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根據(jù)干涉理論，兩束光的相位差為零時，干涉相長，此時從輸出端輸出的光強最大，光信號可看作是“1”信號，當對其中的一臂施加外加電壓進行調(diào)制時，該臂的有效折射率發(fā)生變化，兩束光的相位發(fā)生改變，我們將兩束光的相位分別記為φ1（經(jīng)過調(diào)制的）和φ2：其中，β1、β1以及 、 分別表示光在兩臂中的相位傳播常數(shù)以及波導的有效折射率，λ為入射光的波長，當兩束光在合束器匯合時，存在相位差，進行干涉后

Ansys提供了一系列工具，例如Ansys Zemax OpticStudio光學系統(tǒng)設計與分析軟件，以及Ansys Mechanical結構有限元分析（FEA）軟件，幫助用戶了解各種光學器件和終端應用中的不同材料及其雙折射特性。這些應用還兼容MATLAB和Moldex3D等外部工具。

圖1（a）所示的SRG，可以通過幾種方法製造，如電子束寫入，光刻，納米壓印，或鑽石車削。與VHG不同，SRG沒有空間變化的折射率。相反，光柵的表面是由周期性的微結構組成的。為了對SRG進行建模，需要採用類似傅里葉模態(tài)法（也叫RCWA）的算法。本文將介紹VHG的工具。

B表示施加在磁光介質(zhì)上的磁通量。d表示材料的長度（單位米）。在OpticStudio中，旋轉角度可以通過以下瓊斯矩陣定義：然而該方法假設在Z方向上沒有電場傳播，并且也不會考慮材料本身在Z軸上的分量或額外的離軸傳播引入的額外旋轉角。

Ansys全新推出【Simulation Topics】系列專題，邀您一起探索仿真世界。本專題將以“一期一會”的形式，攜手各領域專家，圍繞Ansys全產(chǎn)品線的技術優(yōu)勢，帶您深入解析流體、結構、電子設計及電磁仿真、光學、光子學、半導體、自動駕駛、汽車、聲學、航空航天、材料等多個關鍵領域，讓復雜的專業(yè)知識觸手可及。

圖3 網(wǎng)格劃分2.4 邊界條件和預應力施加（1）邊界條件 柱端和梁端約束X、Y和Z方向的位移，模擬鉸接約束。（2）預應力施加 預應力鋼筋中的預應力是通過降溫進行施加的。2.5 加載制度（1）柱頂軸壓 以0.3為軸壓比控制值，在柱頂施加恒定軸向荷載N。

EBE：電子束蒸發(fā)，EBL：電子束光刻，ICP：感應耦合等離子體。彩色 SEM 圖像顯示等離子體 e) TFLN MZM，f) 相移器，以及 g為驗證該方案，我們自主制備了等離子體TFLN MZM（圖1d）。在180納米寬的等離子體槽上方進行傳統(tǒng)單步剝離工藝時，會導致金屬同時沉積在窄光刻膠的兩側壁上，在剝離過程中無法完全去除。

圖3 網(wǎng)格劃分2.4 邊界條件和預應力施加（1）邊界條件 柱端和梁端約束X、Y和Z方向的位移，模擬鉸接約束。（2）預應力施加 預應力鋼筋中的預應力是通過降溫進行施加的。2.5 加載制度（1）柱頂軸壓 以0.3為軸壓比控制值，在柱頂施加恒定軸向荷載N。