激光水準儀的案例
激光水準儀：精準測量的新選擇
激光水準儀作為一種新型測量工具，以其高精度、高效率的特點，逐漸成為了這些領域的測量利器。
激光水準儀利用激光束的直線傳播特性，實現了對水平面的精確測量。相較于傳統的水準儀、光學水準儀https://www.misumi.com.cn/vona2/detail/223300072964/，激光水準儀具有更高的測量精度和更廣的測量范圍。同時，其快速、準確的測量方式，也大大提高了工作效率。
在建筑施工中，激光水準儀能夠快速、準確地確定水平基準線，為后續的施工工作提供可靠的依據。在設備安裝領域，激光水準儀則能夠確保設備的水平安裝，避免因安裝誤差導致的設備故障或性能下降。
此外，激光水準儀還具有操作簡便、攜帶方便等優點。操作人員只需簡單設置，即可開始測量工作。同時，其體積小巧、重量輕的特點，也使得其能夠輕松應對各種復雜的測量環境。
綜上所述，激光水準儀以其高精度、高效率、易操作的特性，成為了現代測量工作中的新選擇。隨著科技的不斷進步，相信激光水準儀將在更多領域發揮更大的作用，為現代工業的發展提供有力的支持。
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展開 【米思米機械設備知識分享】- 激光水準儀的作用原理是什么
激光水平儀是集光學、機械、電子、計算機為一體的綜合儀器。將激光裝置發射的激光束導入水準儀的望遠鏡筒內，使其沿視準軸方向射出的水準儀。激光水準儀有專門激光水準儀和將激光裝置附加在水準儀之上兩種型式，與配有光電接收靶的水準尺配合，即可進行水準測量。與光學水準儀相比，激光水準儀具有精度高、視線長和能進行自動讀數和記錄等特點。
激光水準儀的原理
利用激光束代替人工讀數的一種水準儀。將激光器發出的激光束導入望遠鏡筒內，使其沿視準軸方向射出水平激光束。 利用激光的單色性和相干性，經過望遠鏡調焦，在波帶板的調焦范圍內，獲得明亮而精細的十字型或圓形的激光光斑，從而更精確地照準目標。如在前、后水準標尺上配備能自動跟蹤的光電接收靶，即可進行水準測量。
激光水準儀操作方法
激光水準儀是利用激光束代替人工讀數的一種水準儀。將激光器發出的激光束導入望遠鏡筒內，使其沿視準軸方向射出水平激光束。利用激光的單色性和相干性，可在望遠鏡物鏡前裝配一塊具有一定遮光圖案的玻璃片或金屬片，即波帶板，使之所生衍射干涉。
經過望遠鏡調焦，在波帶板的調焦范圍內，獲得明亮而精細的十字型或圓形的激光光斑，從而更精確地照準目標。如在前、后水準標尺上配備能自動跟蹤的光電接收靶，即可進行水準測量。在施工測量和大型構件裝配中，常用米思米生產的激光水準儀建立水平面或水平線。
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展開 水準儀i角的檢驗與調校
1.數年的經驗告訴我們，水準儀僅僅是i角的正常變化不屬于保修范圍，懇請不要郵寄千里之外廠家儀器維修中心調節，請用戶或我們當地服務中心工作人員協助測定與調整。
2.水準儀產生i角變化的原因是儀器本身的結構與外業工作條件的變化而致，儀器中的十字絲是固定在上下的V形槽中，下面的V形槽由彈簧支撐著，上面是一個壓緊調節螺絲。由于因內部與外界環境條件的變化，如溫度、濕度、震動的變化它會產生i角微小的變化，或者，由于其它內應力的變化而產生不同程度的變化也是不足為奇的。
3.在用戶說明書中已明確，水準儀的i角可由用戶自行調整。請參照水準儀說明書自行調整。
4.什么是水準儀的i角？水準儀的視準軸在垂直方向與水準軸的夾角。
5.現在，再扼要地介紹水準儀i角的測定辦法，如圖所示：
