測量控制與儀器儀表的案例
2026江蘇測量控制與儀器儀表展會
相約長三角儀器展，鏈接全球智造伙伴
2026江蘇測量控制與儀器儀表展會
時間:2026年7月16日-18日 地點(diǎn): 南京國際展覽中心
邀請函
扎根長三角與機(jī)遇相擁
聚焦前沿科技、共探行業(yè)未來
匯聚行業(yè)頂尖力量、搭建專業(yè)交流平臺
相約長三角儀器儀表展 一站式解鎖行業(yè)寶藏資源
市場概況
本屆展會恰逢行業(yè)智能化轉(zhuǎn)型加速期與國產(chǎn)替代黃金期，我們匯聚全球前沿技術(shù)與優(yōu)質(zhì)資源，聚焦工業(yè)AI芯片、智能傳感、精密檢測等核心領(lǐng)域，集中呈現(xiàn)高端儀器國產(chǎn)化率突破52%后的創(chuàng)新成果。在這里，您將見證AI技術(shù)與儀器設(shè)備的深度融合，對接產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同機(jī)遇。我們堅(jiān)信，這場立足長三角、輻射全國、鏈接全球的行業(yè)盛會，終將成為技術(shù)交流的橋梁、合作共贏的平臺、產(chǎn)業(yè)升級的引擎，與所有從業(yè)者攜手書寫中國儀器儀表高質(zhì)量發(fā)展的嶄新篇章！
展品范圍
★自動化儀表及控制：
工業(yè)自動化儀表（溫度，壓力，流量，物位）、自動化控制系統(tǒng)、傳感器與無線傳感器網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)、智能調(diào)節(jié)閥與執(zhí)行系統(tǒng)等。
★在線分析：
在線實(shí)時監(jiān)測、分析、傳輸系統(tǒng)。
★專用儀器儀表：
分析儀器、光學(xué)儀器、實(shí)驗(yàn)儀器、計(jì)量測試儀器、地址儀器、測繪儀器、食品/農(nóng)產(chǎn)品檢測裝置、電子測試儀器與電工儀表、氣象儀器、海洋儀器、空間儀器等。
★產(chǎn)業(yè)鏈：
芯片、傳感器、元器件、材料、包裝、軟件、集成、儀器儀表賦能的行業(yè)觖決方案等。
★戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)技術(shù)：
微納米技術(shù)與器件、核電儀控技術(shù)與設(shè)備、國防高科技民品化技術(shù)設(shè)備。
展開 2026重慶測量控制展，重慶儀表展
2026重慶測量控制儀器儀表展覽會
時間：2026-5月13-15日
地址：重慶國際博覽中心
主辦單位 （排名不分先后）
重慶市自動化與儀器儀表學(xué)會
重慶市電子學(xué)會
四川省電子學(xué)會
重慶市電源學(xué)會
協(xié)辦單位
重慶市造船工程學(xué)會
承辦單位
重慶市福祥會展服務(wù)有限公司
納威國際展覽有限公司
組委會： 182 1097 7957
郵箱 ：212174515@qq.com
展會介紹
2026中國（重慶）測量控制與儀器儀表展秉持專業(yè)性及貿(mào)易性的原則，以為展商服務(wù)、為行業(yè)服務(wù)、為市場服務(wù)的宗旨，把展會的重點(diǎn)放在專業(yè)觀眾的組織、行業(yè)新政策、信息的傳遞以及促成實(shí)質(zhì)的貿(mào)易與合作等方面。
本次展會以“搶抓西部機(jī)遇，展現(xiàn)企業(yè)風(fēng)采”為主題。通過“展+會”的開放模式，整合“線上+線下”資源，為企業(yè)導(dǎo)入多元業(yè)態(tài)價值，促進(jìn)與引導(dǎo)行業(yè)間的交流及產(chǎn)供銷合作。為參展企業(yè)貼心服務(wù)。展會將邀請各大專高校、科研院所、石油化工、煤化工、制藥、食品、生物醫(yī)藥、醫(yī)療、電子、汽車、鋼鐵、造船、環(huán)保、水處理、熱力、電力、有色金屬及航空航天等企業(yè)用戶到場參觀交流。并通過網(wǎng)站、刊物、短視頻、現(xiàn)場直播等方式將展會現(xiàn)場的新產(chǎn)品、新技術(shù)、新方案展示給更多不能到場的專業(yè)觀眾。
產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)與集群優(yōu)勢
作為全國產(chǎn)業(yè)類型最齊全的城市之一，重慶幾乎涵蓋全部41個工業(yè)大類。其中制造業(yè)是重慶工業(yè)的重要組成部分，包含汽車及零部件制造、航空航天、船舶制造、軌道交通裝備制造、機(jī)器人制造、新材料制造等。重慶還是國家布局的三大儀器儀表基地之一，擁有工業(yè)自動化儀表產(chǎn)業(yè)領(lǐng)先企業(yè)，產(chǎn)品覆蓋工業(yè)場景廣，品種規(guī)格全。北碚區(qū)作為核心集聚區(qū)，集聚了川儀股份等龍頭企業(yè)，形成從研發(fā)設(shè)計(jì)到生產(chǎn)制造的完整產(chǎn)業(yè)鏈。
展開 制冷系統(tǒng)測量的方法、意義和儀器儀表的選擇、檢定
從被測參數(shù)發(fā)生變化到儀器指示出該變化值所需的時間，又稱時滯。?
