光學(xué)3D輪廓測(cè)量的案例
3d光學(xué)輪廓儀應(yīng)用于測(cè)量超光滑透明微光學(xué)器件
4、三維測(cè)量：3d光學(xué)輪廓儀能夠?qū)崿F(xiàn)器件表面的三維測(cè)量，即獲取表面的形貌、幾何形狀和曲率等信息。這對(duì)于微光學(xué)器件的設(shè)計(jì)和制造具有重要的意義，可以幫助分析器件的性能和效果，為后續(xù)加工工藝提供指導(dǎo)。
5、廣泛應(yīng)用：3d光學(xué)輪廓儀在微電子、光學(xué)加工、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。它可以用于精確測(cè)量光學(xué)鏡片、光導(dǎo)纖維端面、光纖激光頭、光學(xué)涂層等器件，為質(zhì)量控制和過(guò)程優(yōu)化提供了重要的工具和手段。
3d光學(xué)輪廓儀：超光滑透明微光學(xué)器件測(cè)量的利器
3d光學(xué)輪廓儀用于測(cè)量微光學(xué)器件應(yīng)用案例
為獲得更好的光學(xué)處理效果，需對(duì)玻璃或樹(shù)脂等光學(xué)材料結(jié)構(gòu)進(jìn)行微納工藝加工，如時(shí)下流行的投影儀中勻光用的激光擴(kuò)散片，還有各類組成特殊圖案的衍射元件，工業(yè)用光柵、特殊目的的光學(xué)器件。
展開(kāi) 光學(xué)3D表面輪廓儀可以測(cè)金屬嗎？
光學(xué)3D表面輪廓儀是基于白光干涉技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等快速、準(zhǔn)確測(cè)量物體表面的形狀和輪廓的檢測(cè)儀器。它利用光學(xué)投射原理，通過(guò)光學(xué)傳感器對(duì)物體表面進(jìn)行掃描，并根據(jù)反射光的信息來(lái)重建物體的三維模型。這種測(cè)量方式具有非接觸性、高精度、高速度等優(yōu)點(diǎn)，非常適合用于金屬等材料的表面測(cè)量。
光學(xué)3D表面輪廓儀可以測(cè)量金屬的形狀、表面缺陷、幾何尺寸等多個(gè)方面：
1、形狀測(cè)量。光學(xué)3D表面輪廓儀可以快速、準(zhǔn)確地獲取金屬表面的曲率、凹凸等特征。
2、表面缺陷檢測(cè)。光學(xué)3D表面輪廓儀可以實(shí)時(shí)捕捉金屬表面的瑕疵、劃痕、凹陷等問(wèn)題，以便及時(shí)修復(fù)和改進(jìn)。
3、幾何尺寸測(cè)量。光學(xué)3D表面輪廓儀可以測(cè)量金屬制品的長(zhǎng)度、寬度、高度等維度參數(shù)。
除了測(cè)量金屬表面的形狀和輪廓外，光學(xué)3D表面輪廓儀還可以生成三維點(diǎn)云數(shù)據(jù)和色彩圖像，用于進(jìn)一步分析和展示：
1、三維點(diǎn)云數(shù)據(jù)可以用于進(jìn)行CAD模型比對(duì)、工藝分析等，幫助優(yōu)化生產(chǎn)流程和提高產(chǎn)品質(zhì)量；
2、色彩圖像可以直觀地展示金屬表面的紋理、顏色等特征，為審美評(píng)價(jià)和設(shè)計(jì)提供參考。
SuperViewW1能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。
總之，光學(xué)3D表面輪廓儀在金屬測(cè)量方面應(yīng)用廣泛，可以實(shí)現(xiàn)非接觸式、高精度的測(cè)量。但是在測(cè)量前需要充分了解被測(cè)金屬的特性，通過(guò)合理的儀器操作和數(shù)據(jù)處理，才能得到精準(zhǔn)的測(cè)量結(jié)果。想了解更多可咨詢中圖儀器。
展開(kāi) 微觀特征輪廓尺寸測(cè)量：光學(xué)3D輪廓儀、共焦顯微鏡與臺(tái)階儀的應(yīng)用