將水準儀置平在二支水準標尺的中間，儀器距標尺約30米或40米，前后大約等距離，讀取標尺上的讀數得到二點的高差值。搬遷儀器至二支標尺的一內側或外側均可，此時，儀器至標尺的距離分別為近距離的標尺只是幾米，而遠距離的標尺已是幾十米。同樣，測量這二點的高差值，如果二次測得的高差相等，說明儀器i角為零。高差不等就說明儀器存在著i角的誤差。
展開 精準定位，激光領航——激光跟蹤儀助力服務機器人性能提升
在國家標準GB/T38124《服務機器人性能測試方法》中，對服務機器人的定位導航性能檢測項目定義時，明確提出“測試設備可以是視覺跟蹤系統、激光追蹤儀等。”
激光跟蹤儀作為大范圍（最大測量半徑80米）、高精度空間測量儀器（15um+6um/m）的代表，性能完全滿足該項測試中對測試設備的要求，且激光跟蹤儀具有高效的采樣效率（1000點/秒），還可對標準中的“5.1.1 額定速度”、“5.1.4 坡上最大速度”、“5.2.2 導航能力”等多項檢測項目進行檢測，是服務機器人性能測試中十分重要的檢測設備。
GTS激光跟蹤儀測試服務機器人目標定位性能具體應用流程如下:
設定機器人裝載額定負載和額定速度，以單一方向控制機器人在試驗區域里，從起始點A開始，按照設定的速度及軌跡運行，當機器人停車定位在終止點B時，則完成一個運動測試循環。利用激光跟蹤儀測量并記錄機器人在終止點B時停止位置的參數，重復測量機器人30次在終止點B時停止位置的參數。
通過激光跟蹤儀的精確測量，可以全面評估機器人定位算法的性能，發現潛在問題，并為性能優化提供可靠依據，最終提升機器人的服務水平，推動服務機器人產業的健康發展。
在機器人性能檢測領域，中圖儀器激光跟蹤儀覆蓋工業機器人、醫療機器人以及服務機器人，為機器人產業發展提供完整、高效、精準的測試方案，推動機器人產業高質量發展。
展開 
激光跟蹤儀|國產6D跟蹤儀測量大尺寸空間姿態
理解激光跟蹤儀的工作原理與應用
激光跟蹤儀基于激光干涉和測距原理，通過發射和接收激光束來實現對目標物體的跟蹤和測量。它是將激光照射到接觸測量目標物的目標（使用反射器等）上，然后經目標反射的激光返回發光源，從而確定目標的三坐標位置的光學測量儀。與普通CMM相比，激光跟蹤儀的特點是能夠測量大型測量目標物。
隨著工業制造的發展和智能化的要求，對精度和效率的需求越來越高。激光跟蹤儀具有的高精度、高速度、非接觸式測量等優勢，可以滿足工業制造中對精確測量和定位的需求。它在工業制造領域中具有廣泛的應用場景：
在汽車制造領域，激光跟蹤儀可以用于車身焊接、零件裝配等工藝，實現自動化和智能化生產；可以輔助機器人實現高精度的定位和裝配，提高生產效率和產品質量。通過激光跟蹤儀的高精度測量，可以確保車身在生產過程中的準確定位和裝配，提升效率與改善安全性。
在航空航天制造領域，激光跟蹤儀用于飛機零部件的測量和質量檢測，快速而準確地測量零部件的尺寸和形狀，確保零部件符合設計要求，是飛行姿態控制等方面的創新解決方案。
了解激光跟蹤儀的技術創新與發展趨勢
在工業制造領域，激光跟蹤儀的技術創新和發展趨勢是以精度和穩定性的提升、應用領域的擴大、可靠性和穩定性的改進以及自動化應用的推進為主要特點。
如GTS系列激光跟蹤儀激光絕對測距（ADM）和激光干涉測距（IFM）融合技術（HiADM），將激光干涉測長的高動態速度與激光絕對測距功能相結合，保證測量精度，并實現擋光恢復。
展開 激光跟蹤儀SpatialMaster測量軟件
SpatialMaster（以下簡稱SMT）是專為大尺寸測量設備如激光跟蹤儀配套使用的，通用的三維測量分析軟件。
SMT軟件是一款與儀器無關的，支持多個任意類型的儀器同時測量，測量數據可溯源的，具有強大的數據處理分析功能，支持生產制造過程中的幾何尺寸公差(GD&T)評定，此外SMT具有用戶交互性，方便靈活的分析報告功能。
