干涉測量的案例
白光干涉儀測量原理及干涉測量技術(shù)的應(yīng)用
白光干涉儀測量原理
基本原理：白光干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡分成兩束，一束光經(jīng)被測表面反射回來，另一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射
光最終匯聚并發(fā)生干涉。兩束相干光間光程差的任何變化會靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起。通過測量干涉條紋的變化，就可以測量出被測表面的相關(guān)物理量。
白光的特點及優(yōu)勢：白光屬于多色光，具有連續(xù)的光譜。與單色光干涉不同，白光干涉在一定光程差范圍內(nèi)會出現(xiàn)彩色的干涉條紋，并且只有在零光程差附近的極小范圍內(nèi)才會出現(xiàn)清晰的、對比度高的干涉條紋。這一特性使得白光干涉儀在測量時能夠通過精確尋找零光程差位置來實現(xiàn)高精度的測量，對于微觀形貌的測量具有獨特的優(yōu)勢。
干涉測量技術(shù)的應(yīng)用
1、在工業(yè)生產(chǎn)中的應(yīng)用：
（1）半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體芯片制造過程中，白光干涉儀可用于測量芯片表面的形貌、薄膜厚度、臺階高度等參數(shù)，對芯片的制造工藝進行監(jiān)控和質(zhì)量檢測。例如，在光刻工藝后，可檢測光刻膠的厚度和表面平整度；在刻蝕工藝后，可測量刻蝕深度和表面粗糙度，確保芯片的性能和可靠性。而具備雙重防撞保護功能的白光干涉儀，在操作過程中更加安全可靠。Z 軸上裝有防撞機械電子傳感器以及軟件 ZSTOP 防撞保護功能，為精密的測量過程提供了雙重保障，讓用戶在進行半導(dǎo)體制造的高精度測量時多一重安心。
（2）光學(xué)加工：用于光學(xué)鏡片、透鏡、棱鏡等光學(xué)元件的表面形貌測量和質(zhì)量檢測。可以測量光學(xué)元件的表面粗糙度、曲率半徑、面形精度等參數(shù)，幫助優(yōu)化光學(xué)加工工藝，提高光學(xué)元件的質(zhì)量。例如，在高精度光學(xué)鏡頭的制造中，白光干涉儀可以檢測鏡頭表面的微觀形貌，確保鏡頭的成像質(zhì)量。
展開 激光干涉測量技術(shù)在多領(lǐng)域的應(yīng)用
SJ6000激光干涉儀鑒定測長機
（2）三坐標(biāo)測量機示值誤差測量：隨著三坐標(biāo)測量機技術(shù)的更新和發(fā)展，使用傳統(tǒng)的量塊、球板等已經(jīng)難以滿足大型三坐標(biāo)測量機的檢測要求，激光干涉儀測量準(zhǔn)確度高，測量范圍大，測量數(shù)據(jù)豐富，適合測量三坐標(biāo)各項幾何誤差。
（3）位移傳感器檢定：利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢，其特點是測量精度高、反應(yīng)速度快、易于數(shù)字化測量。
SJ6000激光干涉儀測量傳感器線性精度
3. 航空航天領(lǐng)域
（1）飛機零部件裝配和檢測：在飛機的生產(chǎn)過程中，對飛機零部件的裝配精度要求高。激光干涉測量技術(shù)可用于測量飛機機翼、機身等部件的尺寸、形狀和位置精度，確保飛機的安全性能和飛行性能。例如，對飛機發(fā)動機葉片的安裝角度和位置進行精確測量，保證發(fā)動機的正常運行。
（2）衛(wèi)星姿態(tài)控制和軌道測量：衛(wèi)星在太空中的姿態(tài)控制和軌道測量需要高精度的測量技術(shù)。激光干涉測量技術(shù)可以用于測量衛(wèi)星的微小位移和振動，為衛(wèi)星的姿態(tài)控制提供數(shù)據(jù)支持；同時，也可以用于衛(wèi)星軌道的精確測量，確保衛(wèi)星的運行軌道符合設(shè)計要求。