例1：
兩個溫度表，精度均為1.5%。一個量程0～50℃，另一個為0～200℃，計(jì)算測量中可能產(chǎn)生的絕對誤差。同樣精度儀表，量程不同，量程大的絕對誤差大。
例2：
被測溫度為40℃左右，絕對誤差不超過±0.5℃。0～50 ℃的1.0級儀表與0～100 ℃的0.5級儀表是否均能滿足要求。
例3：
現(xiàn)有2.5級、2.0級、1.5級三塊測溫儀表，對應(yīng)的測量范圍分別為－100~+500℃、－50~550℃、0~1000℃。現(xiàn)要測量500℃的溫度，其測量值的相對誤差不超過2.5%，問選用哪塊表最合適？
儀表選擇原則和檢定
一、儀表選擇原則
1.只要能滿足被測量的要求，盡可能選用小量程的儀表；如滿足相同的誤差要求，小量程儀表，可使精度等級降低。
2.在選擇儀表時，首先要對被測量有大致的估計(jì)，最好使最大測量值落在2/3量程附近（若一旦超載，會使儀表損壞）。
二、儀表的檢定
1、什么是檢定
為評定儀表的計(jì)量性能(精確度、靈敏度等)，與規(guī)定的指標(biāo)比較，確定其性能是否合格所進(jìn)行的全部工作稱為檢定，又稱校驗(yàn)。
進(jìn)行檢定工作應(yīng)遵循國家計(jì)量檢定規(guī)程。規(guī)程詳細(xì)規(guī)定了如下項(xiàng)目：
被檢儀表的技術(shù)條件；
檢定用的標(biāo)準(zhǔn)測量器具和設(shè)備；
檢定項(xiàng)目、方法和步驟；
檢定結(jié)果處理；
檢定證書的格式和填寫要求等。
2、檢定方法
按產(chǎn)生被測量標(biāo)準(zhǔn)量值的方法不同，儀表的檢定方法分為標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)法和示值比較法兩種。
展開 丨標(biāo)準(zhǔn)丨過程測量與控制儀表20505-2014
標(biāo)準(zhǔn)
過程測量與控制儀表的功能標(biāo)志及圖形符號
編輯丨鉆石海
出品丨電氣CAD吧
今天給大家分享的是與儀表控制相關(guān)的化工行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，主要用在流程圖（P&ID）上顯示的儀表位號（PCT LOOP、PCT LOOP FUNCTION），適用于化工自控專業(yè)設(shè)計(jì)中儀表回路號、儀表位號的編制以及儀表圖形符號的規(guī)定及應(yīng)用。本標(biāo)準(zhǔn)與ANSI ISA S5.1-19849（R1992）基本吻合，且GB/T 2625-81《過程檢測和控制流程圖用圖形符號》也來源于此。有需要的小伙伴可以登陸電氣CAD吧下載。
展開 
單片機(jī)控制的直流瞬態(tài)響應(yīng)測量儀器
用單片微型計(jì)算機(jī)控制直流(電路或電源)瞬態(tài)響應(yīng)測量儀器是一種數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng),也是一種機(jī)械、電子一體化的設(shè)備,其組成部分包括12位A/D轉(zhuǎn)換器、同步采樣電路、存貯器、單片計(jì)算機(jī)、D/A轉(zhuǎn)換及微型打印機(jī)等。瞬態(tài)特性可用普通示波器觀測或由微型打印機(jī)記錄。經(jīng)過數(shù)據(jù)處理直接給出瞬態(tài)特征參數(shù)。實(shí)際應(yīng)用證明,儀器便于操作、準(zhǔn)確度高而成本低。研究成果已通過鑒定。
單片機(jī)控制的直流瞬態(tài)響應(yīng)測量儀器.pdf
AI影像測量：開啟測量儀器的智能之眼
中圖AI影像測量效率和精度
1、測量效率對比
單個工件的單次測量時間由131s縮短至AI測量28s，效率提升4.5倍
2、重復(fù)性對比
重復(fù)性大于0.02mm的尺寸占比降低81%，測量數(shù)據(jù)更穩(wěn)定，重復(fù)性更佳
3、人員一致性對比
