粗糙度測量的案例
表面粗糙度測量儀器常見故障
表面粗糙度測量儀是一種專門用于對物體表面粗糙度進行測量的設(shè)備，能夠為各種產(chǎn)品提供精確的表面質(zhì)量檢測結(jié)果。它通過檢測測試件表面形貌的參數(shù)來反映表面粗糙度的測量值。精加工的表面粗糙度計算https://techinfo.misumi.com.cn/tools/caculation/37/表面粗糙度測量儀主要有兩種類型：直接型和非直接型。
表面粗糙度測量儀器在長期使用過程中，可能會出現(xiàn)一些常見故障。以下是一些常見的故障及其可能的原因：
計算結(jié)果不正常：這可能是由于探測器與驅(qū)動裝置連接不正確引起的。解決方法是重新將探測器正確連接至驅(qū)動器。
超出測量范圍：當顯示器頂部出現(xiàn)紅色提示時，通常表示結(jié)果超出了測量范圍。此時，需要正確安裝并設(shè)置測量儀器，或考慮增大測量范圍。
儀器無法開機：這可能是由于AC電源適配器未連接、電池電量低或電池開關(guān)關(guān)閉導致的。解決方法是給電池充電或打開電池開關(guān)。
傳感器故障：傳感器是表面粗糙度測量儀器中使用頻率最高的部件，也是最容易出現(xiàn)故障的部件之一。傳感器可能因塵土、水分、油漬、碰撞等原因損壞，導致測量結(jié)果不準確或測量范圍有問題。此時，最好的解決方法是更換新的傳感器。
記錄筆無反應：這可能是由于接通記錄儀的插頭接觸不良、放大器（電子裝置）部件故障、記錄筆機構(gòu)內(nèi)的線圈電阻下降、記錄器線圈斷路或記錄器變換電阻的插銷接觸不良等原因引起的。對于這類故障，可以嘗試更換記錄筆機構(gòu)，或排除其他故障。
此外，表面粗糙度測量儀器的其他零部件，如顯示屏、鍵盤、內(nèi)部電路板等，也可能出現(xiàn)故障。如果出現(xiàn)這些問題，通常需要打開機器進行檢查和更換零部件。
展開 輪廓測長|中圖儀器SJ57系列輪廓儀高精度測量粗糙度
現(xiàn)代工業(yè)制造領(lǐng)域中，為什么測量粗糙度至關(guān)重要？在現(xiàn)代工業(yè)制造領(lǐng)域中，測量粗糙度是一項非常重要的工作。因為粗糙度能夠影響到工件的功能性能和外觀質(zhì)量。當我們制造機器零件或工具時，需要確保表面的光潔度能夠滿足設(shè)計要求。過高或過低的粗糙度都會對產(chǎn)品的使用性能產(chǎn)生負面影響。
在現(xiàn)代制造中，很多產(chǎn)品需要進行配合和組裝。如果產(chǎn)品表面的粗糙度不均勻或超出了允許范圍，就會導致配合不良或零件之間無法相互兼容。通過精確測量粗糙度，我們能夠確保產(chǎn)品能夠互換使用，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品性能。
針對汽車、飛機等精密工業(yè)加工領(lǐng)域粗糙度的高精度測量需求，中圖儀器SJ57系列輪廓儀創(chuàng)新精密機構(gòu)、光柵細分掃描控制關(guān)鍵技術(shù)，多種型號產(chǎn)品適配各種不同的生產(chǎn)環(huán)境和工作需要。
1、SJ5720-OPT系列——高精度光學曲面測量
SJ5720-OPT系列高精度光學曲面測量儀能實現(xiàn)對球面及非球面光學元器件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析。是大曲面測量（光學鏡片、光學精密模具、軸承、人工關(guān)節(jié)、齒輪、葉片）領(lǐng)域精細粗糙度測量的利器。
超智能的非球面光學軟件分析系統(tǒng)，專業(yè)定制的非球面測量軟件系統(tǒng)，非球面全參數(shù)都能測量。
專業(yè)的非球面分析軟件
典型應用
2、SJ5780系列——雙向測量、高精度智能螺紋輪廓掃描
SJ5780系列高精度智能螺紋輪廓掃描儀是大量程、高精度的主動掃描式綜合輪廓測量儀。
展開 白光干涉儀：表面粗糙度形貌臺階高測量解決方案
白光干涉儀主要用于測量微觀表面的形貌、粗糙度、臺階高度等參數(shù)。
1. 表面形貌測量