展開 [NEWSLETTER] 干涉測量中的衍射效應(yīng)
光學(xué)干涉測量--基于從光與自身的相互作用中提取信息的實驗測量技術(shù)，主要通過相干重疊場之間的相對相位差所產(chǎn)生的強度調(diào)制--應(yīng)用于從顯微鏡到天文學(xué)等許多不同領(lǐng)域。雖然其中許多應(yīng)用可以在忽略衍射效應(yīng)的情況下進行足夠精確的建模，但在某些情況下，例如當(dāng)系統(tǒng)中存在尖銳邊緣或狹窄孔徑時，需要選擇能夠考慮衍射演變的模型。
VirtualLab Fusion 在單一平臺上提供了靈活的可交互建模技術(shù)，可幫助您在仿真中實現(xiàn)適當(dāng)?shù)木扰c速度平衡：僅在必要時才考慮衍射效應(yīng)。作為演示示例，下面是對干涉測量系統(tǒng)中矩形物體樣品的分析。該示例包括是否考慮衍射影響的結(jié)果對比。在干涉測量方面，我們還展示了光學(xué)相干斷層掃描（OCT）的工作原理，OCT是最重要的醫(yī)學(xué)成像形式之一。
由尖銳邊緣引起的干涉儀衍射研究
T本用例展示了干涉測量應(yīng)用中的衍射效應(yīng)。為此，我們研究了一個具有矩形高度結(jié)構(gòu)的樣品在邁克爾遜干涉儀中引起的衍射。
光學(xué)相干斷層掃描的工作原理
使用低相干性氙燈光源，建立一個邁克爾遜干涉儀來演示光學(xué)相干斷層掃描（OCT）的工作原理。
展開 [NEWSLETTER] 干涉測量中的衍射效應(yīng)
光學(xué)干涉測量--基于從光與自身的相互作用中提取信息的實驗測量技術(shù)，主要通過相干重疊場之間的相對相位差所產(chǎn)生的強度調(diào)制--應(yīng)用于從顯微鏡到天文學(xué)等許多不同領(lǐng)域。雖然其中許多應(yīng)用可以在忽略衍射效應(yīng)的情況下進行足夠精確的建模，但在某些情況下，例如當(dāng)系統(tǒng)中存在尖銳邊緣或狹窄孔徑時，需要選擇能夠考慮衍射演變的模型。
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由尖銳邊緣引起的干涉儀衍射研究
T本用例展示了干涉測量應(yīng)用中的衍射效應(yīng)。為此，我們研究了一個具有矩形高度結(jié)構(gòu)的樣品在邁克爾遜干涉儀中引起的衍射。
光學(xué)相干斷層掃描的工作原理
使用低相干性氙燈光源，建立一個邁克爾遜干涉儀來演示光學(xué)相干斷層掃描（OCT）的工作原理。
展開 
激光干涉測量技術(shù)在機床領(lǐng)域的應(yīng)用
激光干涉測量技術(shù)助力機床產(chǎn)業(yè)邁向新高度。
激光干涉測量技術(shù)簡介
激光干涉測量技術(shù)是一種高精度的非接觸式測量技術(shù)，利用激光干涉原理進行測量。它利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。激光干涉儀sj6000可以進行多種類型的測量，包括但不限于：
線性測量：激光干涉儀可以精確測量目標(biāo)物體的長度、寬度、高度等線性尺寸參數(shù)，實現(xiàn)高精度的尺寸測量和幾何形狀分析。
垂直度測量：激光干涉儀可以用于測量目標(biāo)物體的垂直度、平行度等參數(shù)，幫助保證工件的幾何形狀和裝配精度。
位移測量：激光干涉儀可以檢測目標(biāo)物體的微小位移或振動，用于振動分析等應(yīng)用。
應(yīng)用于機床領(lǐng)域
