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干涉儀數(shù)據(jù)處理

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創(chuàng)建者：匿名 創(chuàng)建時間：2026-01-05
干涉儀數(shù)據(jù)處理圖1

干涉儀數(shù)據(jù)處理的實例教程

經(jīng)過《如何以數(shù)據(jù)的形式定義Zemax OpticStudio中的網(wǎng)格矢高表面》以及《如何以數(shù)據(jù)的形式定義Zemax OpticStudio中的網(wǎng)格相位表面》兩篇文章的鋪墊，今天讓我們來學習： 如何將ZYGO干涉儀的測量數(shù)據(jù)輸入Zemax OpticStudio 引言 本文示范了如何將ZYGO干涉儀的測量數(shù)據(jù)輸入Zemax OpticStudio。 閱讀本篇文章之前，請先參閱《如何以數(shù)據(jù)的方式定義網(wǎng)格矢高表面》以及《如何以數(shù)據(jù)的方式定義網(wǎng)格相位表面》。 本文中使用到的文件請從以下鏈接中下載： 鏈接: https://pan.baidu.com/s/12BjXyAlNeu6Ig4sLt9_TpQ 提取碼: ec47 正文 首先，ZYGO的測量數(shù)據(jù)是可以用Zemax OpticStudio的文件格式輸出的。輸出文件的后綴名為.zxgrd，我們可將其轉換為.DAT并將轉換后的文件，放置到 \Document\Zemax/Objects\Grid Files\ 路徑下。 下面是數(shù)據(jù)文件開頭部分的截圖，可以看到數(shù)據(jù)文件變成適用于網(wǎng)格矢高 (Grid Sag) 表面的輸入格式了。 X, Y 數(shù)據(jù)點的總數(shù)為723個，因為數(shù)據(jù)間距為0.01344，可得知這份數(shù)據(jù)的直徑為9.72 mm。第一行最后的標志 (flag) 被設定為0，這代表單位是 mm。 不過，如果數(shù)據(jù)測量的是穿透波前的話，這個數(shù)據(jù)就必須以相位數(shù)據(jù)的形式來輸入。
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如何將ZYGO干涉儀的測量數(shù)據(jù)輸入Zemax OpticStudio 如何將ZYGO干涉儀的測量數(shù)據(jù)輸入Zemax OpticStudio 引言 本文示范了如何將ZYGO干涉儀的測量數(shù)據(jù)輸入Zemax OpticStudio。 閱讀本篇文章之前，請先參閱 《如何以數(shù)據(jù)的方式定義網(wǎng)格矢高表面》 以及 《如何以數(shù)據(jù)的方式定義網(wǎng)格相位表面》。 本文中使用到的文件請從以下鏈接中下載： 鏈接: https://pan.baidu.com/s/12BjXyAlNeu6Ig4sLt9_TpQ 提取碼: ec47 正文 首先，ZYGO的測量數(shù)據(jù)是可以用Zemax OpticStudio的文件格式輸出的。輸出文件的后綴名為.zxgrd，我們可將其轉換為.DAT并將轉換后的文件，放置到 \Document\Zemax/Objects\Grid Files\ 路徑下。 下面是數(shù)據(jù)文件開頭部分的截圖，可以看到數(shù)據(jù)文件變成適用于網(wǎng)格矢高 (Grid Sag) 表面的輸入格式了。 X, Y 數(shù)據(jù)點的總數(shù)為723個，因為數(shù)據(jù)間距為0.01344，可得知這份數(shù)據(jù)的直徑為9.72 mm。第一行最后的標志 (flag) 被設定為0，這代表單位是 mm。 不過，如果數(shù)據(jù)測量的是穿透波前的話，這個數(shù)據(jù)就必須以相位數(shù)據(jù)的形式來輸入。
