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登錄三維輪廓測(cè)量?jī)x的案例
三維輪廓測(cè)量儀:革命性技術(shù)在工業(yè)智能制造中的多重應(yīng)用
現(xiàn)代工業(yè)智能制造領(lǐng)域中,三維輪廓測(cè)量?jī)x是一項(xiàng)重要的測(cè)量技術(shù)。三維輪廓測(cè)量?jī)x利用光學(xué)、激光或光電等技術(shù)手段,通過(guò)測(cè)量物體表面輪廓的三維坐標(biāo)信息,能實(shí)現(xiàn)對(duì)物體形狀、尺寸和表面特征的準(zhǔn)確測(cè)量。它可以廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化、制造工藝控制、產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)等領(lǐng)域,為工業(yè)生產(chǎn)提供了更強(qiáng)大的技術(shù)支持。
微納三維輪廓測(cè)量:光學(xué)3D表面輪廓儀
在產(chǎn)品制造、產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)過(guò)程中,精確的尺寸控制和表面質(zhì)量是保證產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。接觸式測(cè)量方法不僅測(cè)量效率低下,而且可能會(huì)對(duì)被測(cè)物體造成損傷。
光學(xué)3D表面輪廓儀以白光干涉原理,3D非接觸快速測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。保證產(chǎn)品尺寸和表面質(zhì)量的一致性,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
無(wú)論是金屬制品、塑料制品,還是電子元器件、汽車(chē)零部件,光學(xué)3D表面輪廓儀都能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)產(chǎn)品的尺寸、形狀和表面特征,快速、準(zhǔn)確地提供相關(guān)的檢測(cè)數(shù)據(jù)。
大尺寸三維輪廓測(cè)量:激光跟蹤儀
在工業(yè)自動(dòng)化中,隨著工業(yè)制造的自動(dòng)化程度不斷提高,對(duì)于物體的自動(dòng)化識(shí)別和測(cè)量成為了一個(gè)重要的問(wèn)題。
激光跟蹤儀采用球坐標(biāo)系的測(cè)量原理,將空間點(diǎn)通過(guò)測(cè)量水平、俯仰兩個(gè)角度和一個(gè)長(zhǎng)度實(shí)現(xiàn)空間位置的定位,再由軟件將所采集的位置進(jìn)行擬合,在軟件中形成三維特征,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)物體的自動(dòng)化實(shí)時(shí)測(cè)量。
不論是在裝配線上,還是在機(jī)器人操作中,激光跟蹤儀都能夠快速獲取物體的位置信息,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)物體的自動(dòng)化識(shí)別和操作,提高生產(chǎn)效率和準(zhǔn)確性。
三維輪廓測(cè)量?jī)x作為一項(xiàng)革命性技術(shù),在制造工藝控制、產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)和工業(yè)自動(dòng)化中具有重要的意義。
展開(kāi) 微觀特征輪廓尺寸測(cè)量:光學(xué)3D輪廓儀、共焦顯微鏡與臺(tái)階儀的應(yīng)用
隨著科技進(jìn)步,顯微測(cè)量儀器以滿足日益增長(zhǎng)的微觀尺寸測(cè)量需求而不斷發(fā)展進(jìn)步。多種高精度測(cè)量儀器被用于微觀尺寸的測(cè)量,其中包括光學(xué)3D表面輪廓儀(白光干涉儀)、共聚焦顯微鏡和臺(tái)階儀。有效評(píng)估材料表面的微觀結(jié)構(gòu)和形貌,從而指導(dǎo)生產(chǎn)過(guò)程、優(yōu)化產(chǎn)品性能。
光學(xué)3D表面輪廓儀(白光干涉儀)
光學(xué)3D表面輪廓儀是一種利用白光干涉原理進(jìn)行非接觸式測(cè)量的高精度儀器。它通過(guò)分析反射光的干涉模式來(lái)重建表面的三維形貌。
非接觸無(wú)損測(cè)量,超高縱向分辨率,測(cè)量從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面。測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:
表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺(tái)階高度,錐角等等);
幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和體積,特征圖形的位置和數(shù)量等等)。
光學(xué)3D表面輪廓儀廣泛應(yīng)用于對(duì)器件表面質(zhì)量要求超高的光學(xué)加工、半導(dǎo)體制造與封裝、超精密加工、3C產(chǎn)業(yè)鏈等,同時(shí)在航空航天、國(guó)防工業(yè)以及科學(xué)研究等領(lǐng)域也存在普遍使用。它能以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率,測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。
共聚焦顯微鏡
共聚焦顯微鏡以共軛共焦技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成的用于樣品表面3D微觀形貌檢測(cè)的精密光學(xué)儀器。
非接觸式無(wú)損檢測(cè)方式,復(fù)雜結(jié)構(gòu)的大角度形貌測(cè)量能力,優(yōu)異的橫向分辨率,低反射率表面的適應(yīng)性強(qiáng)。
展開(kāi) 三維輪廓儀測(cè)粗糙度:光學(xué)3D表面輪廓儀功能詳解
在精密制造領(lǐng)域,表面粗糙度的測(cè)量是確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵步驟。光學(xué)3D表面輪廓儀為這一需求提供了解決方案。
在半導(dǎo)體制造、3C電子、光學(xué)加工等高精度行業(yè),表面粗糙度的測(cè)量精度直接影響到產(chǎn)品的性能和可靠性。SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀正是為了滿足這一需求而設(shè)計(jì)的。
產(chǎn)品特點(diǎn)
SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀采用了白光干涉技術(shù),結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法,能夠?qū)Ω鞣N精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)的測(cè)量。這種非接觸式的掃描方式不僅避免了對(duì)被測(cè)物體的損傷,還提供了高測(cè)量精度和重復(fù)性。
測(cè)量原理
該系列輪廓儀的工作原理基于光學(xué)干涉技術(shù),通過(guò)白光LED作為光源,對(duì)被測(cè)物體表面進(jìn)行照射。由于白光具有寬廣的光譜,能夠提供更高的測(cè)量精度和分辨率。通過(guò)精密的Z向掃描,設(shè)備能夠捕捉到物體表面的微觀形貌,并利用3D建模算法重建出物體的3D圖像。
應(yīng)用領(lǐng)域
SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛,包括但不限于半導(dǎo)體制造、3C電子產(chǎn)品的玻璃屏、光學(xué)元件的曲率和輪廓尺寸測(cè)量、超精密加工、微納材料制造、汽車(chē)零部件以及航空航天和科研院所的研究工作。
性能特色
1. 高精度與高重復(fù)性:采用的光學(xué)干涉技術(shù)和精密Z向掃描模塊,確保了測(cè)量的高精度。
2. 環(huán)境噪聲檢測(cè)功能:能夠定量評(píng)估外界環(huán)境對(duì)測(cè)量的干擾,為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供數(shù)據(jù)支持。
3. 精密操縱手柄:集成了X、Y、Z三個(gè)方向的位移調(diào)整功能,使得測(cè)量前的準(zhǔn)備工作更加快捷。
4. 雙重防撞保護(hù)措施:軟件和硬件雙重保護(hù),最大限度降低操作風(fēng)險(xiǎn)。
5.
展開(kāi) 接觸式輪廓儀在測(cè)量過(guò)程中如何確保測(cè)量精度
接觸式輪廓儀在測(cè)量過(guò)程中要確保測(cè)量精度,需要考慮以下幾個(gè)關(guān)鍵因素:
1. 探針的選擇:選擇合適的探針半徑和形狀,以確保探針能夠精確地跟蹤被測(cè)表面的輪廓。探針的磨損也會(huì)影響測(cè)量結(jié)果,因此需要定期檢查和更換。
2. 測(cè)量力的控制:適當(dāng)?shù)?em>測(cè)量力可以確保探針與被測(cè)表面的良好接觸,同時(shí)避免對(duì)軟質(zhì)材料造成損傷。測(cè)量力過(guò)大可能會(huì)導(dǎo)致表面劃傷,而過(guò)小則可能導(dǎo)致測(cè)量不穩(wěn)定。
