當線偏振光(分解為一個偏振平行(??p,i)和一個垂直于入射面(??s,i)的波)與電介質相互作用時，偏振態會發生變化。從入射波和反射(或透射)波之間的相移(??)，以及反射(或透射)振幅的比值(tan(??))，可以推導出介質的介電特性(??, ??)。

橢圓偏振儀的基本原理
 

 

橢圓偏振儀是一種光學測量方法，通常用于確定薄膜的介電特性。測量涉及確定不同波長和入射角下從樣品反射或透射時光偏振態的變化。因此，它可用于表征成分、粗糙度、厚度、結晶性能、導電性和其他材料特性。它對入射輻射與所研究材料相互作用的光學響應變化非常敏感。此用例演示了橢圓偏振儀的基本原理，并說明了 VirtualLab Fusion中內置橢圓偏振分析器的使用。

級次選擇

分析器在計算過程中配置光學設置的方向和位置。因此，不需要配置光源的位置，光學系統中的探測器或光源中的偏振態。
 

該堆?？梢杂蓡蝹€或一定數量的層組成，也可以由1D或2D周期結構(光柵)組成。

橢偏分析器可以計算光在所定義堆棧上反射或透射的結果。