像差仿真的案例
圓形域澤爾尼克像差模擬仿真
[圖片]
ASAP 中人眼模擬的亮點
與ASAP一起使用的先進的人眼模型(AHEM)演示，包括眼表成像、人工晶狀體建模、像差仿真、GRIN晶狀體建模、視網(wǎng)膜假體建模、雙目眼模型、眼鏡和接觸鏡建模、視覺系統(tǒng)優(yōu)化等。
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光刻技術(shù)第9期 | 二維與三維矢量成像模型對比-含相差物鏡的應(yīng)用
特殊場景的模型差異
在某些仿真條件下（如特定偏振與掩模組合），兩模型差異可低至10-5量級（最大絕對差值1.7x10-4、平均絕對值差5.3x10-5、差值均方根7.9x10-5），但此類場景不影響“含像差時三維模型更精確”的核心結(jié)論。
仿真條件：采用L&S 掩模，中心點光源偏振照明。物鏡 F1視場點的波像差和偏振像差，仿真像面y=0的相對強度分布。
在上述仿真條件下，利用三維矢量成像模型計算空間像的相對強度分布，并與二維矢量成像模型計算的空間像相對強度分布對比。二維和三維矢量成像模型仿真結(jié)果的差異如圖所示。
二維和三維矢量成像模型仿真結(jié)果的差異
結(jié)論：在某些仿真條件下，兩模型仿真結(jié)果差異并不明顯。
03/先進技術(shù)與未來發(fā)展方向
針對球差、彗差及偏振像差等，構(gòu)建“像差-矢量光場-深度衍射”耦合模型，采用瓊斯矩陣與澤尼克多項式聯(lián)合表征像差介導(dǎo)的偏振演化，結(jié)合嚴格耦合波分析（RCWA）精準計算厚掩模衍射，14nm節(jié)點三維圖形CD預(yù)測誤差可以≤3.5nm；開發(fā)像差權(quán)重動態(tài)分配算法，聚焦高影響像差區(qū)域優(yōu)化，通過光源-掩模-像差協(xié)同調(diào)控，可以將像差導(dǎo)致的CD偏差從15nm降至4nm。
展開 光刻技術(shù)第8期 | 二維與三維矢量成像模型對比-零波像差非雙遠心成像
01/簡介
零波像差非雙遠心物鏡憑借“波前畸變趨近于零、適配大視場與復(fù)雜物距場景”的優(yōu)勢，在精密光刻、微納檢測等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，但其視場邊緣物像比例變化特性，對成像模型的維度適配性提出更高要求。
二維矢量成像模型雖能表征平面圖形偏振態(tài)，卻因忽略深度光場耦合、厚掩模衍射及視場-深度耦合效應(yīng)，無法精準預(yù)測三維圖形成像質(zhì)量。三維矢量成像模型通過全空間矢量光場建模，可精準捕捉非雙遠心光路下三維偏振演化與深度衍射規(guī)律，成為破解瓶頸的關(guān)鍵。本文以零波像差非雙遠心成像為視角，對比二維與三維模型適配性，重點聚焦三維模型應(yīng)用機理，為先進三維制程光刻精度提升提供支撐。
02/三維矢量成像模型在零波像差非雙遠心物鏡中的應(yīng)用
遠心度與模型差異的量化關(guān)系
各級衍射光主光線轉(zhuǎn)動關(guān)系示意圖
物鏡像方遠心度衡量：投影物鏡像方主光線方向單位矢量[kx,ky,kz]，用kx/kz,ky/kz表示。
模型差異隨kx/kz的變化：kx/kz增大10倍，仿真結(jié)果差異增大100倍左右；當kx/kz從10-3變化到10-1時，差異從10-6量級變化到10-2量級。
零像差非雙遠心物鏡下的差異量化
仿真條件：接觸孔掩模、中心點光源X偏振照明、物鏡像方kx/ky=0.1、瓊斯矩陣為單位矩陣。
掩模圖形示意圖
差異結(jié)果：二維與三維模型空間像相對強度分布差異在10-2量級，最大絕對差值9.3x10-2、平均絕對值差4.5x10-2、差值均方根5.1x10-2。
二維矢量成像模型與三維矢量成像模型仿真零像差非遠心物鏡成像結(jié)果
結(jié)論：三維矢量成像模型預(yù)測非雙遠心物鏡成像更精確。
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光刻技術(shù)第4期 | 光刻成像理論
它在局部坐標系和全局坐標系下分別構(gòu)建理論框架，局部坐標系以單個圖形單元為原點，可簡化局部光場計算，實現(xiàn)單個圖形 CD 均勻性與邊緣精度的精細優(yōu)化；全局坐標系以整個曝光視場為基準，能分析全視場偏振像差的空間分布差異，實現(xiàn)全視場二維圖形成像均勻性的全局優(yōu)化。
三維嚴格矢量光刻成像模型主要針對3D集成電路（如3DNAND、3DIC堆疊）的三維圖形，需解決立體結(jié)構(gòu)對光場傳播與偏振態(tài)的調(diào)制問題。局部坐標系以三維圖形的深度方向為Z軸，重點分析深度方向的偏振光能量分布與光刻膠顯影速率的關(guān)聯(lián)；全局坐標系將三維圖形的堆疊結(jié)構(gòu)納入全視場分析，考慮“視場位置-深度方向”的耦合效應(yīng)，可實現(xiàn)3D圖形全視場、全深度的高保真成像。
成像模型對比：
03/成像分析
針對零波像差雙遠心、零波像差非雙遠心、存在波像差三種情況，對比二維與三維矢量成像模型的成像性能：
零波像差雙遠心：二者成像性能完全相同。
零波像差非雙遠心、存在波像差：二者成像性能存在差異，三維矢量成像模型更具優(yōu)勢
二維矢量成像模型與三維矢量成像模型仿真零像差非遠心物鏡成像結(jié)果
二維和三維矢量成像模型仿真結(jié)果的差異
在成像物鏡為存在像差的非理想系統(tǒng)時，三維矢量成像模型較二維矢量成像模型預(yù)測成像特性更精確。
04/先進技術(shù)與未來發(fā)展方向
二維矢量光刻成像模型在局部與全局坐標系下持續(xù)突破，局部聚焦單圖形CD精度優(yōu)化，全局實現(xiàn)全視場偏振像差均衡；三維模型則攻克立體結(jié)構(gòu)光場耦合難題，局部提升深度方向CD均勻性，全局保障全視場三維圖形一致性。
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