原理：白光干涉儀利用白光的干涉特性。當兩束相干光（一束參考光和一束從被測表面反射回來的光）疊加時，會形成干涉條紋。通過分析這些干涉條紋的形狀和位置，可以獲取被測表面的高度信息。因為不同位置的表面高度不同，反射光的光程差也不同，從而導致干涉條紋的變化。
應用場景：在精密機械加工領(lǐng)域，例如汽車發(fā)動機的零部件表面，如活塞、曲軸等。這些部件的表面質(zhì)量對發(fā)動機的性能和壽命有重要影響。白光干涉儀可以精確測量其表面形貌，確保加工精度達到設(shè)計要求。在光學元件制造中，比如高精度的透鏡、反射鏡等，需要對其表面進行精確的形貌測量，以保證光學性能。
2. 表面粗糙度測量
原理：表面粗糙度是指加工表面具有的較小間距和微小峰谷的不平度。白光干涉儀通過測量微觀表面的高度變化來量化粗糙度。它可以在小范圍內(nèi)獲取大量的高度數(shù)據(jù)點，然后根據(jù)這些數(shù)據(jù)計算出粗糙度參數(shù)，如Ra（算術(shù)平均粗糙度）、Rz（微觀不平度十點高度）等。
應用場景：在模具制造行業(yè)，模具表面的粗糙度直接影響塑料制品的表面質(zhì)量。使用白光干涉儀可以對模具表面進行粗糙度測量，確保模具達到所需的表面光潔度。在電子芯片制造中，芯片的封裝表面粗糙度也很重要，合適的粗糙度有助于芯片散熱和電氣性能的穩(wěn)定，白光干涉儀可以為其提供精確的粗糙度測量。
3. 臺階高度測量
原理：當被測表面存在臺階結(jié)構(gòu)時，白光干涉儀可以通過測量臺階兩側(cè)的高度差來確定臺階高度。干涉條紋在臺階處會出現(xiàn)明顯的變化，通過對條紋的分析和計算可以得到臺階的精確高度。
應用場景：在半導體制造過程中，芯片上的不同功能區(qū)域之間可能存在臺階結(jié)構(gòu)，例如金屬布線層與有源區(qū)之間的臺階。
展開 SJ5730粗糙度輪廓儀解決圓柱滾子軸承測量難題
測量需求
圓柱滾子軸承由軸承滾道與圓柱滾子等部分組成，通過滾子在軸承滾道的運動完成對應工作。
測量需求主要包括：
1、測量軸承滾道錐面直線度與粗糙度；
2、測量圓柱滾子不同位置的凸度、滾子素線、對稱性等。
解決方案
使用SJ5730高精度粗糙度輪廓一體測量儀與配套軟件測量軸承滾道，在行業(yè)內(nèi)創(chuàng)新性地實現(xiàn)“一次測量掃描后，在同一個界面顯示粗糙度評價結(jié)果與輪廓分析結(jié)果”。測量圓柱滾子，SJ5730軟件新增滾子分析功能，專門針對軸承滾子凸度等參數(shù)進行評價分析，如下測量示例：
軸承滾道直線度和粗糙度測量與分析
在同個界面可同時顯示直線度與粗糙度參數(shù)：
圓柱滾子對數(shù)曲線測量與分析
定制夾具放置滾子掃描
圓柱滾子測量分析結(jié)果：
總結(jié)
SJ5730系列高精度粗糙度輪廓一體測量儀能夠滿足軸承行業(yè)絕大部分測量需求，除了本文提到的圓柱滾子軸承的錐面直線度、粗糙度以及圓柱滾子的凸度分析，也支持其他軸承測量與結(jié)果分析。例如內(nèi)外套圈的密封槽形狀（角度、倒角、槽深、槽寬等）；各種滾子軸承的滾子和套圈母線的凸度、角度、曲線；滾針軸承、圓柱滾子軸承、直線軸承的滾動體和套圈的直線度；球軸承溝道與四點接觸軸承溝槽曲率半徑等測量分析。專業(yè)化的軟件設(shè)計能夠讓用戶輕松使用的同時獲得精準的測量數(shù)據(jù)，為軸承檢測行業(yè)助力！
SJ5730-100高精度粗糙度輪廓一體測量儀
SJ5730-200高精度粗糙度輪廓一體測量儀
展開 
硬菜：什么是表面粗糙度？
再將大規(guī)模波紋以及輪廓的小波長粗糙度從較長波長中分離出來，即測量儀做電子過濾。
* 測針型粗糙度測量儀特性的定義可參考ISO 3274：1996。
測針式表面粗糙度測量儀的構(gòu)成示意圖：
大部分正確的、完整的表面粗糙度測量法，雖然都是使用專用的測量機，但在有的情況下，為了快捷且低成本操作也可以使用手持套裝工具測量，如下圖：
粗糙度比較片是以鎳為基礎(chǔ)，以電鑄方式制成的樣本，用于金屬加工非常理想，屬于非常有效的輔助工具。