隨著科技進(jìn)步，顯微測(cè)量儀器以滿足日益增長(zhǎng)的微觀尺寸測(cè)量需求而不斷發(fā)展進(jìn)步。多種高精度測(cè)量儀器被用于微觀尺寸的測(cè)量，其中包括光學(xué)3D表面輪廓儀（白光干涉儀）、共聚焦顯微鏡和臺(tái)階儀。有效評(píng)估材料表面的微觀結(jié)構(gòu)和形貌，從而指導(dǎo)生產(chǎn)過(guò)程、優(yōu)化產(chǎn)品性能。
光學(xué)3D表面輪廓儀（白光干涉儀）
光學(xué)3D表面輪廓儀是一種利用白光干涉原理進(jìn)行非接觸式測(cè)量的高精度儀器。它通過(guò)分析反射光的干涉模式來(lái)重建表面的三維形貌。
非接觸無(wú)損測(cè)量，超高縱向分辨率，測(cè)量從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面。測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺(tái)階高度，錐角等等）；
幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。
光學(xué)3D表面輪廓儀廣泛應(yīng)用于對(duì)器件表面質(zhì)量要求超高的光學(xué)加工、半導(dǎo)體制造與封裝、超精密加工、3C產(chǎn)業(yè)鏈等，同時(shí)在航空航天、國(guó)防工業(yè)以及科學(xué)研究等領(lǐng)域也存在普遍使用。它能以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。
共聚焦顯微鏡
共聚焦顯微鏡以共軛共焦技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成的用于樣品表面3D微觀形貌檢測(cè)的精密光學(xué)儀器。
非接觸式無(wú)損檢測(cè)方式，復(fù)雜結(jié)構(gòu)的大角度形貌測(cè)量能力，優(yōu)異的橫向分辨率，低反射率表面的適應(yīng)性強(qiáng)。
展開(kāi) 光學(xué)3D表面輪廓儀：滿足多元超精密微觀尺寸測(cè)量需求
光學(xué) 3D 表面輪廓儀采用先進(jìn)的光學(xué)原理和精密的測(cè)量技術(shù)，能夠?qū)ξ矬w表面進(jìn)行非接觸式的三維測(cè)量。與傳統(tǒng)的測(cè)量方法相比，它具有諸多優(yōu)勢(shì)。首先，非接觸式測(cè)量避免了對(duì)被測(cè)物體的損傷，尤其對(duì)于一些精密的、易損的材料和工件，能夠在不影響其性能的前提下進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。其次，高分辨率的測(cè)量能力可以捕捉到物體表面微小的細(xì)節(jié)，無(wú)論是納米級(jí)的微觀結(jié)構(gòu)還是宏觀物體的復(fù)雜形貌，都能清晰呈現(xiàn)。再者，快速的測(cè)量速度使得它能夠在短時(shí)間內(nèi)完成大量數(shù)據(jù)的采集，提高了工作效率。
SuperViewW 系列光學(xué) 3D 表面輪廓儀，涵蓋了多種不同類型的產(chǎn)品，滿足了不同客戶的多樣化需求。無(wú)論是追求高精度測(cè)量的科研機(jī)構(gòu)，還是需要測(cè)量大尺寸工件的工業(yè)企業(yè)，都能在這個(gè)系列中找到最適合自己的解決方案。
高精度：精準(zhǔn)捕捉每一個(gè)細(xì)節(jié)
在高精度測(cè)量要求的應(yīng)用場(chǎng)景中，高精度光學(xué) 3D 表面輪廓儀采用先進(jìn)的白光干涉技術(shù)，能夠精確地捕捉物體表面的微小細(xì)節(jié)，為科研人員和工程師們提供了可靠的數(shù)據(jù)支持。如在材料科學(xué)領(lǐng)域，通過(guò)高精度光學(xué) 3D 表面輪廓儀對(duì)新型納米材料進(jìn)行表面形貌研究，可以精準(zhǔn)測(cè)量出納米材料表面的高度信息、粗糙度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)，為進(jìn)一步優(yōu)化材料性能提供了重要依據(jù)。其精度之高，可達(dá)到納米級(jí)別。