在機床領(lǐng)域，激光干涉儀sj6000可以應(yīng)用于多個場景，利用其高精度測量功能和動態(tài)性能分析功能，提高機床設(shè)備的加工精度、穩(wěn)定性和效率，涵蓋了機床調(diào)試、動態(tài)性能評估、結(jié)構(gòu)優(yōu)化和加工工藝監(jiān)測等多個方面：
1、機床加工精度調(diào)試：
線性測長和角度測量：激光干涉儀可用于測量機床各軸線性運動的位移和角度，以調(diào)試和校準(zhǔn)機床的加工精度。
直線度和垂直度測量：用于檢測機床導(dǎo)軌、絲桿等部件的直線度和垂直度，確保機床運動平穩(wěn)和加工質(zhì)量。
動態(tài)位移、速度和加速度測量：激光干涉儀可實時監(jiān)測機床各軸的動態(tài)位移、速度和加速度，評估機床的動態(tài)性能和響應(yīng)特性。
振動分析：通過分析機床在工作過程中的振動特性，識別和解決機床運行中的振動問題，提高加工質(zhì)量和效率。
3、機床結(jié)構(gòu)調(diào)試與優(yōu)化：
平行度和平面度測量：用于調(diào)試機床各部件之間的平行度和平面度，確保機床結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性和剛性。
展開 激光干涉儀測量機床精度全面解析
而激光干涉儀是一種能夠測量機床精度的高精度測量裝置。它利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點，在機床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
了解機床精度的重要性
機床精度直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量和性能，它是制造業(yè)中至關(guān)重要的一個指標(biāo)。在現(xiàn)代制造業(yè)中，隨著對產(chǎn)品精度要求的不斷提高，機床精度的重要性也日益凸顯。而激光干涉儀作為一種高精度測量工具，被廣泛應(yīng)用于機床精度的測量中。
工作原理
激光干涉儀利用激光光束的干涉原理來測量物體的形狀和表面的高度差異。其原理是基于兩束相干光在空間交叉的地方發(fā)生干涉，形成干涉條紋，通過測量干涉條紋的變化來推斷被測量物體的參數(shù)。
測量原理
激光干涉儀的測量原理主要包括相位測量和位移測量。相位測量是通過測量干涉條紋的相位差來計算被測量物體的形狀、位置等參數(shù)；位移測量是通過測量干涉條紋的位移來確定物體的位移量。這兩種測量原理在不同應(yīng)用場景下有著各自的優(yōu)勢和適用性。
產(chǎn)品優(yōu)勢
1、激光干涉儀具有非常高的測量精度和重復(fù)性。
2、激光干涉儀可以實現(xiàn)非接觸式測量，不會對被測量物體造成損傷。
3、激光干涉儀具有實時性測量能力，能夠同時測量多個位置或參數(shù)，提高測量效率。
產(chǎn)品應(yīng)用
1.測量機床導(dǎo)軌的直線度和平行度。
導(dǎo)軌是機床中的重要零部件，直線度和平行度的誤差會直接影響機床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測量導(dǎo)軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差，從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。
2.測量機床工作臺的平面度和垂直度。
機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。
展開 銷-槽間隙干涉測量
銷-槽干涉完整測量項
Note：
Meas J測量統(tǒng)計銷/槽邊界干涉率，如果銷位于槽的斜邊角干涉時（如圖12），該測量失效，該測量只能單純統(tǒng)計延主方向和次方向的超差率。
白光干涉儀測量材料表面三維形貌