操作者使用時只要以指甲在一組中的每一片表面都橫刮而過，尋找與被比較工件最接近的即可。有人會將這些模型組作為查詢表，但是值得注意的是，這并非材質(zhì)標準。
粗糙度測量機可以實現(xiàn)的功能不同，評價的方法不同，成本也各有高低。選型之前可以到專業(yè)的生產(chǎn)廠商進行咨詢，根據(jù)所需選擇最適合的機型。
展開 什么是表面粗糙度？
要研究表面粗糙度，需要使用專用的機器，即：
表面粗糙度測量儀
Formtracer Avant系列
表面粗糙度測量機是以安裝高敏感性金剛石測針劃過表面，就像是留聲機的拾音器一樣。再將大規(guī)模波紋以及輪廓的小波長粗糙度從較長波長中分離出來，即測量儀做電子過濾。
*測針型粗糙度測量儀特性的定義可參考ISO 3274：1996。
測針式表面粗糙度測量儀的構(gòu)成示意圖：
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*測針型粗糙度測量儀特性的定義可參考ISO 3274：1996。
測針式表面粗糙度測量儀的構(gòu)成示意圖：
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展開 激光共聚焦顯微鏡測粗糙度，解讀表面粗糙度的科技利器
激光共聚焦顯微鏡（Laser Scanning Confocal Microscope，簡稱LSCM）是一種光學顯微鏡，通過激光束的聚焦和散射技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率的三維圖像采集和表面測量。其在科學研究、工程領(lǐng)域等領(lǐng)域有著廣泛的應用，尤其在測量表面粗糙度方面具有優(yōu)勢。
激光共聚焦顯微鏡的核心技術(shù)是激光束的聚焦和散射。當激光束聚焦到樣品表面時，只有聚焦點處的樣品表面才會發(fā)射回散射光，而其他位置的光則被濾除，從而實現(xiàn)對樣品表面的高分辨率成像。通過調(diào)節(jié)激光束的焦距和掃描范圍，可以獲取不同深度的三維圖像，從而實現(xiàn)對樣品表面的精確測量。
在測量粗糙度方面，激光共聚焦顯微鏡具有以下幾個優(yōu)勢：
1、高分辨率：激光共聚焦顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)亞微米級別的空間分辨率，可以清晰地觀察到樣品表面的微觀結(jié)構(gòu)，從而準確地測量其粗糙度。
2、三維測量：與傳統(tǒng)的表面粗糙度測量方法相比，激光共聚焦顯微鏡可以獲取樣品表面的三維形貌信息，包括高度、形狀等，從而更全面地描述表面的粗糙度特征。
3、非接觸測量：激光共聚焦顯微鏡的測量過程是非接觸的，不會對樣品表面造成損傷，適用于對脆性或敏感樣品的測量。
4、實時成像：激光共聚焦顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)實時成像和在線測量，使得用戶可以及時獲取樣品表面的粗糙度信息，并進行實時分析和調(diào)整。
鐳射槽
光伏
在實際應用中，激光共聚焦顯微鏡廣泛用于材料表面的粗糙度測量、表面形貌分析、微結(jié)構(gòu)觀察等領(lǐng)域。
展開 白光干涉儀測曲面粗糙度
它以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化，能實現(xiàn)表面輪廓的三維重建并可進行輪廓尺寸分析。
白光干涉儀的形貌測量，以表面形貌為主，即工件某一個表面上的微觀形貌：
1、微觀輪廓尺寸測量：主要是臺階高、槽深之類，涉及到最小縱向10nm量級，在驗證上可以與原子力顯微鏡、臺階儀交叉驗證。
2、粗糙度測量：白光測量的粗糙度范圍從0.1nm到10μm級別。面和線粗糙度測量，最高可確保0.1nm的測量可靠性，不限制材質(zhì)和形狀。
SuperViewW1白光干涉儀粗糙度RMS重復性0.005nm，利用光波干涉原理 將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來，并利用放大倍數(shù)高的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進行測量，以得出被測表面粗糙度，可以輕松測量曲面粗糙度。