大尺寸測(cè)量：輕松應(yīng)對(duì)大型工件
在需要測(cè)量大尺寸工件時(shí)，SuperViewW 系列同樣有相應(yīng)的產(chǎn)品可供選擇。這些大尺寸測(cè)量儀器具備廣闊的測(cè)量范圍和穩(wěn)定的性能，能夠輕松應(yīng)對(duì)各種大型工件的測(cè)量任務(wù)。
WX-S1000，升級(jí)版超大行程光學(xué)3D表面輪廓儀（龍門結(jié)構(gòu)，超大行程，氣浮隔振，穩(wěn)如泰山），2D表面測(cè)量/3D立體重建一鍵全自動(dòng)測(cè)量，高精度微納尺寸形貌檢測(cè)利器。
展開(kāi) 
白光3D輪廓測(cè)量儀滿足時(shí)下半導(dǎo)體封裝測(cè)量需求
尤其在近幾年，先進(jìn)節(jié)點(diǎn)走向10nm、7nm、5nm......白光3D輪廓測(cè)量儀適配芯片制造生產(chǎn)線，致力于滿足時(shí)下半導(dǎo)體封裝中晶圓減薄厚度、晶圓粗糙度、激光切割后槽深槽寬的測(cè)量需求，助力半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。
W1白光3D輪廓測(cè)量儀X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm，滿足晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高、彈坑等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。
臺(tái)階高精確度：0.3%
臺(tái)階高重復(fù)性：0.08 % 1σ
縱向分辨率：0.1nm
RMS重復(fù)性：0.005nm
橫向分辨率（0.5λ/NA）：0.5um~3.7um
特點(diǎn)：粗糙度測(cè)量、彈坑測(cè)量、測(cè)量尺寸6英寸以下。
W3白光3D輪廓測(cè)量儀X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為300*300mm，超大規(guī)格平面、兼容型12英寸真空吸附盤(pán)能檢測(cè)12寸及以下尺寸的Wafer；氣浮隔振設(shè)計(jì)&吸音材質(zhì)隔離設(shè)計(jì)，確保儀器在千級(jí)車間能有效濾除地面和聲波的振動(dòng)干擾，穩(wěn)定工作；自動(dòng)化測(cè)量半導(dǎo)體晶圓。
半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)ｍ?xiàng)功能
1.同步支持6、8、12英寸三種規(guī)格的晶圓片測(cè)量，一鍵即可實(shí)現(xiàn)三種規(guī)格的真空吸盤(pán)的自動(dòng)切換以配適不同尺寸晶圓；
2.具備研磨供以后減薄片的粗糙度自動(dòng)測(cè)量功能，一鍵可測(cè)量數(shù)十個(gè)小區(qū)域的粗糙度求取均值；
3.具備劃片工藝中激光鐳射開(kāi)槽后的槽道深寬輪廓數(shù)據(jù)測(cè)量功能，可以一鍵實(shí)現(xiàn)槽道深寬相關(guān)的面和多條剖面線的數(shù)據(jù)測(cè)量與分析；
4.具備晶圓制造工藝中鍍膜臺(tái)階高度的測(cè)量，覆蓋從1nm~1mm的測(cè)量范圍，實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。
W3白光干涉儀測(cè)量12英寸硅晶圓的應(yīng)用.mp4
展開(kāi) 三維輪廓儀測(cè)粗糙度：光學(xué)3D表面輪廓儀功能詳解
在精密制造領(lǐng)域，表面粗糙度的測(cè)量是確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵步驟。光學(xué)3D表面輪廓儀為這一需求提供了解決方案。