3. 環(huán)境條件:測(cè)量應(yīng)在穩(wěn)定的環(huán)境中進(jìn)行,避免溫度和濕度的波動(dòng)影響測(cè)量結(jié)果。無(wú)強(qiáng)磁場(chǎng)和振動(dòng)的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量可以提高精度。
4. 設(shè)備校準(zhǔn):定期校準(zhǔn)輪廓儀,確保測(cè)量系統(tǒng)的準(zhǔn)確性和可靠性。使用校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件或已知表面輪廓的樣品進(jìn)行校準(zhǔn)。
5. 數(shù)據(jù)采樣率:合適的采樣率可以確保測(cè)量數(shù)據(jù)的代表性和準(zhǔn)確性。過(guò)高或過(guò)低的采樣率都可能影響測(cè)量結(jié)果。
6. 測(cè)量速度:適當(dāng)?shù)?em>測(cè)量速度可以減少測(cè)量過(guò)程中的隨機(jī)誤差。速度過(guò)快可能會(huì)導(dǎo)致數(shù)據(jù)丟失,而速度過(guò)慢則可能增加測(cè)量時(shí)間并提高出錯(cuò)的風(fēng)險(xiǎn)。
7. 軟件和算法:使用先進(jìn)的軟件和算法處理測(cè)量數(shù)據(jù),以減少系統(tǒng)誤差和提高測(cè)量精度。一些輪廓儀軟件可以自動(dòng)消除安裝誤差,直接顯示所測(cè)零件的形狀及參數(shù),并可打印圖形和數(shù)據(jù)。
8. 操作技巧:操作人員需要具備一定的操作技巧和經(jīng)驗(yàn),以確保測(cè)量過(guò)程的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。
9. 避免測(cè)量誤差:在測(cè)量過(guò)程中,應(yīng)避免因探針磨損、測(cè)量壓力過(guò)大或接觸不良等原因造成的誤差。
通過(guò)上述措施,可以最大限度地提高接觸式輪廓儀的測(cè)量精度,確保得到可靠的測(cè)量結(jié)果。
展開(kāi) 
白光3D輪廓測(cè)量儀滿足時(shí)下半導(dǎo)體封裝測(cè)量需求
尤其在近幾年,先進(jìn)節(jié)點(diǎn)走向10nm、7nm、5nm......白光3D輪廓測(cè)量?jī)x適配芯片制造生產(chǎn)線,致力于滿足時(shí)下半導(dǎo)體封裝中晶圓減薄厚度、晶圓粗糙度、激光切割后槽深槽寬的測(cè)量需求,助力半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。
W1白光3D輪廓測(cè)量?jī)xX/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm,滿足晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高、彈坑等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。
臺(tái)階高精確度:0.3%
臺(tái)階高重復(fù)性:0.08 % 1σ
縱向分辨率:0.1nm
RMS重復(fù)性:0.005nm
橫向分辨率(0.5λ/NA):0.5um~3.7um
特點(diǎn):粗糙度測(cè)量、彈坑測(cè)量、測(cè)量尺寸6英寸以下。
W3白光3D輪廓測(cè)量?jī)xX/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為300*300mm,超大規(guī)格平面、兼容型12英寸真空吸附盤(pán)能檢測(cè)12寸及以下尺寸的Wafer;氣浮隔振設(shè)計(jì)&吸音材質(zhì)隔離設(shè)計(jì),確保儀器在千級(jí)車(chē)間能有效濾除地面和聲波的振動(dòng)干擾,穩(wěn)定工作;自動(dòng)化測(cè)量半導(dǎo)體晶圓。
半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)m?xiàng)功能
1.同步支持6、8、12英寸三種規(guī)格的晶圓片測(cè)量,一鍵即可實(shí)現(xiàn)三種規(guī)格的真空吸盤(pán)的自動(dòng)切換以配適不同尺寸晶圓;
2.具備研磨供以后減薄片的粗糙度自動(dòng)測(cè)量功能,一鍵可測(cè)量數(shù)十個(gè)小區(qū)域的粗糙度求取均值;
3.具備劃片工藝中激光鐳射開(kāi)槽后的槽道深寬輪廓數(shù)據(jù)測(cè)量功能,可以一鍵實(shí)現(xiàn)槽道深寬相關(guān)的面和多條剖面線的數(shù)據(jù)測(cè)量與分析;
4.具備晶圓制造工藝中鍍膜臺(tái)階高度的測(cè)量,覆蓋從1nm~1mm的測(cè)量范圍,實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。
W3白光干涉儀測(cè)量12英寸硅晶圓的應(yīng)用.mp4
