Morimoto等人的工作,我們選擇了三種類型的相位光柵,分別是交叉型,棋盤形和網格圖案。 在本案例中,光柵被用于單光柵干涉儀中,建模為僅相位透射函數(因為X射線波長遠小于光柵周期),并在VirtualLab Fusion中我們還檢查了其自成像。 建模任務 系統參數來自 N. Morimoto, et al., Opt.
5.完成流道建模后,選取網格模型并將網格導出為 feb 檔。 注意: 導出 feb 文件前,應檢查自由表面及實體交叉部分。 步驟 3:新增金線/導線架信息 1.啟動 InPack 并選取 [檔案] (File)à[匯入] (Import)à[Moldex FEM 檔] (Moldex FEM File)。