SMT的高精度三維空間測量數據分析算法為用戶的生產制造提供幾何尺寸公差評定。2022年9月，SMT算法通過了德國聯邦物理技術研究院（PTB）高斯-最小二乘法與切比雪夫-最小區域法的算法認證。
中圖儀器SpatialMaster是國內通過PTB雙認證的大尺寸三維空間測量軟件。
開放測量接口：以提供更好的服務
SMT軟件開放測量接口和軟件服務，任何第三方都可以通過SMT提供的測量通信接口來接入SMT軟件，進行測量后的分析處理。
SMT作為大尺寸測量分析軟件，與中圖儀器自主研發的激光跟蹤儀配套使用，堪稱黃金搭檔。
可溯源性：忠實記錄測量信息
SMT尊重測量數據來源，忠實的記錄所有儀器的所有測量點的測量信息，包括不限于測量設備，型號，測量時間，溫度，濕度，氣壓，不確定度，偏移補償量信息等。對存疑的測量分析均可溯源。
幾何形狀：豐富的構造方法與精確的擬合算法
SMT提供生產制造過程中所遇到的所有幾何要素的構造方法與擬合算法，如直線，平面，圓，橢圓，槽，圓柱，圓錐，球體，拋物面，圓環等。
這些特征的構造方法也極其豐富，手動參數輸入，根據對象關系，相交，投影等方法。此外還提供精確的擬合算法。擬合算法均通過了PTB認證，擬合精度得到嚴格保證。
展開 工業機器人精度測量方案-激光跟蹤儀
GTS激光跟蹤儀+RobotMaster軟件為工業機器人空間絕對位置精度測量標定和性能檢測提供高效可行的解決方案。
標定時，通過機器人的連桿理論長度、各關節旋轉方向、機器人零點狀態、各關節理論減速比這四項參數建立機器人理論運動學模型，讓機器人運行30-50個關節角坐標點位，激光跟蹤儀記錄機器人法蘭盤末端坐標。RobotMaster軟件通過不斷迭代計算，修正機器人運動學模型直至達到最優狀態，將最優運動學模型修正至機器人系統，機器人空間絕對位置精度即可得到一定的提升，標定后空間絕對位置精度相對標定前可提升3~15倍左右。
RobotMaster軟件還可以按照《ISO 9283工業機器人性能規范及其實驗方法》對機器人在位置、姿態、軌跡等方面進行性能檢測，檢測內容包括14大項：
1.機器人位姿準確度和位姿重復性
2.多方向位姿準確度變動
3.距離準確度和距離重復性
4.位置穩定時間
5.位置超調量
6.位姿特性偏移
7.互換性
8.軌跡準確度和軌跡重復性
9.重復定向軌跡準確度
10.拐角偏差
11.軌跡速度特性
12.最小定位時間
13.靜態柔順性
14.擺動偏差
助力先進制造，提升機器人運動精度，中圖儀器GTS激光跟蹤儀+RobotMaster套件為您提供新的選項！
展開 激光跟蹤儀基本工作原理及應用
激光跟蹤儀是一種高精度的測量儀器，在多個領域都有著廣泛的應用。以下將對激光跟蹤儀的工作原理、結構特點、應用領域以及誤差修正方法等方面進行詳細介紹。
一、工作原理
激光跟蹤儀內部的激光干涉儀測量出儀器與安裝在目標物體上的靶鏡之間位移的變化量，從而對目標物體的運動誤差進行計算。具體來說，對于目標的位置測量，主要有基于相位差的激光干涉（IF）測量方法和基于雙頻調制信號的絕對距離（AD）測量方法。為確保位置測量精度，需要明確兩種測量方法的切換條件和操作模式，其測量精度可達 6μm/m。
二、結構特點
通過使用標準球反射鏡與萬向節式回轉軸系，可以減小系統誤差對測量精度的影響。
三、應用領域
1.在數控裝備領域，激光跟蹤儀可用于計算數控裝備的運動誤差，并分離出每一根軸的各項幾何誤差，同時合成數控裝備在空間任意位置的誤差，從而實現對數控裝備誤差的修正。
在大型預埋鋼板安裝測量中，采用可調節高度的等高控制點確定平面基準，激光跟蹤儀測量預埋鋼板的孔位空間位置，確定形位誤差并進行調整，最后進行二次檢核，通過加權總體最小二乘擬合鋼板平面，計算平面度，有效解決了振動臺預埋鋼板的高精度安裝問題。