展開(kāi) 輪廓測(cè)長(zhǎng)|中圖儀器SJ57系列輪廓儀高精度測(cè)量粗糙度
可以全量程大范圍連續(xù)掃描,擁有長(zhǎng)達(dá)數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力,非常適合大范圍陡坡表面測(cè)量,大工件無(wú)需翻轉(zhuǎn)、傾斜調(diào)整,就可實(shí)現(xiàn)輕松測(cè)量。
螺紋和輪廓一體化測(cè)量,可用于測(cè)量長(zhǎng)軸類(lèi)、筒類(lèi)、曲面零件、絲杠、螺紋等高精度部件的內(nèi)外徑尺寸、內(nèi)外輪廓形貌。
典型應(yīng)用
3、SJ5730系列——高精度粗糙度輪廓一體測(cè)量
SJ5730系列高精度粗糙度輪廓一體測(cè)量?jī)x納米級(jí)光學(xué)傳感器,可以對(duì)零件表面,尤其是大范圍曲面,如圓弧面和球面、異型曲面等進(jìn)行檢測(cè),是大曲面測(cè)量(軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、軸承滾子)領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測(cè)量的利器。
典型應(yīng)用
4、SJ5760系列——高精度輪廓尺寸測(cè)量
SJ5760系列大量程粗糙度/輪廓測(cè)量?jī)x具有大量程、高穩(wěn)定、高精密的特點(diǎn)。輪廓模塊具有X軸200mm的大量程輪廓測(cè)量范圍,可測(cè)量各種精密機(jī)械零件的輪廓/粗糙度形狀參數(shù)。
典型應(yīng)用
5、SJ5718系列——小型粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x
SJ5718系列小型粗糙度/輪廓測(cè)量?jī)x大小600×350×890(mm),粗糙度模塊更適合于深孔及高精度場(chǎng)合,可測(cè)量各種精密機(jī)械零件的輪廓/粗糙度形狀參數(shù)。產(chǎn)品操作簡(jiǎn)便,功能齊全,并配備了直觀的界面,使用方法輕松掌握。
典型應(yīng)用
展開(kāi) 螺紋怎么測(cè)量?SJ5780輪廓掃描測(cè)量儀全自動(dòng)在線檢測(cè)
中圖SJ5780在線智能螺紋輪廓掃描測(cè)量?jī)x是一款大量程、高精度的主動(dòng)掃描式綜合輪廓測(cè)量?jī)x,可對(duì)航空發(fā)動(dòng)機(jī)零部件高強(qiáng)度連接螺紋工件實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場(chǎng)全自動(dòng)在線檢測(cè),自動(dòng)檢測(cè)各種螺紋工件內(nèi)外徑尺寸、內(nèi)外輪廓形貌參數(shù)的綜合測(cè)量,解決螺紋的穩(wěn)定性問(wèn)題,保障航空發(fā)動(dòng)機(jī)的品質(zhì)質(zhì)量。
SJ5780在線智能螺紋輪廓掃描測(cè)量?jī)xX軸、Z軸均為獨(dú)立運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),采用兩軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)控制算法,實(shí)現(xiàn)X、Z雙軸聯(lián)動(dòng)掃描,在測(cè)量螺紋時(shí),測(cè)針在工件表面做仿形運(yùn)動(dòng)掃描(主動(dòng)掃描),既保持了恒測(cè)力,又保證了大的陡坡通過(guò)能力,工件調(diào)平操作簡(jiǎn)單,同時(shí)避免了崩針、掛針等問(wèn)題。還可全量程大范圍連續(xù)掃描,擁有長(zhǎng)達(dá)數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力,適合大范圍陡坡表面測(cè)量。大工件無(wú)需翻轉(zhuǎn)、傾斜調(diào)整,就可實(shí)現(xiàn)輕松測(cè)量。
工件螺紋全參數(shù)掃描測(cè)量:鋸齒、錐形、梯形螺紋大中小徑、作用中徑、螺距牙型角、螺旋升角、齒頂?shù)谆“霃健⑼S度等。
SJ5780在線智能螺紋輪廓掃描測(cè)量?jī)x的測(cè)量速度較傳統(tǒng)輪廓儀提升了5倍,抬針時(shí)間<0.1s。操作流暢、迅速、高效,用于長(zhǎng)軸類(lèi)、筒類(lèi)、曲面零件、絲杠、螺紋等高精度部件的內(nèi)外徑尺寸、內(nèi)外輪廓形貌參數(shù)測(cè)量,非常適合航空、軍工、船舶、高鐵、新能源汽車(chē)、醫(yī)療等行業(yè)。該產(chǎn)品支持量程定制,適用于各行業(yè)領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)室或工作現(xiàn)場(chǎng)使用。
展開(kāi) 白光干涉儀(光學(xué)輪廓儀):揭秘測(cè)量坑的形貌的利器!
