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靜電驅動懸臂梁靜電-結構及動態特性耦合分析(三章全)
動態分析: (1)U形懸臂梁自然狀態下模態分析:無驅動電壓時,U形結構的諧振頻率分析 (2) U形懸臂梁諧響應分析:驅動電壓為諧波時,以該電壓的頻率為變量,U形結構兩臂的最大位移隨驅動電壓頻率變化的特性(位移的頻率特性) (3)預應力狀態下模態分析:當驅動電壓為某直流量,也就是U形結構的兩臂受以固定作用力時(所謂預應力狀態),U型結構的諧振頻率分析 (4)預應力狀態諧響應分析:當驅動電壓在此基礎上疊加一交流小分量
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