2.在機器人領域，激光跟蹤儀可作為機器人末端執行器位置和姿態的測量設備，為機器人校準奠定基礎。基于激光跟蹤儀構建的位置和姿態測量系統，可設置機器人末端執行器按照預定線性軌跡以不同速度移動，然后用激光跟蹤儀測量機器人末端執行器軌跡離散點的位置和姿態，并分析其位置誤差和姿態誤差，以檢驗機器人末端執行器的定位精度。
展開 激光跟蹤儀的檢測功能與應用實例
激光跟蹤儀的檢測功能及應用實例如下：
1、檢測功能
- 三維坐標測量：能精確測量目標點的三維坐標，確定物體在空間中的位置和姿態，為后續的尺寸測量、形位公差檢測等提供基礎數據。
- 尺寸測量：可測量物體的長度、寬度、高度、直徑等尺寸參數，通過測量物體上多個特征點的坐標，計算出相應的尺寸值，檢測物體尺寸是否符合設計要求。
- 形位公差檢測：能檢測直線度、平面度、圓度、圓柱度、垂直度、平行度、同軸度等形位公差。如通過測量一系列點的坐標，擬合出直線或平面，進而評估直線度和平面度。
- 輪廓檢測：對物體的輪廓進行掃描測量，獲取物體表面的點云數據，與設計模型對比，分析輪廓偏差，檢測物體外形是否合格。
- 動態測量：可實時跟蹤運動目標的位置和姿態變化，測量運動物體的速度、加速度等參數，用于監測生產線上運動部件的運行狀態，或對機器人等運動設備進行性能測試。
2、應用實例
- 汽車制造：在汽車工裝檢測中，如某型號汽車總拼工裝定位銷位置檢測。將激光跟蹤儀布設于待測工裝周邊，用高精度靶球測量工裝基準點數據，使跟蹤儀與工裝處于統一坐標系，導入數模后，觸碰待測位置，跟蹤儀以高采集速率測量三維坐標并記錄，與數模數據比對分析差值，精度優于0.1mm，還可根據實時坐標數據指導調裝。
- 軌道交通：以GTS系列激光跟蹤儀測量軌道為例，在測量約800米軌道時，將激光跟蹤儀架設在軌道上，連接電源，調整水平并建立軌道坐標系，把反射靶標固定在軌道檢測小車上，推動小車用連續距離模式測量軌跡，布置轉站定位點并移動跟蹤儀進行多次轉站測量，最后將數據導入分析工具，數據拼接處誤差小于0.3mm。
- 船舶制造：在大型船用發電機檢測中，使用激光跟蹤儀測量永磁轉子、定子多段槽楔的直徑、圓柱度、同軸度。
展開 光譜儀 | RP 系列激光分析設計軟件
一般來說，光譜儀是一種用于研究光、物質或物體的波長相關特性的儀器；它的用途相當廣泛：
· 光譜儀是一種可以在空間上分離光的光譜成分的儀器，單獨分析光譜成分——例如使用照相底片或外部光電探測器。所使用的分光測色儀通常是衍射光柵或棱鏡。
· 光譜儀通常還包含一些用于分析光強的光電探測器。包含大型探測器陣列的光譜儀可用于記錄光源的光譜，而且無需在光柵方向掃描。當配備強度校準時，此類設備更具體地稱為光譜輻射計。
· 其他光學光譜儀用于分析物質或物體的光譜特性，例如與波長相關的透射率或反射率。它們更具體地稱為分光光度計，并在化學等領域得到應用。使用包含一些窄線寬 可調諧激光器的激光光譜儀可以獲得特別高的光譜分辨率和高靈敏度。然而，這些通常只能覆蓋相當有限的光譜區域。
還有光學和光子學領域之外的多種光譜儀，例如用于測量顆粒速度或顆粒尺寸分布的設備。然而，本文完全聚焦于對光進行光譜分析的光譜儀。當對物質或物體的分析感興趣時，請參閱有關分光光度計的文章。
使用光譜儀進行的測量通常會提供波長或頻率函數作為光的光功率譜密度(PSD) 。并非所有光譜儀都提供經過校準的 PSD；通常，強度讀數未經校準，而且對于波長來說可能與校準因子（響應度）有很大相關性。
還有光譜相位干涉測量方法，不僅可以測量功率譜密度，還可以測量光譜相位。
有些光譜儀也具有成像功能，稱為成像光譜儀。請參閱有關高光譜成像和多光譜成像的文章。