在半導(dǎo)體制造、3C電子、光學(xué)加工等高精度行業(yè)，表面粗糙度的測(cè)量精度直接影響到產(chǎn)品的性能和可靠性。SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀正是為了滿足這一需求而設(shè)計(jì)的。
產(chǎn)品特點(diǎn)
SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀采用了白光干涉技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法，能夠?qū)Ω鞣N精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)的測(cè)量。這種非接觸式的掃描方式不僅避免了對(duì)被測(cè)物體的損傷，還提供了高測(cè)量精度和重復(fù)性。
測(cè)量原理
該系列輪廓儀的工作原理基于光學(xué)干涉技術(shù)，通過(guò)白光LED作為光源，對(duì)被測(cè)物體表面進(jìn)行照射。由于白光具有寬廣的光譜，能夠提供更高的測(cè)量精度和分辨率。通過(guò)精密的Z向掃描，設(shè)備能夠捕捉到物體表面的微觀形貌，并利用3D建模算法重建出物體的3D圖像。
應(yīng)用領(lǐng)域
SuperView W系列光學(xué)3D表面輪廓儀的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛，包括但不限于半導(dǎo)體制造、3C電子產(chǎn)品的玻璃屏、光學(xué)元件的曲率和輪廓尺寸測(cè)量、超精密加工、微納材料制造、汽車零部件以及航空航天和科研院所的研究工作。
性能特色
1. 高精度與高重復(fù)性：采用的光學(xué)干涉技術(shù)和精密Z向掃描模塊，確保了測(cè)量的高精度。
2. 環(huán)境噪聲檢測(cè)功能：能夠定量評(píng)估外界環(huán)境對(duì)測(cè)量的干擾，為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供數(shù)據(jù)支持。
3. 精密操縱手柄：集成了X、Y、Z三個(gè)方向的位移調(diào)整功能，使得測(cè)量前的準(zhǔn)備工作更加快捷。
4. 雙重防撞保護(hù)措施：軟件和硬件雙重保護(hù)，最大限度降低操作風(fēng)險(xiǎn)。
5.
展開(kāi) 白光干涉儀(光學(xué)輪廓儀)：揭秘測(cè)量坑的形貌的利器！
（激光共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理，更容易測(cè)陡峭邊緣，擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè)，雖在檢測(cè)分辨率上略遜，但成像圖色彩斑斕，便于觀察。）
SJ5900光學(xué)型輪廓儀：衍射非球面精準(zhǔn)測(cè)量新利器
非球面衍射型多焦人工晶狀體圖
在光學(xué)領(lǐng)域，衍射非球面鏡片的測(cè)量一直是一項(xiàng)具有挑戰(zhàn)性的任務(wù)，主要有以下難點(diǎn)：
1、測(cè)量精度要求高：非接觸式測(cè)量方法通常無(wú)法像接觸式測(cè)量那樣直接獲取精確的測(cè)量數(shù)據(jù)，測(cè)量過(guò)程中任何微小的誤差都可能影響到最終的光學(xué)效果；
2、測(cè)量環(huán)境要求嚴(yán)格：由于衍射非球面零件的尺寸和形狀復(fù)雜，在測(cè)量過(guò)程中需要保持一定的環(huán)境條件，如噪音、震動(dòng)、溫度等；
3、測(cè)量范圍要求廣：衍射非球面的測(cè)量范圍需要覆蓋其整個(gè)表面，包括各種曲率和尺寸，這需要測(cè)量設(shè)備具有足夠的測(cè)量范圍和精度；
4、數(shù)據(jù)處理難度大：測(cè)量得到的數(shù)據(jù)需要進(jìn)行復(fù)雜的處理和分析，以獲得準(zhǔn)確的表面形狀和尺寸信息，這需要具備相應(yīng)的數(shù)據(jù)處理技能和經(jīng)驗(yàn)。