三個不同的操作員分別使用AI測量的數(shù)據(jù)一致性比手動測量的一致性要好很多
中圖儀器的影像測量AI自動尋邊技術(shù)，可以大幅提高測量效率，助力企業(yè)打造自動化、無人化、智能化生產(chǎn)線。
巡檢員、儀表工必備液位測量工具！
此外，對于3051 系列、PMD 系列、FMB系列、EJX 系列靜壓液位測量系統(tǒng)，F(xiàn)754 還可以對一體式變送器作傳感器的調(diào)整與遷移。
總結(jié)：
Fluke 754 便攜式 Hart過程校驗(yàn)儀是專門為一體式壓力變送器、溫度變送器設(shè)計(jì)的過程校驗(yàn)儀，可以對溫變及壓變進(jìn)行完美的故障檢測及校驗(yàn)。然而，基于其自身的高測量不確定度（電壓、電流、頻率、壓力、溫度等）、Hart 通信功能，我們可以利用其實(shí)現(xiàn)一些對其它一些包括但并不限于流量、液位、分析儀表的故障檢測與分析，并對其電流輸出進(jìn)行校準(zhǔn)及回路檢測。這是便攜式 Hart 過程校驗(yàn)儀對儀表工程師而言非常有意義的附加值。
展開 中圖儀器高端裝備亮相2023深圳工業(yè)展，推進(jìn)精密測量儀器自主智能化進(jìn)程
中圖儀器是一家自主研發(fā)型精密測量儀器公司，堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，歷經(jīng)20年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐，致力于推進(jìn)高端裝備產(chǎn)品向自主化、智能化、高端化邁進(jìn)，能為不同客戶、不同行業(yè)、不同應(yīng)用場景提供全尺寸鏈解決方案，助力先進(jìn)制造業(yè)發(fā)展。
中圖儀器高端裝備亮相2023深圳工業(yè)展
1、Mars Classic系列三坐標(biāo)測量機(jī)
移動橋式結(jié)構(gòu)的Mars Classic系列三坐標(biāo)測量機(jī)開敞性好，視野開闊，上下零件方便，運(yùn)動速度快，精度高。配備高精度的導(dǎo)軌、測頭和控制系統(tǒng)，并結(jié)合計(jì)算機(jī)程序來自動控制檢測流程，從而計(jì)算輸出測量結(jié)果。
Mars Classic系列三坐標(biāo)測量機(jī)支持觸發(fā)、掃描和非接觸式探測系統(tǒng)，能夠?qū)Ω鞣N零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關(guān)系進(jìn)行檢測，也可以對軟材質(zhì)或復(fù)雜零件進(jìn)行光學(xué)掃描測量。常規(guī)機(jī)型有575、686、7106、8106等。
2、GTS激光跟蹤儀
激光跟蹤儀是大尺寸三維空間測量利器，航空航天、高鐵動車、船舶、汽車、電力能源、大型裝備、工業(yè)機(jī)器人等行業(yè)都離不開它。
GTS激光跟蹤儀百米工作空間高性能，突破了百米的測量范圍、毫秒級的測量時間、微米級的測量精度以及動態(tài)實(shí)時跟蹤測量等各項(xiàng)技術(shù)難點(diǎn)，具有三維坐標(biāo)、位置、姿態(tài)、尺寸、形狀、動態(tài)運(yùn)動參數(shù)等測量功能，可實(shí)現(xiàn)最大半徑80米范圍內(nèi)的測量。
3、Novator系列全自動影像儀
Novator系列全自動影像儀多種測量新特性、新功能的創(chuàng)新支持，具有獨(dú)立升降、可更換表光，支持頻閃照明、高速飛拍，融入閃測拼接測量，發(fā)揮綜合優(yōu)勢。
Novator系列全自動影像儀量程從200mm到1500mm全覆蓋，測量簡捷、穩(wěn)定高效，滿足多種復(fù)雜尺寸測量需求。
展開 2026年9月俄羅斯圣彼得堡電子元器件及儀器儀表展覽會