如果僅需要測量激光束的光譜線寬，而不需要測量詳細的光譜形狀，則可以使用其他方法，例如進行自外差線寬測量。通過這種方法，人們可以測量非常小的線寬，其遠低于典型光譜儀的分辨率。
光譜儀的類型
基于衍射光柵或棱鏡的光譜儀
大多數光譜儀都基于某種多色儀，即可以在空間上分離光的不同波長成分的裝置。
展開 基于激光的邁克爾遜干涉儀和干涉條紋探測
摘要
邁克爾遜干涉儀是光學干涉測量的典型裝置。 裝置中的不同配置可能導致不同的干涉條紋，因此，它們之間的關系非常值得去深入研究。借助VirtualLab Fusion中的非序列追跡技術，可以輕松設置和配置邁克爾遜干涉儀，并在不同情況下顯示干涉條紋。在該示例中，展示了幾種典型情況下相應的干涉條紋。
建模任務
等效光程的計算結果
平移可移動反射鏡的計算結果
傾斜可移動反射鏡的計算結果
平移和傾斜可移動反射鏡的計算結果
VirtualLab 視圖
VirtualLab 流程
?設置入射高斯場
-基本光源模型
?設置組件的位置和方向
-LPD II：位置和方向
?設置組件的非序列通道
-非序列追跡通道設置
VirtualLab 技術
文件信息
進一步閱讀
-馬赫澤德干涉儀
-全視場光學相干掃描干涉儀
-用于光學測試的飛索干涉儀
展開 
關于激光跟蹤儀的常見提問及回答
如果反射鏡表面不平整或者反射率不符合要求，會導致激光反射信號不穩定，進而影響角度和距離測量的準確性。
4、如何選擇適合自己需求的激光跟蹤儀？
（1）測量需求
測量范圍：明確需要測量的物體尺寸大小，如小型精密零件、中等尺寸的機械部件或大型的航空航天結構件等。如果是測量大型工件，如飛機機身、大型船舶等，就需要選擇測量范圍大的激光跟蹤儀，單站測量范圍可達數十米甚至上百米。
測量精度：根據測量任務對精度的要求來選擇。對于精密加工、航空航天等對精度要求極高的領域，需要選擇精度達到微米甚至亞微米級的激光跟蹤儀；而在一些普通工業制造中，精度要求相對較低，可以選擇精度在毫米級的儀器。
測量速度：如果是在生產線上進行快速測量，或者需要對運動目標進行實時跟蹤測量，就需要選擇測量速度快、數據更新頻率高的激光跟蹤儀，以滿足高效生產的需求。
（2）工作環境
溫度和濕度：如果工作環境溫度變化大或濕度較高，需要選擇具有良好溫度和濕度補償功能的激光跟蹤儀，以確保測量精度不受環境因素影響。有些激光跟蹤儀配備了集成式氣象站，可以實時監控和補償溫度、氣壓和濕度的變化。
空間限制：考慮測量現場的空間大小和布局，選擇外形尺寸合適、安裝方便的激光跟蹤儀。對于空間狹小的場所，可能需要選擇體積小巧、可靈活安裝的型號；而在大型車間或戶外環境中，則可以選擇更大型、功能更強大的設備。
抗干擾能力：如果工作環境中有較多的電磁干擾、振動或粉塵等，需要選擇抗干擾能力強、防護等級高的激光跟蹤儀，以保證儀器的正常運行和測量精度。例如，具有IP54防護等級的GTS激光跟蹤儀可用于苛刻的工業條件。
（3）操作便捷性
軟件功能：激光跟蹤儀通常配備相應的測量軟件，需要選擇軟件功能強大、操作簡單直觀的產品。
展開 【米思米機械設備知識分享】- 激光測厚儀的工作原理
激光測厚儀是厚度檢測的重要設備，采用激光測厚儀測量板材厚度，使用方便，操作簡單。激光測厚儀又分為接觸式測厚儀、非接觸式測厚儀、多點式激光測厚儀、掃描式激光測厚儀、超大直徑管材壁厚測量儀
激光測厚儀的測量單元主要由激光測頭、直線導軌滑臺組件、橫梁等組成。激光測頭是測量傳感器。用以采集被測物的厚度尺寸。激光測頭安裝在直線導軌滑臺組件的滑塊上，當步進電機驅動滑塊往復移動時激光測頭沿被測物的寬度方向進行掃描測量。測厚儀的計算、顯示和掃描動作的控制由控制盒完成，計算結果在液晶顯示屏上顯示。
激光測厚儀主要是通過激光三角法測距原理，測量薄膜材料（鋰電池正／負極涂布、鋰電池正／負極輥壓）的厚度，激光測厚儀優勢是：