以往國(guó)內(nèi)能夠檢測(cè)高精度衍射非球面鏡片參數(shù)的專業(yè)測(cè)量設(shè)備基本依賴進(jìn)口，為了滿足市場(chǎng)對(duì)衍射非球面測(cè)量的需求，中圖儀器SJ5900光學(xué)型輪廓儀新增衍射非球面測(cè)量功能，為衍射非球面鏡片高質(zhì)量生產(chǎn)保駕護(hù)航。
SJ5900光學(xué)型輪廓儀
SJ5900光學(xué)型輪廓儀解決方案：
1、高精度接觸式測(cè)量：采用超高精度納米衍射光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，儀器精度達(dá)高水平（儀器直線度≤0.25μm/200mm，大范圍形貌微觀輪廓Pt≤0.3μm），通過(guò)測(cè)針接觸鏡片掃描實(shí)現(xiàn)高精度的衍射非球面測(cè)量；
2、一體封閉式：一體封閉式外觀減少外界噪聲，氣浮減震系統(tǒng)隔絕環(huán)境振動(dòng)；
3、測(cè)量范圍：X行程可達(dá)200mm，測(cè)針掃描高度最大可達(dá)24mm，基本覆蓋大多數(shù)非球面有效口徑范圍；
4、定制個(gè)性化方案：可提供個(gè)性化定制服務(wù)，根據(jù)用戶的特定需求進(jìn)行設(shè)計(jì)和調(diào)整，以滿足用戶的要求和應(yīng)用。
展開(kāi) 白光干涉儀(光學(xué)3D表面輪廓儀)與臺(tái)階儀的區(qū)別
表面形貌即為表面微觀幾何形態(tài)，不僅對(duì)接觸零件的機(jī)械和物理特性起著決定作用，而且對(duì)一些非接觸零件的光學(xué)和外部特性影響也很大。所以對(duì)表面形貌的精準(zhǔn)測(cè)量能正確地識(shí)別出加工過(guò)程的變化和缺陷，對(duì)研究表面幾何特性與使用性能的關(guān)系、控制和改進(jìn)加工方法等都有著顯著的意義。
隨著微電子技術(shù)、光學(xué)技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、傳感技術(shù)、信號(hào)分析和處理技術(shù)等飛速發(fā)展，對(duì)表面形貌測(cè)量精度不斷提高，從微米尺度進(jìn)入了納米甚至是亞納米尺度。臺(tái)階儀與白光干涉儀，兩者雖然都是表面微觀輪廓測(cè)量利器，但還是有所不同。
1、測(cè)量方式
（1）CP200臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量儀器，測(cè)量時(shí)通過(guò)使用2μm半徑的金剛石針尖在超精密位移臺(tái)移動(dòng)樣品時(shí)掃描其表面，測(cè)針的垂直位移距離被轉(zhuǎn)換為與特征尺寸相匹配的電信號(hào)并最終轉(zhuǎn)換為數(shù)字點(diǎn)云信號(hào)，數(shù)據(jù)點(diǎn)云信號(hào)在分析軟件中呈現(xiàn)并使用不同的分析工具來(lái)獲取相應(yīng)的臺(tái)階高或粗糙度等有關(guān)表面質(zhì)量的數(shù)據(jù)。
（2）SuperViewW1白光干涉儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)非接觸式測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理，對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。
2、測(cè)量應(yīng)用
（1）臺(tái)階儀主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。
展開(kāi) 白光干涉儀(光學(xué)3D表面輪廓儀)只能測(cè)同質(zhì)材料嗎？