白光干涉儀在測量材料表面三維形貌方面的應(yīng)用非常廣泛，它通過非接觸式測量方法，能夠提供高精度的表面形貌數(shù)據(jù)。以下是白光干涉儀在測量三維形貌時的一些關(guān)鍵應(yīng)用和特點：
1. 高精度測量：白光干涉儀能夠提供亞納米級的測量精度，非常適合于納米或亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域的檢測需求。它在同等放大倍率下的測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡 。
2. 非接觸式測量：作為一種非接觸式測量技術(shù)，白光干涉儀不會對樣品表面造成損傷，這對于易損或敏感材料的測量尤為重要。
3. 快速測量：白光干涉儀的測量速度快，可以快速獲取表面形貌數(shù)據(jù)，適合于快速檢測和質(zhì)量控制。
4. 廣泛的測量范圍：白光干涉儀能夠測量從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，適用于不同材料和不同表面特性的測量。
5. 三維形貌重建：通過干涉條紋的變化，白光干涉儀能夠重建物體表面的三維形貌，提供詳細的表面特征信息。
6. 軟件分析：白光干涉儀通常配備有專門的軟件，用于操作控制、結(jié)果顯示和后處理，能夠以三維立體、二維平面以及斷面分布曲線方式顯示實時測量結(jié)果，并可對測量結(jié)果作進一步的修正處理 。
7. 應(yīng)用領(lǐng)域：白光干涉儀在半導(dǎo)體制造、3C電子、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)中有廣泛應(yīng)用 。
8. 圖像拼接技術(shù)：為了擴大測量視野范圍，白光干涉儀可以采用圖像拼接技術(shù)，通過軟件處理將多個測量區(qū)域的數(shù)據(jù)拼接成一個完整的三維形貌圖 。
9. 表面參數(shù)表征：白光干涉儀能夠測量并分析表面粗糙度、臺階高度、幾何輪廓等參數(shù)，為材料表面質(zhì)量提供全面的評估。
10. 硬件構(gòu)成：白光干涉儀的系統(tǒng)構(gòu)成通常包括光學(xué)照明系統(tǒng)、光學(xué)成像系統(tǒng)、垂直掃描控制系統(tǒng)和信號處理系統(tǒng) 。
展開 SJ6000激光干涉儀應(yīng)用拓展：透鏡曲率半徑測量
曲率半徑是透鏡設(shè)計與制造的一個重要參數(shù)，在生產(chǎn)制造過程中常使用菲索型激光干涉儀通過測試干涉條紋，判定“貓眼”和共焦位置，并通過光柵尺或激光干涉（測距）儀，對位移變化記錄即可獲得透鏡的曲率半徑。
菲索型激光干涉儀測量透鏡曲率半徑的原理：
曲率半徑等于，“貓眼”至共焦位置（或者共焦至“貓眼”位置）的位移，加上干涉儀在兩個位置，根據(jù)干涉條紋測得精確位置補償，即R(曲率半徑)=Z(位移讀數(shù))+Z(貓眼位置補償)+Z(共焦位置補償)。
注：當(dāng)球面標(biāo)準(zhǔn)鏡產(chǎn)生的激光波前，正好匯聚于球面上時，會產(chǎn)生特殊類似“貓眼”的條紋，所以稱這一位置為“貓眼”位置。
在實際測量過程中，傳統(tǒng)方法使用光柵尺來記錄位移變化，光柵尺的位移分辨率為0.1um，曲率半徑測量精度不高。
如今越來越多透鏡生產(chǎn)企業(yè)使用SJ6000激光干涉儀來測量位移。SJ6000激光干涉儀以氦氖激光器為光源發(fā)射出穩(wěn)定頻率的波長為長度基準(zhǔn)，激光穩(wěn)頻精度0.05ppm；以邁克爾遜干涉原理測量位移距離，測量分辨率1nm，遠遠高于光柵尺分辨率。
菲索型激光干涉儀測量曲率半徑過程中，SJ6000激光干涉儀反射鏡安裝在穩(wěn)定夾具上，高度與光源圓心等高，精準(zhǔn)記錄位移數(shù)據(jù)同時降低阿貝誤差，測得的曲率半徑值準(zhǔn)確度和一致性大幅提升。
