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附件下載聯系工作人員獲取附件表面的干涉儀數據包含不規則度的相關信息，包括旋轉對稱不規則性 (RSI)、用于確定中空間頻率的斜率誤差以及其他表面形狀制造誤差。這些制造誤差取決于在球面或非球面上進行的拋光類型，可以是傳統的瀝青拋光、高速拋光以及磁流變拋光 (MRF)。

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這意味著從定性的角度來看，Zygo 測量和 OpticStudio 模擬方法之間的數據匹配。為了對結果進行數值驗證，除了定性分析之外，我們還可以使用 Wavefront Map 工具。由于這是一個模擬干涉儀如何測量表面形狀的雙通道模型，因此我們預計峰谷（0.433 waves）和 RMS（0.084 waves）波前誤差將與測量值相比翻倍，因為測量結果報告為透射。

2.1 分階段優化策略團隊采用“兩階段優化”策略，確保系統在全視場、全波段范圍內的高性能：第一階段：中心視場優化不考慮狹縫高度（僅聚焦中心視場），以“聚焦光斑均方根（RMS）半徑最小”為評價函數，優化變量包括：聚焦鏡的Zernike系數、準直鏡與聚焦鏡的傾斜角、像面到聚焦鏡的距離、像面傾斜角。當光斑尺寸接近艾里斑（光學系統的衍射極限）時，進入下一階段。

使用標準執行優化：具有四個環和六個臂的RMS波前質心，以及默認的空氣邊界約束（0 到 1000 毫米）。此外，該系統還受到遠心和-4倍放大倍率的限制（在此顯微鏡設計中，圖像是顛倒的）。我選擇這種顯微鏡設計是因為它相對容易設置并且具有實際應用。例如，機器視覺應用中通常需要遠心性（如此處討論）。我們始終保持優化簡單，本文無意描述顯微鏡設計的一般情況。

進一步的分析表明，5.125um的間隔可使物點的視覺、定性分離，如圖15所示。 圖 15 - 物平面中相距5.125um的一對點的圖像模擬結果。兩個較亮的像素似乎在強度上是可區分的。

使用標準執行優化：具有四個環和六個臂的 RMS 波前質心，以及默認的空氣邊界約束（0 到 1000 毫米）。此外，該系統還受到遠心和-4倍放大倍率的限制（在此顯微鏡設計中，圖像是顛倒的）。我選擇這種顯微鏡設計是因為它相對容易設置并且具有實際應用。例如，機器視覺應用中通常需要遠心性。我們始終保持優化簡單，本文無意描述顯微鏡設計的一般情況。