結構表面形貌測量方法分為接觸式和非接觸式。運用非接觸式測量技術的3D光學檢測儀器，大多是基于光學方法（干涉顯微法、自動聚焦法、激光干涉法、光學顯微干涉法等），可對精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實現微納級測量，在微納米結構檢測中有著重要意義。

白光干涉儀主要用于測量微觀表面的形貌、粗糙度、臺階高度等參數。 1. 表面形貌測量 原理：白光干涉儀利用白光的干涉特性。當兩束相干光（一束參考光和一束從被測表面反射回來的光）疊加時，會形成干涉條紋。通過分析這些干涉條紋的形狀和位置，可以獲取被測表面的高度信息。因為不同位置的表面高度不同，反射光的光程差也不同，從而導致干涉條紋的變化。

2、光學3D表面輪廓儀（白光干涉儀）（1）產品概述光學3D表面輪廓儀主要是用于產品微觀形貌測量，主要是測微觀粗糙度，精度一般是亞微米和納級別的。能夠非接觸式快速測量精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸。（2）產品特點光學3D表面輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。

同為微納米級表面光學分析儀器，白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡都具有非接觸式、高速度測量、高穩定性的特點，都有表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能，適用范圍廣，可測多種類型樣品的表面微細結構。但白光干涉儀與共聚焦顯微鏡還是有著不同之處。