白光干涉儀以白光干涉為原理，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)等領(lǐng)域，對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、磨損情況、腐蝕情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析，是一種常見(jiàn)的光學(xué)輪廓測(cè)量儀器。但是許多人對(duì)白光干涉儀的使用范圍和限制性存在疑問(wèn)，本文將圍繞“白光干涉儀是否智能測(cè)量同質(zhì)材料？”進(jìn)行深入探討。
白光干涉儀由光源、分光器、干涉儀和探測(cè)器等部分組成。儀器基于干涉現(xiàn)象原理工作：當(dāng)兩束或多束光線相互疊加時(shí)，會(huì)發(fā)生干涉現(xiàn)象。白光干涉儀利用這種干涉現(xiàn)象來(lái)測(cè)量光的相位差，從而獲得材料的相關(guān)參數(shù)。
光源發(fā)出的白光通過(guò)分光器被分成兩束光線，分別經(jīng)過(guò)不同的光路。然后，這兩束光線再次相遇并疊加在一起，形成干涉圖樣。通過(guò)干涉圖樣的變化，我們可以得到材料的相關(guān)信息。
白光干涉儀只能測(cè)同質(zhì)材料嗎？答案是否定的。在實(shí)際應(yīng)用中，白光干涉儀的測(cè)量對(duì)象可以是各種類型的材料，例如金屬、陶瓷、塑料等。無(wú)論是同質(zhì)材料還是非同質(zhì)材料的測(cè)量，白光干涉儀的干涉圖樣分析和計(jì)算方法都可以提供準(zhǔn)確而詳細(xì)的測(cè)量結(jié)果：
1、同質(zhì)材料具有相似的光學(xué)特性，因此可以采用簡(jiǎn)化的分析方法。利用干涉儀圖樣的分析，可以直接獲得相關(guān)參數(shù)（如膜層厚度、表面粗糙度、膜層折射率等），從而得到準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。
2、對(duì)于非同質(zhì)材料，由于其光學(xué)特性的差異性，分析方法相對(duì)更為復(fù)雜，通常需要借助計(jì)算機(jī)模擬和計(jì)算等手段來(lái)精確測(cè)量參數(shù)。
無(wú)論是研究材料性質(zhì)、表面形貌，還是進(jìn)行質(zhì)量控制和判別等方面，白光干涉儀都具有廣泛的應(yīng)用前景。
SuperViewW1白光干涉儀能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。
展開(kāi) 助力科研|光學(xué)3D表面輪廓儀服務(wù)超精密拋光技術(shù)發(fā)展
SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀通過(guò)納米傳動(dòng)與掃描技術(shù)、白光干涉與高精度3D重建技術(shù)實(shí)現(xiàn)0.1nm級(jí)表面粗糙度測(cè)量，成為超精密拋光技術(shù)研究領(lǐng)域的重要工具和幫手。
光學(xué)3D表面輪廓儀助力科研課題研究，服務(wù)超精密拋光技術(shù)發(fā)展
浙江工業(yè)大學(xué)趙軍、呂冰海團(tuán)隊(duì)對(duì)磨料旋轉(zhuǎn)射流拋光(ARJP)技術(shù)，剪切增稠拋光技術(shù)等開(kāi)展深入研究，并利用SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀對(duì)拋光后表面粗糙度進(jìn)行檢測(cè)驗(yàn)證，多篇論文在國(guó)際TOP期刊發(fā)布。
光學(xué)3D表面輪廓儀超0.1nm縱向分辨能力，讓顯微形貌分毫畢現(xiàn)
此外，不管是從超光滑到粗糙，還是低反射率到高反射率的物體表面，光學(xué)3D表面輪廓儀都能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。
全透明表面、漫反射表面、鏡面反射表面，可測(cè)反射率：覆蓋近0%~100%的表面反射率。
