TM相對(duì)于TE的相移是一個(gè)相移補(bǔ)償器,如果引入到橢偏分析中,它只會(huì)移動(dòng)p和s偏振之間的相對(duì)相位差(??),而不會(huì)對(duì)p和s偏振分量的實(shí)際振幅產(chǎn)生影響(Ψ)。波長(zhǎng)和入射角的掃描橢偏分析器包括一個(gè)選項(xiàng),通過(guò)定義變化的范圍、步長(zhǎng)和步數(shù)來(lái)掃描波長(zhǎng)和入射角參數(shù)。請(qǐng)注意,掃描的波長(zhǎng)范圍必須在所定義樣品材料定義的波長(zhǎng)范圍內(nèi)。