1．隔震設計
2．閉環控制功能
3．大理石C型掃描架
4．高精度位移傳感器
5．上下激光同軸度精準保證
6．實時補償及防極片波動功能
激光測厚儀應用場景
激光測厚儀用于測量鋼鐵等磁性金屬基體上的非磁性涂層、鍍層、氧化層，如油漆、粉末、塑料、橡膠、鋅、鉻、鋁、錫等。
激光測厚儀采樣技術：
使得測量重復性較傳統交流技術有無可比擬的優越和提高。
激光測厚儀零位穩定：
所有涂層測厚儀測量前都要求校準零位，可以在隨儀器的校零板或未涂覆的工件上校零。儀器零位的穩定是保證測量準確的前提。一臺好的測厚儀校零后，可以長時間保持零位不漂移，確保準確測量。
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展開 激光干涉儀測量機床精度全面解析
而激光干涉儀是一種能夠測量機床精度的高精度測量裝置。它利用激光干涉現象來實現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優點，在機床加工領域有著廣泛的應用。
了解機床精度的重要性
機床精度直接影響著產品的質量和性能，它是制造業中至關重要的一個指標。在現代制造業中，隨著對產品精度要求的不斷提高，機床精度的重要性也日益凸顯。而激光干涉儀作為一種高精度測量工具，被廣泛應用于機床精度的測量中。
工作原理
激光干涉儀利用激光光束的干涉原理來測量物體的形狀和表面的高度差異。其原理是基于兩束相干光在空間交叉的地方發生干涉，形成干涉條紋，通過測量干涉條紋的變化來推斷被測量物體的參數。
測量原理
激光干涉儀的測量原理主要包括相位測量和位移測量。相位測量是通過測量干涉條紋的相位差來計算被測量物體的形狀、位置等參數；位移測量是通過測量干涉條紋的位移來確定物體的位移量。這兩種測量原理在不同應用場景下有著各自的優勢和適用性。
產品優勢
1、激光干涉儀具有非常高的測量精度和重復性。
2、激光干涉儀可以實現非接觸式測量，不會對被測量物體造成損傷。
3、激光干涉儀具有實時性測量能力，能夠同時測量多個位置或參數，提高測量效率。
產品應用
1.測量機床導軌的直線度和平行度。
導軌是機床中的重要零部件，直線度和平行度的誤差會直接影響機床的加工精度和穩定性。激光干涉儀可以通過測量導軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差，從而指導后續的優化和調整。
2.測量機床工作臺的平面度和垂直度。
機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質量。
展開 激光干涉儀快速檢測三坐標測量機垂直度
激光干涉儀是常用的機床、三坐標測量機幾何誤差檢測的手段。
其中垂直度測量是通過比較正交軸的直線度值從而確定正交軸的非直角度。三坐標測量機的垂直度誤差可能是導軌磨損、事故造成導軌損壞、機器地基差、正交軸上兩原點傳感器未準直等因素造成的，垂直度誤差將對機器的定位精度及插補能力產生直接影響。SJ6000激光干涉儀以光波為載體，在動態測量軟件的配合下，可實現三坐標測量機的垂直度檢測分析。
垂直度測量構建
SJ6000激光干涉儀垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過程中保持原為，且不進行調整；光學角尺用于至少在其中一次直線度測量中，允許調整激光束與軸的準直。垂直度誤差=光學直角尺誤差-斜度θ1-斜度。
SJ6000激光干涉儀
垂直度測量的光路原理構件圖
三坐標測量機XY軸的垂直度測量
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