了解FPD（平板顯示）前段制造TFT Array Fab中的靜電問題 
BCE a-Si TFT產(chǎn)品的5層光罩生產(chǎn)流程而TFT array各膜層的大量生產(chǎn)工序涉及的工藝操作都會產(chǎn)生并會不斷累積高靜電，從而TFT array glass的靜電損壞來自于這些高靜電帶電的生產(chǎn)工序。
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Copper_9140 ??? 2年前
半導(dǎo)體零部件之晶圓塑料載具的釋氣性評價秘籍，學(xué)會省下1.5億！ 
塑料件——晶圓載具②FOUP/FOSB 晶圓載具種類豐富，且各有應(yīng)用，主要的晶圓載具有FOUP和FOSB： 前開式晶圓傳送盒FOUP（Front Opening Unified Pod），主要用于Fab廠中晶圓的保護、運送、儲存，是一種專屬于12寸晶圓廠內(nèi)的自動化傳送系統(tǒng)重要的傳載容器。
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國高材高分子材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心 ??? 10月前
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