球面鏡曲率半徑、粗糙度測量
針對葉片類曲面零部件，型號為W3的白光干涉儀能夠在空間范圍內(nèi)實現(xiàn)曲面全自動測量功能，解決其形狀不規(guī)則裝夾不便、測量點分布不在同一個面、單次測量效率低的問題。
測量發(fā)動機葉片大空間自由曲面
展開 什么是表面粗糙度，別再傻傻分不清！
【最小二乘法中線】是把測量過程中采集的點進行最小二乘法計算。
【輪廓算術(shù)平均中線】在取樣長度內(nèi)，使中線上下兩部分輪廓的面積相等。
理論上最小二乘中線是理想的基準線，但在實際應用中很難獲得，因此一般用輪廓的算術(shù)平均中線代替，且測量時可用一根位置近似的直線進行代替使用。
表面粗糙度如何獲得？
表面粗糙度的評價在制造業(yè)中越發(fā)被重視。要研究表面粗糙度，需要使用專用的機器，即：
表面粗糙度測量儀
Formtracer Avant系列
表面粗糙度測量機是以安裝高敏感性金剛石測針劃過表面，就像是留聲機的拾音器一樣。再將大規(guī)模波紋以及輪廓的小波長粗糙度從較長波長中分離出來，即測量儀做電子過濾。
*測針型粗糙度測量儀特性的定義可參考ISO 3274：1996。
測針式表面粗糙度測量儀的構(gòu)成示意圖：
大部分正確的、完整的表面粗糙度測量法，雖然都是使用專用的測量機，但在有的情況下，為了快捷且低成本操作也可以使用手持套裝工具測量，如下圖：
粗糙度比較片是以鎳為基礎(chǔ)，以電鑄方式制成的樣本，用于金屬加工非常理想，屬于非常有效的輔助工具。
操作者使用時只要以指甲在一組中的每一片表面都橫刮而過，尋找與被比較工件最接近的即可。有人會將這些模型組作為查詢表，但是值得注意的是，這并非材質(zhì)標準。
粗糙度測量機可以實現(xiàn)的功能不同，評價的方法不同，成本也各有高低。
展開 白光干涉儀如何測量曲面粗糙度特征
利用光波干涉原理 將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來，并利用放大倍數(shù)高的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進行測量，以得出被測表面粗糙度，可以輕松測量曲面粗糙度。
白光測量的粗糙度范圍從0.1nm到10μm別。面和線粗糙度測量，可確保0.1nm的測量可靠性，不限制材質(zhì)和形狀。在實際測量過程中，被測物體表面的形狀可能是比較復雜的曲面，這就需要將曲面分成很多小區(qū)域，逐個進行測量來確定表面的整體形狀。一般來說，曲面可以由一系列的平面或曲面所組成，每個小區(qū)域的表面形狀都可以近似看作是一個平面或曲面。
測量過程包括三個主要步驟：
1. 校準
校準是確定測量儀器的基準，校正干涉圖像；需要把白光干涉儀與標準平面進行校正。一般情況下，使用平面玻璃作為標準平面，通過調(diào)節(jié)干涉儀的反射鏡和位移鏡等參數(shù)，使得干涉圖像呈現(xiàn)出平直的垂直桿紋。
2. 分區(qū)
將被測曲面劃分為若干個小區(qū)域，每個小區(qū)域都可以看成是一個平面或者一個曲面，需要依次進行測量。在分區(qū)之確定分區(qū)大小，一般情況下根據(jù)曲面變化情況確定分區(qū)大小，如果曲率變化較大的地方，分區(qū)可以設(shè)置得更小。
3. 測量
在分區(qū)的過程中，需要通過調(diào)整白光干涉儀的參數(shù)，使得干涉圖像呈現(xiàn)出垂直的桿紋，然后測量每個小區(qū)域的高度信息。在測量每個小區(qū)域時，需要確定參考面，一般可以根據(jù)分區(qū)的情況選擇適當?shù)膮⒖济妫梢允菢藴势矫婊蛏弦粋€分區(qū)的表面等。
針對葉片類曲面零部件，型號為W5的白光干涉儀能夠在空間范圍內(nèi)實現(xiàn)曲面全自動測量功能，解決其形狀不規(guī)則裝夾不便、測量點分布不在同一個面、單次測量效率低的問題。
注意事項
在測量曲面時需要注意以下幾點：
1. 測量時需要避免強烈的光線干擾，盡量在較暗的環(huán)境中進行測量。
2.
