重點(diǎn)研究的兩個(gè)方面是敏感度公差分析和蒙特卡羅公差分析。在靈敏度分析中,對(duì)各公差參數(shù)的光學(xué)性能進(jìn)行擾動(dòng),并對(duì)系統(tǒng)的各項(xiàng)性能進(jìn)行分析。在蒙特卡羅分析中,對(duì)所有參數(shù)添加隨機(jī)擾動(dòng)并分析統(tǒng)計(jì)結(jié)果。蒙特卡羅分析參數(shù)的設(shè)置是保證統(tǒng)計(jì)結(jié)果能夠反映實(shí)際制造誤差的關(guān)鍵。不幸的是,這一步經(jīng)常被忽略,要么是由于時(shí)間限制,要么是缺乏經(jīng)驗(yàn),要么是照明系統(tǒng)與成像系統(tǒng)的數(shù)據(jù)化分析(如MTF)相比過于抽象。
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w**elab86_Swsp ??? 3年前