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摘要 掠入射反射光學(xué)在x射線束線中得到了廣泛的應(yīng)用，特別是在Kirkpatrick-Baez橢圓鏡系統(tǒng)中 [A. Verhoeven, et al., Journal of Synchrotron Radiation 27.5 (2020): 1307-1319]。使用兩個物理上分離的橢圓鏡聚焦光束的兩個維度即可完成聚焦。系統(tǒng)可以將入射的X射線聚焦到納米級的光斑尺寸。

摘要 掠入射反射光學(xué)在x射線束線中得到了廣泛的應(yīng)用，特別是在Kirkpatrick-Baez橢圓鏡系統(tǒng)中 [A. Verhoeven, et al., Journal of Synchrotron Radiation 27.5 (2020): 1307-1319]。使用兩個物理上分離的橢圓鏡聚焦光束的兩個維度即可完成聚焦。

摘要 掠入射反射光學(xué)在x射線束線中得到了廣泛的應(yīng)用，特別是在Kirkpatrick-Baez橢圓鏡系統(tǒng)中 [A. Verhoeven, et al., Journal of Synchrotron Radiation 27.5 (2020): 1307-1319]。使用兩個物理上分離的橢圓鏡聚焦光束的兩個維度即可完成聚焦。系統(tǒng)可以將入射的X射線聚焦到納米級的光斑尺寸。

摘要 掠入射反射光學(xué)在x射線束線中得到了廣泛的應(yīng)用，特別是在Kirkpatrick-Baez橢圓鏡系統(tǒng)中 [A. Verhoeven, et al., Journal of Synchrotron Radiation 27.5 (2020): 1307-1319]。使用兩個物理上分離的橢圓鏡聚焦光束的兩個維度即可完成聚焦。系統(tǒng)可以將入射的X射線聚焦到納米級的光斑尺寸。

但是，對於這種類型的DOE，光線追跡引擎將無法正常工作。垂直入射到DOE上的光線不會改變其方向，因為表面沒有傾斜。但是，垂直入射的光束可以用適當(dāng)設(shè)計的菲涅耳波帶片聚焦。此效果應(yīng)由OpticStudio中的POP處理。如圖3所示，在該系統(tǒng)中，準(zhǔn)直光束入射在玻璃板上。在玻璃板的背面，已使用菲涅耳波帶片表面類型創(chuàng)建了同心二元結(jié)構(gòu)。

用于X射線束的掠入射聚焦鏡 Kirkpatrick-Baez (KB)反射鏡將掠入射的X射線場聚焦成一個納米尺度的光斑。在這個用例中，演示了這種 KB 反射鏡系統(tǒng)的建模和評價。

X射線束的掠入射聚焦鏡 Kirkpatrick-Baez 鏡將掠入射X射線場聚焦到一個納米級的點上。本用例展示了Kirkpatrick-Baez鏡的分析設(shè)計過程和焦點區(qū)域的衍射圖樣。 用于X射線成像的單光柵干涉儀 在用于X射線的單光柵干涉儀中采用了三種類型的光柵(僅通過相位傳輸建模)，并對所選光柵的自成像進(jìn)行了研究。

在本通訊中，我們展示了兩個X射線成像實驗：(1)使用Kirkpatrick-Baez鏡創(chuàng)建納米級X射線成像點；(2)用單光柵干涉儀說明相襯X射線成像原理。 X射線束的掠入射聚焦鏡 Kirkpatrick-Baez 鏡將掠入射X射線場聚焦到一個納米級的點上。

摘要掠入射反射光學(xué)元件在X射線光路中廣泛使用，特別是Kirkpatrick-Baez（KB）橢圓反射鏡系統(tǒng)。（A. Verhoeven, et al., Journal of Synchrotron Radiation 27.5 (2020): 1307-1319）聚焦是通過使用兩個物理分離的橢圓反射鏡聚焦二維光束來實現(xiàn)的。進(jìn)入系統(tǒng)的X射線可以通過系統(tǒng)聚焦到納米尺度大小的光斑。

X射線束的掠入射聚焦鏡 Kirkpatrick-Baez 鏡將掠入射X射線場聚焦到一個納米級的點上。本用例展示了Kirkpatrick-Baez鏡的分析設(shè)計過程和焦點區(qū)域的衍射圖樣。 用于X射線成像的單光柵干涉儀 在用于X射線的單光柵干涉儀中采用了三種類型的光柵(僅通過相位傳輸建模)，并對所選光柵的自成像進(jìn)行了研究。

參數(shù)：非準(zhǔn)直入射激光束 4. 參數(shù)：準(zhǔn)直透鏡和后續(xù)光線 5. 參數(shù)：雙合透鏡(*)來自肖特2014玻璃 應(yīng)用示例詳細(xì)內(nèi)容 仿真&結(jié)果 1. 如何優(yōu)化(預(yù)設(shè)置) ? 通過雙合透鏡的優(yōu)化，使給定條件的準(zhǔn)直入射光束聚焦在透鏡后20mm處。