智能制造展區(qū): 工業(yè)控制技術(shù) 、機(jī)器人 ，系統(tǒng)集成商(機(jī)器人技 術(shù)與自動化) ， 電子生產(chǎn)設(shè)備 ， PLC 、PAC 、DCSHMI設(shè) 備 、連 接器 、傳感器 、儀器儀表 、開關(guān)繼電器 、嵌入式系統(tǒng) 、工業(yè)計(jì) 算機(jī)及網(wǎng)絡(luò) 、UPS 電源 、機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)等。
展會中國地區(qū)代理：廣州勵智穎展覽服務(wù)有限公司
聯(lián) 系 人：許志龍 137-6332-0311（同威信）
郵 箱：gzxuzhilong_88@163.com
24小時通訊QQ：564975014
國產(chǎn)三坐標(biāo)測量機(jī)|中圖儀器全自主研發(fā)，實(shí)現(xiàn)高精度三維尺寸測量
2、全自主研發(fā)控制器、測頭測座、軟件
Power DMIS測量軟件
Power DMIS測量軟件是中圖儀器自主研發(fā)的三坐標(biāo)測量分析軟件，擁有自主可控的核心技術(shù)。該軟件支持DMIS與I++標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議，并通過了德國PTB認(rèn)證。
主要特點(diǎn)：
（1）界面簡潔友好，互動性強(qiáng)。各功能模塊易識別和理解，用戶可以快速上手；
（2）機(jī)型庫、測頭系統(tǒng)、I++插件、DMIS轉(zhuǎn)化功能，極大提高軟件的兼容性和適配性，并得以豐富各種應(yīng)用場景；
（3）概要程序模式消除掉冗長的DMIS代碼顯示，大大降低對用戶編程技能的要求，參數(shù)化視圖交互功能實(shí)現(xiàn)所設(shè)即所測；
（4）創(chuàng)建元素提供多種測量和構(gòu)造方法，用戶可以按需設(shè)置，既增加測量應(yīng)用場景，又通過豐富的視圖工具快捷設(shè)置視圖顯示；
（5）提供路徑顯示和碰撞檢測，利于直觀形象的查看設(shè)備運(yùn)動路徑，保證安全高效測量；
（6）數(shù)據(jù)中心提供豐富多樣的數(shù)據(jù)管理功能，可實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的本地化管理，也可按客戶需求導(dǎo)入數(shù)據(jù)庫，適用于各類企業(yè)和行業(yè)。
在選擇合適的測量方法時，需要綜合考慮不同測量設(shè)備的特點(diǎn)和優(yōu)勢。無論是工作過程、測量精度，還是應(yīng)用領(lǐng)域，三坐標(biāo)測量機(jī)都展現(xiàn)出了強(qiáng)大的優(yōu)勢和潛力。同時，中圖儀器國產(chǎn)三坐標(biāo)測量機(jī)也在不斷迎頭趕上，為用戶提供測量解決方案。
展開 從微納米到百米測量，中圖國產(chǎn)智能精密測量儀器著力突破核心技術(shù)，增強(qiáng)高端供給
歷經(jīng)20年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐，研發(fā)出了基礎(chǔ)計(jì)量儀器、常規(guī)尺寸光學(xué)測量儀器、微觀尺寸光學(xué)測量儀器、大尺寸光學(xué)測量儀器、常規(guī)尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業(yè)應(yīng)用檢測設(shè)備等全尺寸鏈精密儀器及設(shè)備，能提供從納米到百米的精密測量解決方案。
未來，中圖儀器仍將繼續(xù)專注于精密測量檢測技術(shù)的發(fā)展，自強(qiáng)不息、知難而上、勇于創(chuàng)新，為中國制造技術(shù)的快速發(fā)展貢獻(xiàn)力量！
顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準(zhǔn)捕捉三維形貌
2、二維超精密測量