隨著產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，對透鏡質(zhì)量要求越來越高，SJ6000激光干涉儀助力透鏡企業(yè)高質(zhì)量發(fā)展，在激烈競爭的市場中搶占先機，拔得頭籌！
展開 白光干涉儀(光學(xué)輪廓儀)：揭秘測量坑的形貌的利器！
白光干涉儀廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究和工程實踐各個領(lǐng)域中。它作為一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器，在測量坑的形貌方面扮演著舉足輕重的角色。
白光干涉儀怎么測量坑的形貌？它是利用干涉現(xiàn)象，使用白光源照射物體，并將反射光經(jīng)過干涉儀的分光裝置后形成干涉圖樣。通過觀察干涉圖樣的變化，就可以獲得物體表面形貌的細節(jié)信息。
如何使用白光干涉儀來測量坑的形貌？在使用白光干涉儀測量坑的形貌時，將白光干涉儀的出光口對準(zhǔn)坑樣的表面，調(diào)整儀器的焦距和位置，直到能夠得到清晰的干涉圖樣。然后，記錄下干涉圖樣的形狀和變化，最后進行數(shù)據(jù)處理和分析，就可以得出坑的形貌信息。在使用白光干涉儀進行測量的過程中，我們需要注意一些細節(jié)：
1、保持儀器穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。
在使用過程中，盡量避免外界干擾和震動，以確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
2、選擇適當(dāng)?shù)?em>測量參數(shù)和條件。
根據(jù)不同的實際情況，可以調(diào)整白光干涉儀的參數(shù)，如照射角度、光源強度等，以獲得更精確的測量結(jié)果。
SuperViewW1白光干涉儀結(jié)合數(shù)字圖像處理技術(shù)和三維重建算法來提高測量的精度和效率，揭秘并測量坑的形貌，為科學(xué)研究和工程實踐提供更有力的支持。
1、可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法，并可依據(jù)表面粗糙程度，選擇不同步距進行速度調(diào)節(jié)。
2、復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。
白光干涉儀在半導(dǎo)體封裝中對彈坑的測量
同時，白光干涉儀還可以結(jié)合其他測量手段，如激光共聚焦顯微鏡等，以獲得更全面的形貌信息。
展開 曲面測量工具|白光干涉儀五軸全自動測量發(fā)動機葉片
所以對于葉片的型面和幾何尺寸檢測也是非常重要的，但是就葉片的形狀來說常規(guī)測量方法很難進行測量。
白光干涉儀作為一款超高精度的光學(xué)3D輪廓儀，一直在超精密加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，在大部分的應(yīng)用場景中，都是采用標(biāo)準(zhǔn)的白光干涉儀機型測量平面類型零件的表面粗糙度，而在一些特殊行業(yè)及領(lǐng)域，針對一些有著曲面特征的零部件，如何解決其形狀不規(guī)則裝夾不便、測量點分布不在同一個面、單次測量效率低的問題，成為了一個難題。
針對葉片類曲面零部件，白光干涉儀能夠在空間范圍內(nèi)實現(xiàn)曲面全自動測量功能，能夠解決上述多個測量難題。
白光干涉儀特點：
1）可在測量軟件中直接加載生成零部件的3D模型；
2）根據(jù)3D模型可在零部件不同曲面上選擇多個測量點位并生成模板；
