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04/先進技術與未來發展方向 厚掩模衍射精準建模技術突破了傳統薄掩模近似瓶頸，基于嚴格耦合波分析（RCWA）與時域有限差分（FDTD）方法，構建厚掩模多層結構的電磁散射模型，通過旋轉變換與維度縮減算法降低計算開銷，實現掩模吸收層散射效應的精確表征，在14nm以下節點將衍射近場預測誤差控制在5%以內。

步驟3：Lumerical FDTD中的自由空間到導模接下來，我們將場導入Lumerical FDTD，并使用對齊參數設置自定義源。該FDTD允許我們非常籠統地定義源，并無縫地從自由空間移動到導模區域。計算傳輸功率，并將電磁場保存為最后一步的輸入。

? 可分析光學系統的三階像差、波像差、振幅、相位、能量等光信息。? 具有快速的序列與非序列光線追跡能力，光線追跡數量數沒有限制。? 可支持63核CPU的多線程運算能力，并支持分布式計算。

也就是說，我們先 “預知” 超表面的像差，在此基礎上，再借助人工智能來 “推算” 真實的圖像。AI與圖像后處理案例（來自原文）OAS 光學軟件的超表面設計功能非常便捷，該功能將構建更為高效、精準的超表面設計流程，進一步推動光學領域的發展。OAS 光學軟件已在超表面設計中展現卓越效能，為科研人員和工程師提供技術保障。

答：可以的，用section像差指定表面1和2的focl。 6. 問：TV畸變的文本怎么查看？我怎么控制TV畸變？答：SYNOPSYS沒有TV畸變，可以用公式自己算，本質都是一樣的。用控制畸變的方法就可以控制。 7. 問：如何提取HX 1 ，HY 1的值？答：YA AT HBAR = 0 TO 1 ? 8.

答：可以用 section 像差

現代光學建模技術包含了幾何光學和物理光學兩大領域，幾何光學以費馬原理為基礎，通過折反定律來進行光線追跡，能夠快速實現整個系統地仿真，但忽略了衍射和矢量等波動光學效應；物理光學通常以求解麥克斯韋方程組為主，如使用FDTD或者FEM等通用的全局麥克斯韋仿真求解器對整個系統進行求解，從而獲得完整的電磁場信息，但由于計算量大而無法對整個復雜系統進行仿真。