白光干涉儀廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究和工程實(shí)踐各個(gè)領(lǐng)域中。它作為一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器,在測(cè)量坑的形貌方面扮演著舉足輕重的角色。
白光干涉儀怎么測(cè)量坑的形貌?它是利用干涉現(xiàn)象,使用白光源照射物體,并將反射光經(jīng)過(guò)干涉儀的分光裝置后形成干涉圖樣。通過(guò)觀察干涉圖樣的變化,就可以獲得物體表面形貌的細(xì)節(jié)信息。
如何使用白光干涉儀來(lái)測(cè)量坑的形貌?在使用白光干涉儀測(cè)量坑的形貌時(shí),將白光干涉儀的出光口對(duì)準(zhǔn)坑樣的表面,調(diào)整儀器的焦距和位置,直到能夠得到清晰的干涉圖樣。然后,記錄下干涉圖樣的形狀和變化,最后進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和分析,就可以得出坑的形貌信息。在使用白光干涉儀進(jìn)行測(cè)量的過(guò)程中,我們需要注意一些細(xì)節(jié):
1、保持儀器穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。
在使用過(guò)程中,盡量避免外界干擾和震動(dòng),以確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
2、選擇適當(dāng)?shù)?em>測(cè)量參數(shù)和條件。
根據(jù)不同的實(shí)際情況,可以調(diào)整白光干涉儀的參數(shù),如照射角度、光源強(qiáng)度等,以獲得更精確的測(cè)量結(jié)果。
SuperViewW1白光干涉儀結(jié)合數(shù)字圖像處理技術(shù)和三維重建算法來(lái)提高測(cè)量的精度和效率,揭秘并測(cè)量坑的形貌,為科學(xué)研究和工程實(shí)踐提供更有力的支持。
1、可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法,并可依據(jù)表面粗糙程度,選擇不同步距進(jìn)行速度調(diào)節(jié)。
2、復(fù)合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下,只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn),即可自動(dòng)掃描,重建其超光滑的表面區(qū)域,不見(jiàn)一絲重疊縫隙。
白光干涉儀在半導(dǎo)體封裝中對(duì)彈坑的測(cè)量
同時(shí),白光干涉儀還可以結(jié)合其他測(cè)量手段,如激光共聚焦顯微鏡等,以獲得更全面的形貌信息。
展開(kāi) 微小工件輪廓測(cè)量用全自動(dòng)影像儀
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</div><p class="ql-align-center">光學(xué)測(cè)頭平面度測(cè)量</p><p><br></p><p>CH系列影像測(cè)量?jī)x適用于以二維平面測(cè)量為目的一切應(yīng)用領(lǐng)域,能夠高效地測(cè)量各種精密模具的輪廓和表面形狀尺寸、角度及位置,如長(zhǎng)度、厚度、槽、寬度、孔距、半徑、間距、高度、圓弧、R角等參數(shù)。同時(shí)也支持觸發(fā)測(cè)頭和光學(xué)測(cè)頭進(jìn)行高度、平面度測(cè)量,充分發(fā)揮了光學(xué)電動(dòng)變倍鏡頭的高精度優(yōu)勢(shì),實(shí)現(xiàn)了2.5D和3D的復(fù)合測(cè)量。</p><p><br></p><p>其高穩(wěn)定性、高精度、高效率等特點(diǎn),能夠滿足現(xiàn)代工業(yè)大批量、高精度的測(cè)量需求。</p><div contenteditable="false" width="100%">
<img src="https://img.jishulink.com/upload/202301/1ada16f1d89e427e9739fb94966cb741.jpg" title="圖片4.jpg" alt="圖片4.jpg" style="max-width:760px;" data-mobile-src="https://img.jishulink.com/upload/202301/1ada16f1d89e427e9739fb94966cb741.jpg?
展開(kāi) 觸針式輪廓儀在軸承滾子測(cè)量中的應(yīng)用
通過(guò)輪廓儀測(cè)量分析滾子素線和凸度,操作簡(jiǎn)單,軟件自動(dòng)處理分析數(shù)據(jù),快捷高效,已成為主流檢測(cè)手段。
輪廓儀在軸承應(yīng)用非常廣泛,除了測(cè)量滾子素線和凸度外,還可以測(cè)量滾子粗糙度以及內(nèi)外圈保持架相關(guān)尺寸和粗糙度,是軸承行業(yè)十分重要的量測(cè)儀器!
