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半導體加工中的快速熱處理分析
在這種制造工藝中,硅
晶
圓在幾秒鐘或更短的時間內被加熱到超過 1000°C 的溫度。這是通過使用高強度的激光器或燈作為熱源來實現的。然后,硅
晶
圓的溫度被慢慢降低,以防止因熱沖擊而可能發生的任何變形或破裂。從激活摻雜物到化學氣相沉積,快速熱處理的應用范圍廣泛,這在我們之前的文章中討論過。 快速熱退火(RTA)是快速熱處理的一個
子
步驟。
3244
5
2
我是小能
??? 3年前
帖子
基于
comsol
的磁場對鋰電池的影響仿真分析模擬
金屬鋰
晶
枝眾所周知,利用磁場進行Cu、Co、Ni、Ni-Mo和其他金屬的電沉積,可以明顯地細化金屬樹枝的微觀結構和方向。鋰金屬陽極的沉積/剝離過程與這些金屬的電沉積是一致的,而鋰枝
晶
的生長是由電極表面的鋰離子濃度不均勻引起的,因此磁場的MHD效應有助于解決這一問題。Li+在磁場的作用下受到洛倫茲力的影響,促進其螺旋式移動并產生磁流體效應。
2622
格澤
??? 2年前
帖子
不同流道布置的平板式固體氧化物燃料電池蠕變損傷研究
建立平板式 SOFC 多物理場模型,將
COMSOL
多物理場數值模型計算得到的不均勻溫度場作為熱載荷施加到 ABAQUS 模型中,再基于 Wen-Tu 蠕變延性耗竭模型開發了蠕變損傷
子
程序,研究平板式 SOFC 同流、逆流、交叉流道設計下的蠕變行為。
5508
6
1
學時習
??? 2年前
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