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附件下載 聯(lián)系工作人員獲取附件 表面的干涉儀數(shù)據(jù)包含不規(guī)則度的相關信息，包括旋轉對稱不規(guī)則性 (RSI)、用于確定中空間頻率的斜率誤差以及其他表面形狀制造誤差。這些制造誤差取決于在球面或非球面上進行的拋光類型，可以是傳統(tǒng)的瀝青拋光、高速拋光以及磁流變拋光 (MRF)。由于很難使用 Zernike 項來模擬所有這些類型的表面形狀變化，因此確定表面誤差如何影響整體系統(tǒng)級性能的最佳方法是在 OpticStudio 中將測得的干涉儀數(shù)據(jù)直接鏈接到光學表面。在本文中，我們將演示如何根據(jù)表面形狀和方向?qū)?em>干涉測量數(shù)據(jù)導入 OpticStudio。 介紹 .INT 文件格式的干涉儀數(shù)據(jù)可以轉換為 .DAT 文件格式并附加到 OpticStudio 中的 Grid Sag 表面。但是在數(shù)據(jù)導入之前，用戶可能需要通過旋轉、翻轉來調(diào)整干涉數(shù)據(jù)的方向。數(shù)據(jù)的方向取決于表面形狀和測量數(shù)據(jù)的鏡頭表面。 為了理解完整的工作流程，我們將執(zhí)行一個理想實驗。假設我們有一個等凹或等凸透鏡。此外，讓我們假設來自每個表面的干涉數(shù)據(jù)彼此相同，雖然現(xiàn)實中是極不可能的，但我們將對這個練習做出假設。 問題如下：我們是否可以在 OpticStudio 中將相同的干涉儀數(shù)據(jù)附加到鏡頭模型的左側和右側以模擬其測量性能？答案是否定的，我們需要調(diào)整數(shù)據(jù)方向，我們將在后面的討論中看到。 干涉儀文件格式 Zygo 使用原生 XXX.DAT 文件格式作為其內(nèi)部定義格式，但它將測量結果導出為廣泛使用的 XXX.INT 干涉文件格式，其他干涉儀制造商也共享該格式。為了使我們的模型基于真實的測量數(shù)據(jù)，我們必須生成 Zygo 或其他干涉儀 XXX.INT 文件。 然后，需要將 XXX.INT 干涉文件轉換為 OpticStudio 的 YYY.DAT 文件格式，以附加到OpticStudio網(wǎng)格矢高面上。
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附件下載 聯(lián)系工作人員獲取附件 表面的干涉儀數(shù)據(jù)包含不規(guī)則度的相關信息，包括旋轉對稱不規(guī)則性 (RSI)、用于確定中空間頻率的斜率誤差以及其他表面形狀制造誤差。這些制造誤差取決于在球面或非球面上進行的拋光類型，可以是傳統(tǒng)的瀝青拋光、高速拋光以及磁流變拋光 (MRF)。由于很難使用 Zernike 項來模擬所有這些類型的表面形狀變化，因此確定表面誤差如何影響整體系統(tǒng)級性能的最佳方法是在 OpticStudio 中將測得的干涉儀數(shù)據(jù)直接鏈接到光學表面。 在第一部分文章：《Ansys Zemax | 在 OpticStudio 中將干涉儀數(shù)據(jù)附加到光學表面 – 第一部分中》，我們演示了如何根據(jù)表面形狀和方向?qū)?em>干涉測量數(shù)據(jù)導入 OpticStudio，本部分文章我們將引入更多的實例演示。 雙凸透鏡 作為實際演示案例，讓我們使用與之前相同的規(guī)格對雙凸透鏡進行建模： 通光孔徑：25.85 mm 半徑：111.9837 mm [注：半徑在 Zygo 生成的XXX.DAT數(shù)據(jù)文件中標明] 峰谷波前誤差：0.433 waves，RMS 波前誤差：0.084 waves，測試波長 632.8 nm 為了驗證我們可以附加 OpticStudio 生成的 YYY.DAT 文件至鏡頭的前表面，并針對鏡頭后表面使用倒置和翻轉數(shù)據(jù)文件，我們創(chuàng)建了一個鏡頭系統(tǒng)。鏡頭中名義雙凸透鏡與導入數(shù)據(jù)透鏡一起完美地聚焦準直入射光束，而不會產(chǎn)生殘余波前誤差。我們使用多重結構系統(tǒng)，其中第一個結構包含名義雙凸透鏡，而第二個結構添加了干涉測量結果。 與以前類似，光圈類型設置為按光闌尺寸浮動，但光闌表面是具有 25.85 mm半直徑的虛擬表面，位于雙凸透鏡前 5 mm處。