SJ5730粗糙度輪廓儀解決圓柱滾子軸承測(cè)量難題
測(cè)量需求
圓柱滾子軸承由軸承滾道與圓柱滾子等部分組成,通過(guò)滾子在軸承滾道的運(yùn)動(dòng)完成對(duì)應(yīng)工作。
測(cè)量需求主要包括:
1、測(cè)量軸承滾道錐面直線度與粗糙度;
2、測(cè)量圓柱滾子不同位置的凸度、滾子素線、對(duì)稱(chēng)性等。
解決方案
使用SJ5730高精度粗糙度輪廓一體測(cè)量?jī)x與配套軟件測(cè)量軸承滾道,在行業(yè)內(nèi)創(chuàng)新性地實(shí)現(xiàn)“一次測(cè)量掃描后,在同一個(gè)界面顯示粗糙度評(píng)價(jià)結(jié)果與輪廓分析結(jié)果”。測(cè)量圓柱滾子,SJ5730軟件新增滾子分析功能,專(zhuān)門(mén)針對(duì)軸承滾子凸度等參數(shù)進(jìn)行評(píng)價(jià)分析,如下測(cè)量示例:
軸承滾道直線度和粗糙度測(cè)量與分析
在同個(gè)界面可同時(shí)顯示直線度與粗糙度參數(shù):
圓柱滾子對(duì)數(shù)曲線測(cè)量與分析
定制夾具放置滾子掃描
圓柱滾子測(cè)量分析結(jié)果:
總結(jié)
SJ5730系列高精度粗糙度輪廓一體測(cè)量?jī)x能夠滿足軸承行業(yè)絕大部分測(cè)量需求,除了本文提到的圓柱滾子軸承的錐面直線度、粗糙度以及圓柱滾子的凸度分析,也支持其他軸承測(cè)量與結(jié)果分析。例如內(nèi)外套圈的密封槽形狀(角度、倒角、槽深、槽寬等);各種滾子軸承的滾子和套圈母線的凸度、角度、曲線;滾針軸承、圓柱滾子軸承、直線軸承的滾動(dòng)體和套圈的直線度;球軸承溝道與四點(diǎn)接觸軸承溝槽曲率半徑等測(cè)量分析。專(zhuān)業(yè)化的軟件設(shè)計(jì)能夠讓用戶(hù)輕松使用的同時(shí)獲得精準(zhǔn)的測(cè)量數(shù)據(jù),為軸承檢測(cè)行業(yè)助力!
SJ5730-100高精度粗糙度輪廓一體測(cè)量?jī)x
SJ5730-200高精度粗糙度輪廓一體測(cè)量?jī)x
展開(kāi) 
雙向型輪廓儀全面測(cè)量分析螺桿參數(shù)
因此,準(zhǔn)確測(cè)量螺桿的形狀和尺寸對(duì)于保證機(jī)械裝配的準(zhǔn)確性、提高產(chǎn)品質(zhì)量、確保機(jī)械性能的穩(wěn)定以及延長(zhǎng)使用壽命具有重要價(jià)值和意義。通過(guò)使用先進(jìn)的測(cè)量設(shè)備和技術(shù),以及采取合適的測(cè)量方法和解決方案,克服這些難點(diǎn),從而獲得準(zhǔn)確可靠的測(cè)量結(jié)果。
螺紋和輪廓一體化測(cè)量
SJ5700DUAL雙向掃描型輪廓儀是大量程、高精度的主動(dòng)掃描式綜合輪廓測(cè)量?jī)x。可測(cè)幾何量,點(diǎn)、線、圓(圓心坐標(biāo)、半徑、直徑)、圓弧、中心、角度、垂線、線到線的距離、線到圓的距離、X/Z坐標(biāo)夾角、坐標(biāo)差、兩點(diǎn)之間總過(guò)程距離、面積等;同時(shí)可全自動(dòng)檢測(cè)圓柱螺紋工件、圓錐螺紋工件、工件內(nèi)外孔徑等各種內(nèi)、外尺寸工件的綜合參數(shù),自動(dòng)生成被測(cè)螺紋的曲線圖、相關(guān)參數(shù)數(shù)據(jù)和分析圖表。
CNC批量匹配分析提高測(cè)量效率
雙向掃描型輪廓儀可以實(shí)現(xiàn)測(cè)量的自動(dòng)化和高效化,CNC固定坐標(biāo)系模式下,可快速精確地進(jìn)行輪廓批量測(cè)量,自動(dòng)分析處理數(shù)據(jù)。大大縮短測(cè)量時(shí)間,并降低測(cè)量成本。
(1)對(duì)于簡(jiǎn)單的工件只需要設(shè)置測(cè)量長(zhǎng)度即可一鍵測(cè)量。
(2)對(duì)于復(fù)雜的工件,可以指定工件的任意位置進(jìn)行分段測(cè)量,并做成輪廓模板便于批量測(cè)量。
復(fù)雜工件自定義分段測(cè)量