CP系列臺階儀，亞埃級垂直分辨率。作為一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲，如在半導(dǎo)體晶圓制造過程中，因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化，或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。
顯微測量技術(shù)在先進(jìn)制造業(yè)中具有至關(guān)重要的意義。它為制造業(yè)提供了準(zhǔn)確、可靠的測量手段，幫助企業(yè)實(shí)現(xiàn)了更高水平的制造和更高質(zhì)量的產(chǎn)品。隨著科技的不斷進(jìn)步，相信顯微測量技術(shù)將會在未來取得更大的突破和應(yīng)用。
展開 儀器儀表液晶驅(qū)動VK1625點(diǎn)陣式液晶驅(qū)動芯片段式屏顯IC
G106+166
? 工作電壓 2.4-5.2V
? 內(nèi)置32 kHz RC振蕩器（上電默認(rèn)）
? 可外接32kHz時鐘源或32.768KHz晶體振蕩器
? 偏置電壓（BIAS）固定為1/4
? COM周期（DUTY）固定為1/8
? 內(nèi)置顯示RAM為64x8位
? 蜂鳴器頻率可配置為2kHz、4kHz
? 省電模式（通過關(guān)顯示和關(guān)振蕩器進(jìn)入）
? 時基和看門狗共用1個時鐘源，可配置8種頻率
? 時基或看門狗溢出信號輸出腳為/IRQ腳 (開漏)
? 3/4線串行接口
? 軟件配置LCD顯示參數(shù)
? 寫命令和讀寫數(shù)據(jù)2種命令格式
? 讀寫顯示數(shù)據(jù)地址自動加1
? VLCD腳提供LCD驅(qū)動電壓（<VDD）
? 封裝
LQFP100(14.0mm×14.0mm PP=0.5mm)
QFP100(20.0mm×14.0mm PP=0.65mm)
DICE
COG
應(yīng)用領(lǐng)域：
? 計(jì)數(shù)器 ? 家用電器 ? 儀器表盤
RAM映射LCD控制器和驅(qū)動器系列：
VK1024B 2.4V～5.2V 6seg4com 63 6*2 偏置電壓1/2 1/3 S0P16 省電模式
VK1056B 2.4V～5.2V 14seg4com 143 14*2 偏置電壓1/2 1/3 SOP24 省電模式
VK1056C 2.4V～5.2V 14seg4com 143 14*2 偏置電壓1/2 1/3 SSOP24 省電模式
VK1072B 2.4V～5.2V 18seg4com 183 18*2 偏置電壓
展開 儀器儀表信息化管理系統(tǒng)如何實(shí)現(xiàn)信息化管理企業(yè)
采購精細(xì)化管控 責(zé)任到人
對儀器儀表企業(yè)來說，海量產(chǎn)品的背后，是海量的供應(yīng)商，而且供應(yīng)商有國內(nèi)品牌，也有國外品牌，有產(chǎn)品采購，也有原材料采購。由于行業(yè)特殊性，無論采購什么，對品質(zhì)的要求都非常高，這就對質(zhì)檢提出較高要求，不僅要高效完成海量產(chǎn)品質(zhì)檢，還要滿足各類產(chǎn)品不同的質(zhì)檢需求。如果沒有現(xiàn)代化管理工具做支撐，采購管理難度和質(zhì)檢效率難以想象。
智邦國際儀器儀表信息化系統(tǒng)中的采購管理，首先可以實(shí)現(xiàn)供應(yīng)商的規(guī)范化管理，包括供應(yīng)商基本信息、資質(zhì)、編號、審批、分類、級別、區(qū)域、行業(yè)等，都能在一個界面詳細(xì)查看，通過對供應(yīng)商的信用、效率、價格、質(zhì)量、利潤、績效等多維統(tǒng)計(jì)分析和綜合評估，可以不斷優(yōu)化供應(yīng)商準(zhǔn)入資格，讓供應(yīng)商的選擇更加科學(xué)合理，有利于企業(yè)有效控制采購成本。