展開 
表面粗糙度全方位解析，及表面粗糙度對照表！
比較法
使用于車間現(xiàn)場測量，常用于中等或較粗糙表面的測量。方法是將被測量表面與標有一定數(shù)值的粗糙度樣板比較來確定被測表面粗糙度數(shù)值的方法。
2. 觸針法
表面粗糙度利用針尖曲率半徑為2μm左右的金剛石觸針沿被測表面緩慢滑行，金剛石觸針的上下位移量由電學式長度傳感器轉(zhuǎn)換為電信號，經(jīng)放大、濾波、計算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數(shù)值，也可用記錄器記錄被測截面輪廓曲線。
一般將僅能顯示表面粗糙度數(shù)值的測量工具稱為表面粗糙度測量儀，同時能記錄表面輪廓曲線的稱為表面粗糙度輪廓儀。這兩種測量工具都有電子計算電路或電子計算機，它能自動計算出輪廓算術(shù)平均偏差Ra，微觀不平度十點高度Rz，輪廓最大高度Ry和其他多種評定參數(shù)，測量效率高，適用于測量Ra為0.025～6.3μm的表面粗糙度。
展開 從0.1nm到1mm：中圖儀器顯微測量儀在拋光至粗糙表面測量中的技術(shù)突破
顯微測量儀是納米級精度的表面粗糙度測量技術(shù)。它利用光學、電子或機械原理對微小尺寸或表面特征進行測量，能夠提供納米級甚至更高級別的測量精度，這對于許多科學和工業(yè)應用至關(guān)重要。
在拋光至粗糙表面測量中，中圖儀器的顯微測量儀器具有從0.1nm到1mm的測量范圍，每種儀器都有其獨特的功能和應用范圍。
三種不同顯微測量技術(shù)在測量表面粗糙度方面的優(yōu)勢詳解
一、光學3D表面輪廓儀
工作原理：
1.光源與分光：儀器的光源發(fā)出的光束首先通過擴束準直，然后通過分光棱鏡分成兩束光。一束光直接投射到被測表面，另一束光則投射到參考鏡上。
2.反射與干涉：從被測表面反射回來的光束與從參考鏡反射回來的光束在分光棱鏡處匯聚，由于兩束光在不同的路徑上行進，它們之間存在光程差。當兩束光的光程差為半波長的整數(shù)倍時，它們會發(fā)生干涉，形成明暗相間的干涉條紋。
3.成像與分析：光學3D表面輪廓儀將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號。通過測量這些干涉條紋的變化，可以推算出被測表面的三維形貌。系統(tǒng)軟件對這些數(shù)據(jù)進行處理和分析，從而得到表面的粗糙度、臺階高度、幾何輪廓等參數(shù)。
測量能力：
1.粗糙度測量范圍：SuperViewW光學3D表面輪廓儀能夠測量從超光滑表面（0.1nm粗糙度）到相對粗糙表面（1mm粗糙度）的三維形貌。
2.垂直分辨率：SuperViewW光學3D表面輪廓儀可以達到0.1nm的垂直分辨率，這對于測量光滑表面的微小高度變化至關(guān)重要。
3.水平分辨率：水平分辨率取決于儀器的掃描范圍和傳感器的像素大小，它決定了可以測量的最小特征尺寸。
展開 干機械，但是90%的人不知道表面粗糙度Ra為什么用0.8，1.6，3.2，6.3，12.5表示？
7、表面粗糙度測量方法
1、 比較法
使用于車間現(xiàn)場測量，常用于中等或較粗糙表面的測量。方法是將被測量表面與標有一定數(shù)值的粗糙度樣板比較來確定被測表面粗糙度數(shù)值的方法。
2、觸針法
表面粗糙度利用針尖曲率半徑為2微米左右的金剛石觸針沿被測表面緩慢滑行，金剛石觸針的上下位移量由電學式長度傳感器轉(zhuǎn)換為電信號，經(jīng)放大、濾波、計算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數(shù)值，也可用記錄器記錄被測截面輪廓曲線。一般將僅能顯示表面粗糙度數(shù)值的測量工具稱為表面粗糙度測量儀，同時能記錄表面輪廓曲線的稱為表面粗糙度輪廓儀。這兩種測量工具都有電子計算電路或電子計算機，它能自動計算出輪廓算術(shù)平均偏差Ra，微觀不平度十點高度Rz，輪廓*大高度Ry和其他多種評定參數(shù)，測量效率高，適用于測量Ra為0.025～6.3微米的表面粗糙度。
