光場(chǎng)偏差分析的案例
[VirtualLab] 光柵內(nèi)部光場(chǎng)分析器
摘要
組件內(nèi)部光場(chǎng)分析器： FMM使用戶能夠研究微觀和納米結(jié)構(gòu)內(nèi)的電磁場(chǎng)分布。為此，通過(guò)應(yīng)用傅里葉模態(tài)法/嚴(yán)格耦合波分析（FMM/RCWA）計(jì)算任意周期結(jié)構(gòu)，包括透射和反射光柵、介電或金屬光柵。也可以指定領(lǐng)域的哪一部分應(yīng)該可視化：正向模式，反向模式，或兩者結(jié)合。
尋找組件內(nèi)部光場(chǎng)分析器： FMM
組件內(nèi)部光場(chǎng)分析器： FMM是光柵光學(xué)設(shè)置的專用功能，它提供了光柵結(jié)構(gòu)內(nèi)部電磁場(chǎng)的可視化。
評(píng)估模式
評(píng)估區(qū)域
光柵類型
光柵表面的采樣
光柵表面的采樣
文件信息
更多閱讀
? Thin Element Approximation (TEA) vs. Fourier Modal Method (FMM) for Grating Modeling
? Configuration of Grating Structures by using special Media
? Analysis Blazed Grating Analysis by Fourier Modal Method
展開 JCMSuite應(yīng)用：光場(chǎng)通過(guò)六方晶胞的近場(chǎng)分析
下圖顯示了當(dāng)波長(zhǎng)為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度
S偏振光照明的場(chǎng)矢量
P偏振光照明的場(chǎng)矢量
后處理傅里葉變換計(jì)算透射衍射級(jí)次的振幅。
光 · 學(xué)堂 | VirtualLab Fusion干涉檢測(cè)技術(shù)|干涉原理分析及光學(xué)系統(tǒng)建模 2026/6/23-24（上海場(chǎng)）
對(duì)計(jì)量系統(tǒng)的分析不可避免地需要考慮物理光學(xué)效應(yīng)(相干、偏振、干涉、行射等)，以產(chǎn)生現(xiàn)實(shí)、充分的結(jié)果。VirtualLab Fusion為這種分析提供了必要的工具，利用快速物理光學(xué)理論來(lái)促進(jìn)快速仿真。
干涉系統(tǒng)被廣泛地應(yīng)用于光學(xué)測(cè)量和光學(xué)檢測(cè)等領(lǐng)域。對(duì)這類系統(tǒng)工作原理的討論必須要結(jié)合物理光學(xué)的知識(shí)，如光的電磁場(chǎng)表示、光的波動(dòng)性、光場(chǎng)的疊加等。顯微系統(tǒng)也是組成光學(xué)測(cè)量的一個(gè)重要組成部分，課程內(nèi)容中也涵蓋了高NA系統(tǒng)，微觀與宏觀相結(jié)合的完整系統(tǒng)仿真如晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，摩爾紋系統(tǒng)等。該課程無(wú)需軟件基礎(chǔ)。
課程大綱
1
VirtualLab Fusion軟件介紹
光之?dāng)?shù)字模型平臺(tái)原理介紹
電磁場(chǎng)的表達(dá)形式
VirtualLab Fusion用戶界面的基礎(chǔ)操作
2
基礎(chǔ)知識(shí)簡(jiǎn)介
干涉發(fā)生的條件
楊氏雙縫干涉實(shí)驗(yàn)特性
激光邁克爾遜干涉--非序列追跡和參數(shù)掃描功能介紹
3
干涉測(cè)量系統(tǒng)建模
利用FP腔研究鈉原子D線光譜
光學(xué)相干層析掃描系統(tǒng)
Inces - Gaussian光束產(chǎn)生渦旋陣列激光光束的觀測(cè)
利用剪切干涉法的準(zhǔn)直測(cè)量
基于菲索干涉儀的面型檢測(cè)
Mirau干涉儀
基于零位檢測(cè)的CGH設(shè)計(jì)
4
微觀與宏觀結(jié)合的完整系統(tǒng)仿真
結(jié)構(gòu)光照明的顯微鏡系統(tǒng)
用于微結(jié)構(gòu)晶圓檢測(cè)的光學(xué)系統(tǒng)
摩爾紋的仿真
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