應(yīng)用示例詳細(xì)內(nèi)容 系統(tǒng)參數(shù) 1.應(yīng)用實例的內(nèi)容 該案例是一組相關(guān)示例中的一部分： BDS.0001，BDS.0002以及BDS.0003主要關(guān)于一個折射型光束傳輸系統(tǒng) 2.設(shè)計任務(wù) 3.參數(shù)：非準(zhǔn)直入射激光束 4.參數(shù)：準(zhǔn)直透鏡和后續(xù)光線 5.參數(shù)：雙合透鏡

操作原理非常簡單：對于準(zhǔn)直入射光束，輸出光束以預(yù)先設(shè)計的分離角度和強度出射DOE，通過光束整形器，激光束被聚焦成設(shè)計好的尺寸和形狀。 DOE的常見應(yīng)用包括醫(yī)療系統(tǒng)、測量以及科學(xué)/研究應(yīng)用——特別是DOE提供的激光束成形和均勻化技術(shù)對于材料加工至關(guān)重要1。 雖然DOE用途廣泛，功能強大，但由于功能強烈依賴于光波波長2 ，其具有很高的色散效應(yīng)。

操作原理非常簡單：對于準(zhǔn)直入射光束，輸出光束以預(yù)先設(shè)計的分離角度和強度出射DOE，通過光束整形器，激光束被聚焦成設(shè)計好的尺寸和形狀。 DOE的常見應(yīng)用包括醫(yī)療系統(tǒng)、測量以及科學(xué)/研究應(yīng)用——特別是DOE提供的激光束成形和均勻化技術(shù)對于材料加工至關(guān)重要1。 雖然DOE用途廣泛，功能強大，但由于功能強烈依賴于光波波長2 ，其具有很高的色散效應(yīng)。

菲涅爾波帶片可用于不同的波長，因此其在X射線成像、光譜學(xué)、攝影和望遠(yuǎn)鏡等許多應(yīng)用中極具價值。衍射分束器衍射分束器是將入射光光束分成多個光束輸出或衍射級次的光柵。每個輸出光束都保留與輸入光束相同的光學(xué)特性。這類器件通常用于激光等設(shè)備中的單色光，并針對特定的波長和衍射角進(jìn)行設(shè)計。

如果選擇"Both"，將為X和Y偏振的場和波長的每個組合構(gòu)建兩條光線。 如果"基板中的射線"選項被選中，則入射射線來自光柵基板。否則光線會從基板外射出并擊中光柵。 設(shè)置系統(tǒng)后，單擊"創(chuàng)建測試系統(tǒng)"，會在\Zemax\Samples\RCWA_Analyze_x.zmx生成相應(yīng)系統(tǒng)文件，其中x是累積的整數(shù)。該系統(tǒng)包括光柵、探測器和圖36中示例中的若干測試光線。

串行模式示例 1在這個范例中，我們演示了如何快速檢查全息上不同入射角的衍射效率。首先，我們打開附件中的native_vhg_kog_seq_example1.zar。在這個文件中，設(shè)計了一個全息，將45度的入射準(zhǔn)直光束衍射和聚焦到遠(yuǎn)處。圖 16. 布局途中的全像范例建構(gòu)系統(tǒng)的參數(shù)設(shè)置如下圖 17. 鏡頭數(shù)據(jù)編輯器中的全息建構(gòu)參數(shù)這意味著構(gòu)建系統(tǒng)如下圖所示。

如果光線確實沿Z軸準(zhǔn)直入射系統(tǒng)，則該表面可以提供理想的分析結(jié)果，并描述出P和S偏振態(tài)的變化及透過率的變化。OpticStudio也允許在斜入射的情況下使用瓊斯矩陣表面，但這種情況下該分析功能只能提供近似結(jié)果。并且矩陣無法考慮電場在Z方向上的分量產(chǎn)生的影響，即雙折射現(xiàn)象或菲涅爾效應(yīng)等。如果使用瓊斯矩陣來模擬光延遲器件，則入射光必須垂直于該表面。

如果光線確實沿Z軸準(zhǔn)直入射系統(tǒng)，則該表面可以提供理想的分析結(jié)果，并描述出P和S偏振態(tài)的變化及透過率的變化。OpticStudio也允許在斜入射的情況下使用瓊斯矩陣表面，但這種情況下該分析功能只能提供近似結(jié)果。并且矩陣無法考慮電場在Z方向上的分量產(chǎn)生的影響，即雙折射現(xiàn)象或菲涅爾效應(yīng)等。如果使用瓊斯矩陣來模擬光延遲器件，則入射光必須垂直于該表面。

混合模式的布局光線先經(jīng)過一個常規(guī)的序列模式系統(tǒng)，隨后入射到棱鏡或?qū)Ч夤艿确切蛄邢到y(tǒng)光路中對像面進(jìn)行照明。下圖展示了一個光線在混合模式系統(tǒng)中傳輸?shù)睦印Ｆ叫泄鈴妮斎肟谶M(jìn)入30-60-90棱鏡中，發(fā)生數(shù)次全反射，并最終由輸出口射出。射出后恢復(fù)光線追跡，經(jīng)過一個凸透鏡進(jìn)行聚焦。 混合模式的光線追跡要依靠名為輸入口和輸出口的端口。