SJ5700DUAL雙向掃描型輪廓儀雙向恒測(cè)力接觸掃描,智能爬坡、陡坡緩降,解決對(duì)螺桿復(fù)雜輪廓面的智能掃描。
利用數(shù)據(jù)分析和智能技術(shù)來(lái)優(yōu)化測(cè)量過(guò)程,可以進(jìn)一步提高測(cè)量效率和準(zhǔn)確性。
展開(kāi) 3d光學(xué)輪廓儀應(yīng)用于測(cè)量超光滑透明微光學(xué)器件
微光學(xué)器件同時(shí)具備納米尺度的輪廓起伏變化和超光滑且透明的特點(diǎn),該特點(diǎn)導(dǎo)致的測(cè)量需求,3d光學(xué)輪廓儀(白光干涉儀)能滿足。
3d光學(xué)輪廓儀通過(guò)利用白光的干涉和衍射現(xiàn)象,能夠?qū)ξ⑿〉谋砻娓叨炔町愡M(jìn)行精確測(cè)量,并得出精準(zhǔn)的尺寸和形態(tài)數(shù)據(jù)。
對(duì)于超光滑透明微光學(xué)器件的測(cè)量來(lái)說(shuō),3d光學(xué)輪廓儀不僅具備高精度和高分辨率的特點(diǎn),還能夠快速、無(wú)損地獲得物體的三維形貌信息,所以白光干涉儀有以下幾個(gè)重要的特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):
1、高精度:3d光學(xué)輪廓儀能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)別的測(cè)量精度,可以準(zhǔn)確檢測(cè)器件表面的微小高度差異。這對(duì)于一些要求非常高的器件尺寸和形貌測(cè)量非常重要。
2、高分辨率:3d光學(xué)輪廓儀具有很高的空間分辨率,可以捕捉到微小的表面變化。它可以清晰地顯示出微光學(xué)器件表面的各種細(xì)微紋理和形貌特征,為后續(xù)的分析和優(yōu)化提供了有力的支持。
3、快速非接觸:與傳統(tǒng)的測(cè)量方法相比,3d光學(xué)輪廓儀無(wú)需直接接觸被測(cè)對(duì)象,避免了對(duì)器件的破壞和變形。同時(shí),它的測(cè)量速度很快,可以在短時(shí)間內(nèi)完成大量數(shù)據(jù)的采集和分析。
4、三維測(cè)量:3d光學(xué)輪廓儀能夠?qū)崿F(xiàn)器件表面的三維測(cè)量,即獲取表面的形貌、幾何形狀和曲率等信息。這對(duì)于微光學(xué)器件的設(shè)計(jì)和制造具有重要的意義,可以幫助分析器件的性能和效果,為后續(xù)加工工藝提供指導(dǎo)。
5、廣泛應(yīng)用:3d光學(xué)輪廓儀在微電子、光學(xué)加工、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。它可以用于精確測(cè)量光學(xué)鏡片、光導(dǎo)纖維端面、光纖激光頭、光學(xué)涂層等器件,為質(zhì)量控制和過(guò)程優(yōu)化提供了重要的工具和手段。
展開(kāi) 光學(xué)3D表面輪廓儀:滿足多元超精密微觀尺寸測(cè)量需求
光學(xué) 3D 表面輪廓儀采用先進(jìn)的光學(xué)原理和精密的測(cè)量技術(shù),能夠?qū)ξ矬w表面進(jìn)行非接觸式的三維測(cè)量。與傳統(tǒng)的測(cè)量方法相比,它具有諸多優(yōu)勢(shì)。首先,非接觸式測(cè)量避免了對(duì)被測(cè)物體的損傷,尤其對(duì)于一些精密的、易損的材料和工件,能夠在不影響其性能的前提下進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。其次,高分辨率的測(cè)量能力可以捕捉到物體表面微小的細(xì)節(jié),無(wú)論是納米級(jí)的微觀結(jié)構(gòu)還是宏觀物體的復(fù)雜形貌,都能清晰呈現(xiàn)。再者,快速的測(cè)量速度使得它能夠在短時(shí)間內(nèi)完成大量數(shù)據(jù)的采集,提高了工作效率。
SuperViewW 系列光學(xué) 3D 表面輪廓儀,涵蓋了多種不同類(lèi)型的產(chǎn)品,滿足了不同客戶(hù)的多樣化需求。無(wú)論是追求高精度測(cè)量的科研機(jī)構(gòu),還是需要測(cè)量大尺寸工件的工業(yè)企業(yè),都能在這個(gè)系列中找到最適合自己的解決方案。