3、 光切法
光線通過狹縫后形成的光帶投射到被測表面上，以它與被測表面的交線所形成的輪廓曲線來測量表面粗糙度（圖3）。由光源射出的光經(jīng)聚光鏡、狹縫、物鏡1后，以45°的傾斜角將狹縫投影到被測表面，形成被測表面的截面輪廓圖形，然后通過物鏡 2將此圖形放大后投射到分劃板上。利用測微目鏡和讀數(shù)鼓輪先讀出h值，計算后得到H 值。應用此法的表面粗糙度測量工具稱為光切顯微鏡。它適用于測量RZ和Ry為0.8～100微米的表面粗糙度，需要人工取點，測量效率低。
4、 干涉法
利用光波干涉原理 (見平晶、激光測長技術(shù))將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來，并利用放大倍數(shù)高 （可達500倍）的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進行測量，以得出被測表面粗糙度。應用此法的表面粗糙度測量工具稱為干涉顯微鏡。
展開 天天做機械，但是90%的人不知道表面粗糙度Ra為什么用0.8，1.6，3.2，6.3，12.5表示？
7、表面粗糙度測量方法
1、 比較法
使用于車間現(xiàn)場測量，常用于中等或較粗糙表面的測量。方法是將被測量表面與標有一定數(shù)值的粗糙度樣板比較來確定被測表面粗糙度數(shù)值的方法。
2、觸針法
表面粗糙度利用針尖曲率半徑為2微米左右的金剛石觸針沿被測表面緩慢滑行，金剛石觸針的上下位移量由電學式長度傳感器轉(zhuǎn)換為電信號，經(jīng)放大、濾波、計算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數(shù)值，也可用記錄器記錄被測截面輪廓曲線。一般將僅能顯示表面粗糙度數(shù)值的測量工具稱為表面粗糙度測量儀，同時能記錄表面輪廓曲線的稱為表面粗糙度輪廓儀。這兩種測量工具都有電子計算電路或電子計算機，它能自動計算出輪廓算術(shù)平均偏差Ra，微觀不平度十點高度Rz，輪廓*大高度Ry和其他多種評定參數(shù)，測量效率高，適用于測量Ra為0.025～6.3微米的表面粗糙度。
3、 光切法
光線通過狹縫后形成的光帶投射到被測表面上，以它與被測表面的交線所形成的輪廓曲線來測量表面粗糙度（圖3）。由光源射出的光經(jīng)聚光鏡、狹縫、物鏡1后，以45°的傾斜角將狹縫投影到被測表面，形成被測表面的截面輪廓圖形，然后通過物鏡 2將此圖形放大后投射到分劃板上。利用測微目鏡和讀數(shù)鼓輪先讀出h值，計算后得到H 值。應用此法的表面粗糙度測量工具稱為光切顯微鏡。它適用于測量RZ和Ry為0.8～100微米的表面粗糙度，需要人工取點，測量效率低。
4、 干涉法
利用光波干涉原理 (見平晶、激光測長技術(shù))將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來，并利用放大倍數(shù)高 （可達500倍）的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進行測量，以得出被測表面粗糙度。應用此法的表面粗糙度測量工具稱為干涉顯微鏡。
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