在此基礎(chǔ)上，系統(tǒng)可為不同產(chǎn)品設(shè)置不同的質(zhì)檢方案，產(chǎn)品質(zhì)檢時自動關(guān)聯(lián)對應(yīng)質(zhì)檢方案，自動顯示質(zhì)檢的項(xiàng)目，由系統(tǒng)自動化流轉(zhuǎn)替代手工紙質(zhì)化操作。并可隨時追加質(zhì)檢方案中的質(zhì)檢項(xiàng)目，質(zhì)檢項(xiàng)目采用什么格式完全自定義設(shè)置，還可根據(jù)需要對質(zhì)檢步驟進(jìn)行排序，大大提升質(zhì)檢水平和效率，維護(hù)了良好的企業(yè)信譽(yù)和品牌形象。
此外，系統(tǒng)中的生產(chǎn)管理模塊，還支持生產(chǎn)質(zhì)檢，可以精細(xì)到工序級質(zhì)檢，不僅嚴(yán)格控制了產(chǎn)品質(zhì)量，還減少了因質(zhì)量問題導(dǎo)致的報廢和損失。為了確保儀器儀表產(chǎn)品的質(zhì)量追溯，企業(yè)還可對產(chǎn)品進(jìn)行序列號管理，為每個產(chǎn)品標(biāo)注專屬的“身份證”編碼，一旦出現(xiàn)質(zhì)量問題，可以追溯到產(chǎn)品的生產(chǎn)時間、生產(chǎn)工序、生產(chǎn)人員等，讓產(chǎn)品質(zhì)量責(zé)任到人。
要想真正提高響應(yīng)速度和管理效率，企業(yè)必須實(shí)現(xiàn)資源一體化管理。而這正是智邦國際儀器儀表信息化系統(tǒng)（http://www.zbintel.com）的顯著優(yōu)勢。
展開 從0.1nm到1mm：中圖儀器顯微測量儀在拋光至粗糙表面測量中的技術(shù)突破
顯微測量儀是納米級精度的表面粗糙度測量技術(shù)。它利用光學(xué)、電子或機(jī)械原理對微小尺寸或表面特征進(jìn)行測量，能夠提供納米級甚至更高級別的測量精度，這對于許多科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用至關(guān)重要。
在拋光至粗糙表面測量中，中圖儀器的顯微測量儀器具有從0.1nm到1mm的測量范圍，每種儀器都有其獨(dú)特的功能和應(yīng)用范圍。
三種不同顯微測量技術(shù)在測量表面粗糙度方面的優(yōu)勢詳解
一、光學(xué)3D表面輪廓儀
工作原理：
1.光源與分光：儀器的光源發(fā)出的光束首先通過擴(kuò)束準(zhǔn)直，然后通過分光棱鏡分成兩束光。一束光直接投射到被測表面，另一束光則投射到參考鏡上。
2.反射與干涉：從被測表面反射回來的光束與從參考鏡反射回來的光束在分光棱鏡處匯聚，由于兩束光在不同的路徑上行進(jìn)，它們之間存在光程差。當(dāng)兩束光的光程差為半波長的整數(shù)倍時，它們會發(fā)生干涉，形成明暗相間的干涉條紋。
3.成像與分析：光學(xué)3D表面輪廓儀將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號。通過測量這些干涉條紋的變化，可以推算出被測表面的三維形貌。系統(tǒng)軟件對這些數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和分析，從而得到表面的粗糙度、臺階高度、幾何輪廓等參數(shù)。
測量能力：
1.粗糙度測量范圍：SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀能夠測量從超光滑表面（0.1nm粗糙度）到相對粗糙表面（1mm粗糙度）的三維形貌。
2.垂直分辨率：SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀可以達(dá)到0.1nm的垂直分辨率，這對于測量光滑表面的微小高度變化至關(guān)重要。
3.水平分辨率：水平分辨率取決于儀器的掃描范圍和傳感器的像素大小，它決定了可以測量的最小特征尺寸。
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