高精度:精準(zhǔn)捕捉每一個(gè)細(xì)節(jié)
在高精度測(cè)量要求的應(yīng)用場(chǎng)景中,高精度光學(xué) 3D 表面輪廓儀采用先進(jìn)的白光干涉技術(shù),能夠精確地捕捉物體表面的微小細(xì)節(jié),為科研人員和工程師們提供了可靠的數(shù)據(jù)支持。如在材料科學(xué)領(lǐng)域,通過(guò)高精度光學(xué) 3D 表面輪廓儀對(duì)新型納米材料進(jìn)行表面形貌研究,可以精準(zhǔn)測(cè)量出納米材料表面的高度信息、粗糙度等關(guān)鍵數(shù)據(jù),為進(jìn)一步優(yōu)化材料性能提供了重要依據(jù)。其精度之高,可達(dá)到納米級(jí)別。
大尺寸測(cè)量:輕松應(yīng)對(duì)大型工件
在需要測(cè)量大尺寸工件時(shí),SuperViewW 系列同樣有相應(yīng)的產(chǎn)品可供選擇。這些大尺寸測(cè)量儀器具備廣闊的測(cè)量范圍和穩(wěn)定的性能,能夠輕松應(yīng)對(duì)各種大型工件的測(cè)量任務(wù)。
WX-S1000,升級(jí)版超大行程光學(xué)3D表面輪廓儀(龍門(mén)結(jié)構(gòu),超大行程,氣浮隔振,穩(wěn)如泰山),2D表面測(cè)量/3D立體重建一鍵全自動(dòng)測(cè)量,高精度微納尺寸形貌檢測(cè)利器。
展開(kāi) SJ5900光學(xué)型輪廓儀:衍射非球面精準(zhǔn)測(cè)量新利器
非球面衍射型多焦人工晶狀體圖
在光學(xué)領(lǐng)域,衍射非球面鏡片的測(cè)量一直是一項(xiàng)具有挑戰(zhàn)性的任務(wù),主要有以下難點(diǎn):
1、測(cè)量精度要求高:非接觸式測(cè)量方法通常無(wú)法像接觸式測(cè)量那樣直接獲取精確的測(cè)量數(shù)據(jù),測(cè)量過(guò)程中任何微小的誤差都可能影響到最終的光學(xué)效果;
2、測(cè)量環(huán)境要求嚴(yán)格:由于衍射非球面零件的尺寸和形狀復(fù)雜,在測(cè)量過(guò)程中需要保持一定的環(huán)境條件,如噪音、震動(dòng)、溫度等;
3、測(cè)量范圍要求廣:衍射非球面的測(cè)量范圍需要覆蓋其整個(gè)表面,包括各種曲率和尺寸,這需要測(cè)量設(shè)備具有足夠的測(cè)量范圍和精度;
4、數(shù)據(jù)處理難度大:測(cè)量得到的數(shù)據(jù)需要進(jìn)行復(fù)雜的處理和分析,以獲得準(zhǔn)確的表面形狀和尺寸信息,這需要具備相應(yīng)的數(shù)據(jù)處理技能和經(jīng)驗(yàn)。
以往國(guó)內(nèi)能夠檢測(cè)高精度衍射非球面鏡片參數(shù)的專(zhuān)業(yè)測(cè)量設(shè)備基本依賴(lài)進(jìn)口,為了滿足市場(chǎng)對(duì)衍射非球面測(cè)量的需求,中圖儀器SJ5900光學(xué)型輪廓儀新增衍射非球面測(cè)量功能,為衍射非球面鏡片高質(zhì)量生產(chǎn)保駕護(hù)航。
SJ5900光學(xué)型輪廓儀
SJ5900光學(xué)型輪廓儀解決方案:
1、高精度接觸式測(cè)量:采用超高精度納米衍射光學(xué)測(cè)量系統(tǒng),儀器精度達(dá)高水平(儀器直線度≤0.25μm/200mm,大范圍形貌微觀輪廓Pt≤0.3μm),通過(guò)測(cè)針接觸鏡片掃描實(shí)現(xiàn)高精度的衍射非球面測(cè)量;
2、一體封閉式:一體封閉式外觀減少外界噪聲,氣浮減震系統(tǒng)隔絕環(huán)境振動(dòng);
3、測(cè)量范圍:X行程可達(dá)200mm,測(cè)針掃描高度最大可達(dá)24mm,基本覆蓋大多數(shù)非球面有效口徑范圍;
4、定制個(gè)性化方案:可提供個(gè)性化定制服務(wù),根據(jù)用戶(hù)的特定需求進(jìn)行設(shè)計(jì)和調(diào)整,以滿足用戶(hù)的要求和應(yīng)用。
展開(kāi)