3）軟件能夠快速完成上述多個點位的自動測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)；
中圖儀器白光干涉儀測量發(fā)動機葉片大空間自由曲面
展開 
白光干涉儀：表面粗糙度形貌臺階高測量解決方案
白光干涉儀主要用于測量微觀表面的形貌、粗糙度、臺階高度等參數(shù)。
1. 表面形貌測量
原理：白光干涉儀利用白光的干涉特性。當(dāng)兩束相干光（一束參考光和一束從被測表面反射回來的光）疊加時，會形成干涉條紋。通過分析這些干涉條紋的形狀和位置，可以獲取被測表面的高度信息。因為不同位置的表面高度不同，反射光的光程差也不同，從而導(dǎo)致干涉條紋的變化。
應(yīng)用場景：在精密機械加工領(lǐng)域，例如汽車發(fā)動機的零部件表面，如活塞、曲軸等。這些部件的表面質(zhì)量對發(fā)動機的性能和壽命有重要影響。白光干涉儀可以精確測量其表面形貌，確保加工精度達到設(shè)計要求。在光學(xué)元件制造中，比如高精度的透鏡、反射鏡等，需要對其表面進行精確的形貌測量，以保證光學(xué)性能。
2. 表面粗糙度測量
原理：表面粗糙度是指加工表面具有的較小間距和微小峰谷的不平度。白光干涉儀通過測量微觀表面的高度變化來量化粗糙度。它可以在小范圍內(nèi)獲取大量的高度數(shù)據(jù)點，然后根據(jù)這些數(shù)據(jù)計算出粗糙度參數(shù)，如Ra（算術(shù)平均粗糙度）、Rz（微觀不平度十點高度）等。
應(yīng)用場景：在模具制造行業(yè)，模具表面的粗糙度直接影響塑料制品的表面質(zhì)量。使用白光干涉儀可以對模具表面進行粗糙度測量，確保模具達到所需的表面光潔度。在電子芯片制造中，芯片的封裝表面粗糙度也很重要，合適的粗糙度有助于芯片散熱和電氣性能的穩(wěn)定，白光干涉儀可以為其提供精確的粗糙度測量。
3. 臺階高度測量
原理：當(dāng)被測表面存在臺階結(jié)構(gòu)時，白光干涉儀可以通過測量臺階兩側(cè)的高度差來確定臺階高度。干涉條紋在臺階處會出現(xiàn)明顯的變化，通過對條紋的分析和計算可以得到臺階的精確高度。
應(yīng)用場景：在半導(dǎo)體制造過程中，芯片上的不同功能區(qū)域之間可能存在臺階結(jié)構(gòu)，例如金屬布線層與有源區(qū)之間的臺階。
展開 [VirtualLab] 白光干涉相干性測量 - 在VirtualLab Fusion中利用分布式計算分析
摘要
本用例以眾所周知的邁克爾遜干涉儀為例，展示了分布式計算的能力。多色光源與干涉測量裝置的一個位置掃描的反射鏡相結(jié)合，以執(zhí)行詳細的相干測量。使用具有六個本地多核PC組成的網(wǎng)絡(luò)分布式計算，所得到的2,904個基本模擬的模擬時間可以從一個多小時顯著減少到不到3分鐘。
模擬任務(wù)
基本模擬任務(wù)
基本任務(wù)集合#1：波長
基本任務(wù)集合#2：反射鏡位置
使用分布式計算進行模擬
在本例中，在基本模擬任務(wù)中有兩個獨立的參數(shù)變化：
? 光譜中的24個波長采樣
? 121個不同反射鏡位置
? 總共2904個基本模擬任務(wù)
由于單個基本模擬(單個波長和反射鏡位置)只需要大約0.9秒，因此將一些基本模擬組合起來并在DC客戶端上模擬集合會更有效。因此，所有波長組合在一個單一的模擬(在光源中配置光譜)，帶有DC的Parameter Run用來建模不同的反射鏡位置。與在一次Parameter Run中建模所有2904個任務(wù)相比，此策略減少了不必要的開銷。
組合所有波長的基本任務(wù)
使用分布式計算
Parameter Run用于改變反射鏡位置，從而允許將各種迭代分發(fā)到網(wǎng)絡(luò)中的計算機。為了啟用分布式計算，只需導(dǎo)航到相應(yīng)的選項卡并配置可用計算機和客戶端的數(shù)量，然后像往常一樣啟動模擬，將數(shù)據(jù)傳輸?shù)娇蛻舳撕褪占Y(jié)果都是自動完成的(與本地執(zhí)行參數(shù)掃描的方式相同)。