光學(xué)3D表面輪廓儀具有高精度、高速度和高可靠性等優(yōu)點(diǎn)，在科學(xué)研究、質(zhì)量控制、表面工程和納米制造等領(lǐng)域中，發(fā)揮著舉足輕重的作用。
光學(xué)3D表面輪廓儀&共聚焦顯微鏡：引領(lǐng)半導(dǎo)體行業(yè)走向新質(zhì)生產(chǎn)力時(shí)代
而顯微測(cè)量儀的高精度、高分辨率的測(cè)量能力，為半導(dǎo)體行業(yè)提供了強(qiáng)大的支持。
SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀結(jié)合機(jī)械制造、計(jì)算機(jī)技術(shù)、圖像出處理技術(shù)，以非接觸的掃描方式，實(shí)現(xiàn)針對(duì)樣品表面的高重復(fù)精度的3D測(cè)量，獲取樣品表面質(zhì)量的2D、3D數(shù)據(jù)。
儀器集合PSI高精度&VSI大范圍雙重優(yōu)點(diǎn)的EPSI掃描算法，從0.1nm級(jí)別的超光滑表面到數(shù)十微米級(jí)別的粗糙表面，都能實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。此外具有的同步分析與預(yù)編程分析功能，實(shí)現(xiàn)了分析過(guò)程的所見(jiàn)即所得，測(cè)量到分析的一鍵式操作，有效縮減操作步驟。
VT6000共聚焦顯微鏡以針孔共聚焦技術(shù)為原理，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和優(yōu)異的3D重建算法，可對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)粗糙度、微觀幾何輪廓等的測(cè)量。在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)中，對(duì)大傾角產(chǎn)品有更好的成像效果。
在芯片制造的各個(gè)環(huán)節(jié)，顯微測(cè)量儀用于檢測(cè)半導(dǎo)體芯片和晶圓的尺寸和形狀，提供準(zhǔn)確的尺寸測(cè)量，滿足半導(dǎo)體制造過(guò)程中對(duì)尺寸、形狀和表面質(zhì)量更嚴(yán)格的要求，幫助制造商及時(shí)發(fā)現(xiàn)和糾正任何偏差；在表面質(zhì)量的評(píng)估和缺陷檢測(cè)方面，顯微測(cè)量儀可以檢測(cè)微小的表面缺陷和污染，確保產(chǎn)品的表面質(zhì)量達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求，提高產(chǎn)品的可靠性和穩(wěn)定性。
我們有理由相信，在新技術(shù)和新思維的推動(dòng)下，顯微測(cè)量儀將使半導(dǎo)體行業(yè)邁向更加智能化、高效化和可持續(xù)化的未來(lái)。
展開(kāi) 從0.1nm到1mm：中圖儀器顯微測(cè)量儀在拋光至粗糙表面測(cè)量中的技術(shù)突破
顯微測(cè)量儀是納米級(jí)精度的表面粗糙度測(cè)量技術(shù)。它利用光學(xué)、電子或機(jī)械原理對(duì)微小尺寸或表面特征進(jìn)行測(cè)量，能夠提供納米級(jí)甚至更高級(jí)別的測(cè)量精度，這對(duì)于許多科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用至關(guān)重要。
在拋光至粗糙表面測(cè)量中，中圖儀器的顯微測(cè)量儀器具有從0.1nm到1mm的測(cè)量范圍，每種儀器都有其獨(dú)特的功能和應(yīng)用范圍。
三種不同顯微測(cè)量技術(shù)在測(cè)量表面粗糙度方面的優(yōu)勢(shì)詳解
一、光學(xué)3D表面輪廓儀
工作原理：
1.光源與分光：儀器的光源發(fā)出的光束首先通過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直，然后通過(guò)分光棱鏡分成兩束光。一束光直接投射到被測(cè)表面，另一束光則投射到參考鏡上。
