1. 關(guān)鍵詞：

FPD：Flat Panel Display，平板顯示，當(dāng)今主要包括TFT-LCD、LTPS-AMOLED（剛性屏與柔性屏）

TFT：Thin Film Transistor，薄膜晶體管，LCD與AMOLED FPD顯示器的基本驅(qū)動元器件，當(dāng)前FPD的TFT技術(shù)類型包括a-Si、LTPS、IGZO等

TFT Array Glass：TFT陣列玻璃，上面包括LCD產(chǎn)品顯示的基本驅(qū)動電路元件，是LCD產(chǎn)品顯示面板兩塊玻璃之一

CF Glass：Color Filter Glass，彩色濾光玻璃，是LCD產(chǎn)品顯示面板的另一塊玻璃

LCD：Liquid Crystal Display，液晶顯示器

Mother glass：母板玻璃，F(xiàn)PD產(chǎn)品前段Fab與中段Cell的產(chǎn)品型態(tài)，一張mother glass上可以切出多塊顯示屏的面板（single panel）

2. FPD產(chǎn)品的全段制造過程

FPD產(chǎn)品的生產(chǎn)制造分為Front-end前段（TFT Array Fab， Color Filter Fab）、Middle-end中段（Cell成盒裝配）與Back-end后段（Module裝配）。其中以front-end Fab為FPD產(chǎn)品制造涉及的生產(chǎn)工藝技術(shù)最為核心（這也是后端模組工廠客戶以及FPD終端客戶很少有機會接觸到的產(chǎn)線），同時也是靜電影響FPD產(chǎn)品生產(chǎn)良率、產(chǎn)品可靠性最為主要的生產(chǎn)過程。

圖1.LCD FPD產(chǎn)品的全段制造階段

3. FPD產(chǎn)品Front-end Fab產(chǎn)線中的靜電風(fēng)險簡覽

FPD產(chǎn)品front-end Fab階段，以TFT array Fab的生產(chǎn)過程中的靜電導(dǎo)致的問題為主。

TFT Array Fab生產(chǎn)過程，就是在mother glass上通過與半導(dǎo)體wafer Fab類似的工藝技術(shù)制作出TFT器件為主的array線路的各膜層器件元件。而TFT的fab過程中TFT glass的各種產(chǎn)品型態(tài)就容易受到較強的靜電作用，從而導(dǎo)致其中局部線路元件的電性損壞，參見前述的文章《概說靜電對于微電子產(chǎn)業(yè)的影響》。

圖2. BCE a-Si TFT產(chǎn)品的5層光罩生產(chǎn)流程

而TFT array各膜層的大量生產(chǎn)工序涉及的工藝操作都會產(chǎn)生并會不斷累積高靜電，從而TFT array glass的靜電損壞來自于這些高靜電帶電的生產(chǎn)工序。

圖3.FPD前段制造TFT Array Fab段每膜層線路的主要生產(chǎn)制程與流程

TFT array Fab生產(chǎn)過程中的靜電產(chǎn)生與累積

TFT array fab中大量生產(chǎn)工序包括低壓真空環(huán)境下的沉積鍍膜、刻蝕與常壓環(huán)境下的涂覆、曝光、檢測等。

以常壓環(huán)境的生產(chǎn)設(shè)備exposure（曝光）為例，TFT array glass進入設(shè)備中，完成曝光過程，再送出設(shè)備的過程，就會在glass上累積大量的靜電（尤其是使用多年的設(shè)備，玻璃帶高靜電顯著更高）。而這種glass操作產(chǎn)生大量靜電的過程，在其他設(shè)備上也是常見的。

圖4.FPD前段制造中典型的靜電產(chǎn)生的情形：FPD玻璃在真空平臺上的放置-liftup過程

TFT array Fab產(chǎn)線中都有很多rolling transfer線體用于在不同工序間來穿傳送array glass。而glass在roller上的傳送過程就會不斷在glass背面累積大量的靜電。

圖5.FPD前段制造中玻璃rolling傳送中的靜電起電并會持續(xù)累積靜電的情形