基于分布式計算的模擬
模擬時間比較
展開 如何將ZYGO干涉儀的測量數(shù)據(jù)輸入Zemax OpticStudio
如何將ZYGO干涉儀的測量數(shù)據(jù)輸入Zemax OpticStudio
如何將ZYGO干涉儀的測量數(shù)據(jù)輸入Zemax OpticStudio
引言
本文示范了如何將ZYGO干涉儀的測量數(shù)據(jù)輸入Zemax OpticStudio。 閱讀本篇文章之前，請先參閱 《如何以數(shù)據(jù)的方式定義網(wǎng)格矢高表面》 以及 《如何以數(shù)據(jù)的方式定義網(wǎng)格相位表面》。 本文中使用到的文件請從以下鏈接中下載：
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正文
首先，ZYGO的測量數(shù)據(jù)是可以用Zemax OpticStudio的文件格式輸出的。輸出文件的后綴名為.zxgrd，我們可將其轉(zhuǎn)換為.DAT并將轉(zhuǎn)換后的文件，放置到 \Document\Zemax/Objects\Grid Files\ 路徑下。
下面是數(shù)據(jù)文件開頭部分的截圖，可以看到數(shù)據(jù)文件變成適用于網(wǎng)格矢高 (Grid Sag) 表面的輸入格式了。
X, Y 數(shù)據(jù)點的總數(shù)為723個，因為數(shù)據(jù)間距為0.01344，可得知這份數(shù)據(jù)的直徑為9.72 mm。第一行最后的標(biāo)志 (flag) 被設(shè)定為0，這代表單位是 mm。
不過，如果數(shù)據(jù)測量的是穿透波前的話，這個數(shù)據(jù)就必須以相位數(shù)據(jù)的形式來輸入。
展開 白光干涉相干性測量 - 在VirtualLab Fusion中利用分布式計算分析
摘要
本用例以眾所周知的邁克爾遜干涉儀為例，展示了分布式計算的能力。多色光源與干涉測量裝置的一個位置掃描的反射鏡相結(jié)合，以執(zhí)行詳細的相干測量。使用具有六個本地多核PC組成的網(wǎng)絡(luò)分布式計算，所得到的2,904個基本模擬的模擬時間可以從一個多小時顯著減少到不到3分鐘。
模擬任務(wù)
基本模擬任務(wù)
基本任務(wù)集合#1：波長
基本任務(wù)集合#2：反射鏡位置
使用分布式計算進行模擬
在本例中，在基本模擬任務(wù)中有兩個獨立的參數(shù)變化：
?光譜中的24個波長采樣
?121個不同反射鏡位置
? 總共2904個基本模擬任務(wù)
由于單個基本模擬(單個波長和反射鏡位置)只需要大約0.9秒，因此將一些基本模擬組合起來并在DC客戶端上模擬集合會更有效。因此，所有波長組合在一個單一的模擬(在光源中配置光譜)，帶有DC的Parameter Run用來建模不同的反射鏡位置。與在一次Parameter Run中建模所有2904個任務(wù)相比，此策略減少了不必要的開銷。
組合所有波長的基本任務(wù)
使用分布式計算
Parameter Run用于改變反射鏡位置，從而允許將各種迭代分發(fā)到網(wǎng)絡(luò)中的計算機。為了啟用分布式計算，只需導(dǎo)航到相應(yīng)的選項卡并配置可用計算機和客戶端的數(shù)量，然后像往常一樣啟動模擬，將數(shù)據(jù)傳輸?shù)娇蛻舳撕褪占Y(jié)果都是自動完成的(與本地執(zhí)行參數(shù)掃描的方式相同)。
基于分布式計算的模擬
模擬時間比較
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