Silvaco Victory Process
關(guān)注創(chuàng)建者：匿名 創(chuàng)建時(shí)間：2026-01-05
Silvaco Victory Process的實(shí)例教程
將 Silvaco Victory Process 與 Ansys Lumerical 軟件相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)支持 TCAD 的光子器件仿真，為設(shè)計(jì)師和工程師提供了必要的工具，可以完整準(zhǔn)確地預(yù)測(cè)、分析和優(yōu)化光電器件的行為。
工作流概述
光子集成電路 (PIC) 的光電元件設(shè)計(jì)始于對(duì)物理結(jié)構(gòu)和摻雜分布的精確建模，這些結(jié)構(gòu)和摻雜分布定義了器件的光學(xué)和電學(xué)行為。目標(biāo)是創(chuàng)建一個(gè)能夠反映制造后的器件的物理模型。設(shè)計(jì)流程從制造工藝的輸入開始：材料和掩模圖案與蝕刻、注入、退火和生長(zhǎng)條件相結(jié)合。雖然結(jié)構(gòu)的幾何 CAD 模型可以作為早期設(shè)計(jì)探索的起點(diǎn)，但使用 Silvaco Victory Process 進(jìn)行工藝仿真對(duì)于建立制造步驟和最終物理結(jié)構(gòu)之間的聯(lián)系是必不可少的。圖 1 說明了使用 Victory Process 輸入進(jìn)行光子器件仿真的工作流程。
圖 1. Ansys Lumerical 光子器件仿真工作流程，其中采用 Silvaco Victory Process 的 TCAD 輸入
幾何效應(yīng)（例如受蝕刻影響的側(cè)壁角度和共形沉積的層界面）對(duì)于精確仿真光傳播非常重要 [1]。在光電器件中，注入分布的定義受制造工藝限制，對(duì)于包括調(diào)制效率、暗電流和相關(guān)探測(cè)器靈敏度以及帶寬在內(nèi)的品質(zhì)因素實(shí)現(xiàn)最佳性能取舍至關(guān)重要。在這里，Silvaco Victory Process 再次成為將這些特定行為與制造輸入聯(lián)系起來的必要條件。
一旦仿真了物理結(jié)構(gòu)（包括材料界面和摻雜分布），就可以輕松地將其從 Silvaco Victory Process 導(dǎo)出并導(dǎo)入 Ansys Lumerical 仿真工具。這種自動(dòng)化數(shù)據(jù)交換過程可確保幾何形狀和材料在軟件之間準(zhǔn)確映射，并保持工藝仿真中摻雜分布的最準(zhǔn)確表示。
工藝仿真的結(jié)果構(gòu)成了光電設(shè)計(jì)工作流下一階段的輸入：器件仿真。
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工作流概述
光子集成電路 (PIC) 的光電元件設(shè)計(jì)始于對(duì)物理結(jié)構(gòu)和摻雜分布的精確建模，這些結(jié)構(gòu)和摻雜分布定義了器件的光學(xué)和電學(xué)行為。目標(biāo)是創(chuàng)建一個(gè)能夠反映制造后的器件的物理模型。設(shè)計(jì)流程從制造工藝的輸入開始：材料和掩模圖案與蝕刻、注入、退火和生長(zhǎng)條件相結(jié)合。雖然結(jié)構(gòu)的幾何 CAD 模型可以作為早期設(shè)計(jì)探索的起點(diǎn)，但使用 Silvaco Victory Process 進(jìn)行工藝仿真對(duì)于建立制造步驟和最終物理結(jié)構(gòu)之間的聯(lián)系是必不可少的。圖 1 說明了使用 Victory Process 輸入進(jìn)行光子器件仿真的工作流程。
圖 1. Ansys Lumerical 光子器件仿真工作流程，其中采用 Silvaco Victory Process 的 TCAD 輸入
幾何效應(yīng)（例如受蝕刻影響的側(cè)壁角度和共形沉積的層界面）對(duì)于精確仿真光傳播非常重要 [1]。在光電器件中，注入分布的定義受制造工藝限制，對(duì)于包括調(diào)制效率、暗電流和相關(guān)探測(cè)器靈敏度以及帶寬在內(nèi)的品質(zhì)因素實(shí)現(xiàn)最佳性能取舍至關(guān)重要。在這里，Silvaco Victory Process 再次成為將這些特定行為與制造輸入聯(lián)系起來的必要條件。
一旦仿真了物理結(jié)構(gòu)（包括材料界面和摻雜分布），就可以輕松地將其從 Silvaco Victory Process 導(dǎo)出并導(dǎo)入 Ansys Lumerical 仿真工具。這種自動(dòng)化數(shù)據(jù)交換過程可確保幾何形狀和材料在軟件之間準(zhǔn)確映射，并保持工藝仿真中摻雜分布的最準(zhǔn)確表示。
工藝仿真的結(jié)果構(gòu)成了光電設(shè)計(jì)工作流下一階段的輸入：器件仿真。
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圖 1.
雖然結(jié)構(gòu)的幾何 CAD 模型可以作為早期設(shè)計(jì)探索的起點(diǎn)，但使用 Silvaco Victory Process 進(jìn)行工藝仿真對(duì)于建立制造步驟和最終物理結(jié)構(gòu)之間的聯(lián)系是必不可少的。圖 1 說明了使用 Victory Process 輸入進(jìn)行光子器件仿真的工作流程。
圖 1.