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附件下載 聯(lián)系工作人員獲取附件 表面的干涉儀數(shù)據(jù)包含不規(guī)則度的相關信息，包括旋轉對稱不規(guī)則性 (RSI)、用于確定中空間頻率的斜率誤差以及其他表面形狀制造誤差。這些制造誤差取決于在球面或非球面上進行的拋光類型，可以是傳統(tǒng)的瀝青拋光、高速拋光以及磁流變拋光 (MRF)。由于很難使用 Zernike 項來模擬所有這些類型的表面形狀變化，因此確定表面誤差如何影響整體系統(tǒng)級性能的最佳方法是在 OpticStudio 中將測得的干涉儀數(shù)據(jù)直接鏈接到光學表面。在本文中，我們將演示如何根據(jù)表面形狀和方向?qū)?em>干涉測量數(shù)據(jù)導入 OpticStudio。 介紹 .INT 文件格式的干涉儀數(shù)據(jù)可以轉換為 .DAT 文件格式并附加到 OpticStudio 中的 Grid Sag 表面。但是在數(shù)據(jù)導入之前，用戶可能需要通過旋轉、翻轉來調(diào)整干涉數(shù)據(jù)的方向。數(shù)據(jù)的方向取決于表面形狀和測量數(shù)據(jù)的鏡頭表面。 為了理解完整的工作流程，我們將執(zhí)行一個理想實驗。假設我們有一個等凹或等凸透鏡。此外，讓我們假設來自每個表面的干涉數(shù)據(jù)彼此相同，雖然現(xiàn)實中是極不可能的，但我們將對這個練習做出假設。 問題如下：我們是否可以在 OpticStudio 中將相同的干涉儀數(shù)據(jù)附加到鏡頭模型的左側和右側以模擬其測量性能？答案是否定的，我們需要調(diào)整數(shù)據(jù)方向，我們將在后面的討論中看到。 干涉儀文件格式 Zygo 使用原生 XXX.DAT 文件格式作為其內(nèi)部定義格式，但它將測量結果導出為廣泛使用的 XXX.INT 干涉文件格式，其他干涉儀制造商也共享該格式。為了使我們的模型基于真實的測量數(shù)據(jù)，我們必須生成 Zygo 或其他干涉儀 XXX.INT 文件。
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干涉儀數(shù)據(jù)處理圖2

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如何將ZYGO干涉儀的測量數(shù)據(jù)輸入Zemax OpticStudio 如何將ZYGO干涉儀的測量數(shù)據(jù)輸入Zemax OpticStudio 引言 本文示范了如何將ZYGO干涉儀的測量數(shù)據(jù)輸入Zemax OpticStudio。 閱讀本篇文章之前，請先參閱 《如何以數(shù)據(jù)的方式定義網(wǎng)格矢高表面》 以及 《如何以數(shù)據(jù)的方式定義網(wǎng)格相位表面》。 本文中使用到的文件請從以下鏈接中下載：
經(jīng)過《如何以數(shù)據(jù)的形式定義Zemax OpticStudio中的網(wǎng)格矢高表面》以及《如何以數(shù)據(jù)的形式定義Zemax OpticStudio中的網(wǎng)格相位表面》兩篇文章的鋪墊，今天讓我們來學習： 如何將ZYGO干涉儀的測量數(shù)據(jù)輸入Zemax OpticStudio 引言 本文示范了如何將ZYGO干涉儀的測量數(shù)據(jù)輸入Zemax OpticStudio。 閱讀本篇文章之前，請先參閱