2.反射與干涉：從被測(cè)表面反射回來(lái)的光束與從參考鏡反射回來(lái)的光束在分光棱鏡處匯聚，由于兩束光在不同的路徑上行進(jìn)，它們之間存在光程差。當(dāng)兩束光的光程差為半波長(zhǎng)的整數(shù)倍時(shí)，它們會(huì)發(fā)生干涉，形成明暗相間的干涉條紋。
3.成像與分析：光學(xué)3D表面輪廓儀將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)。通過(guò)測(cè)量這些干涉條紋的變化，可以推算出被測(cè)表面的三維形貌。系統(tǒng)軟件對(duì)這些數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和分析，從而得到表面的粗糙度、臺(tái)階高度、幾何輪廓等參數(shù)。
測(cè)量能力：
1.粗糙度測(cè)量范圍：SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀能夠測(cè)量從超光滑表面（0.1nm粗糙度）到相對(duì)粗糙表面（1mm粗糙度）的三維形貌。
2.垂直分辨率：SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀可以達(dá)到0.1nm的垂直分辨率，這對(duì)于測(cè)量光滑表面的微小高度變化至關(guān)重要。
3.水平分辨率：水平分辨率取決于儀器的掃描范圍和傳感器的像素大小，它決定了可以測(cè)量的最小特征尺寸。
展開(kāi) 《ACS Cent. Sci.》用離心法對(duì)軟材料中的粘附進(jìn)行高通量篩選試驗(yàn)
粘性聚合物薄膜的3D光學(xué)輪廓測(cè)量法(A)在重力下和(B)在離心下干燥。在離心作用下干燥的薄膜顯示出比在重力作用下顯著更光滑的表面。在測(cè)量之前特意制造凹槽以獲得膜的厚度（20μm）。凹槽內(nèi)的基板劃痕導(dǎo)致最大測(cè)量深度高于薄膜厚度。
圖 3. (A) 由于離心機(jī)轉(zhuǎn)子的幾何形狀而導(dǎo)致的偏移效應(yīng)示意圖，如果聚合物直接澆鑄在多孔板底部，則會(huì)導(dǎo)致薄膜傾斜。(B) 原位 UV 固化程序的示意圖，由選定的井顯示（在 A 部分中框出）。(C) 所選孔中底層的3D光學(xué)輪廓儀圖像（從中心開(kāi)始的第 4 個(gè)孔）。
圖 4. 在不同離心加速度下拍攝的 384 孔照片。每一行描繪了以不同速度離心的同一塊板，并在每次旋轉(zhuǎn)結(jié)束時(shí)拍攝一張照片。
圖 5. 離心粘附試驗(yàn)和探針粘性試驗(yàn)測(cè)量結(jié)果的比較。
圖 6. (A) 展示吞吐量的全板實(shí)驗(yàn)示意圖。(B) 325 μm 半徑的粒子用于全板實(shí)驗(yàn)。背景中的顆粒首先脫落，因?yàn)檫@些薄膜的粘性較低，顯示出“NU ROCKS”圖案。
總結(jié)
開(kāi)發(fā)了一種高通量、快速且具有成本效益的離心粘附力學(xué)測(cè)試管道，可以使用易于訪問(wèn)的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備和耗材來(lái)制備和表征粘附材料。獨(dú)特的離心沉積方法克服了滴注法的缺點(diǎn)，可以在多孔板的所有孔中沉積表面光滑、厚度均勻的薄膜。此外，離心粘附測(cè)試方法提供了一種定量測(cè)量，其結(jié)果由更標(biāo)準(zhǔn)的粘附測(cè)試驗(yàn)證。團(tuán)隊(duì)設(shè)想擴(kuò)展我們基于離心力的方法以高通量測(cè)量其他機(jī)械性能，擴(kuò)展先進(jìn)材料表征的能力。該工作使粘合劑的高通量發(fā)現(xiàn)成為可能，并為材料界帶來(lái)了一種新穎的工具。此外，團(tuán)隊(duì)希望將機(jī)械特性轉(zhuǎn)換為光信號(hào)的想法可以激發(fā)高通量機(jī)械測(cè)試的其他新過(guò)程。
展開(kāi) 