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GaN功率器件的案例

GaN功率半導體廠商梳理
2014年,成為全球最早實現(xiàn)氮化鎵晶體管器件規(guī)模化量產(chǎn)的公司之一,極大的降低了GaN晶體管生產(chǎn)成本,將GaN在電源轉(zhuǎn)換和控制領(lǐng)域的性能優(yōu)勢轉(zhuǎn)化為商業(yè)現(xiàn)實。 2015年,完成了C輪2000萬美元融資,投資人包括加拿大著名的投資機構(gòu)BDC和來自中國的青云創(chuàng)投。 2018年7月,推出兩款無線功率放大器,100W功率放大器[GSWP100W-EVBPA]適用于筆記本電腦、娛樂級無人機、家用輔助機器人、電動工具和多款智能手機的快速充電等消費類市場。300W功率放大器[GSWP300W-EVBPA]面向工業(yè)和運輸市場,適用于交付無人機、倉儲機器人、醫(yī)療設(shè)備、工廠自動化、電動自行車和滑板車等應用。 (7)日本松下 2013年3月,開始樣品供貨耐壓600V的GaN功率晶體管,此后不斷在功率電子及功率器件相關(guān)展會上進行展示。 2016年11月,終于開始量產(chǎn)耐壓600V的Si基GaN功率晶體管。 2016年12月,松下開發(fā)出了常閉型工作GaN功率晶體管,耐壓為1.7kV,導通電阻僅為1.0mΩcm。同月,松下試制出了使用GaNGaN功率晶體管,與松下以往Si基板產(chǎn)品相比,將導通電阻(Ron)降至2/3,將輸出電荷(Qoss)減至約一半。 (8)日本Sanken 1999年12月成立,IDM企業(yè),原本做硅器件,現(xiàn)轉(zhuǎn)型做GaN、SiC第三代半導體器件GaN功率器件以600V為主,處于研發(fā)階段。 (9)德國英飛凌 2014年9月,英飛凌以30億美元收購美國國際整流(IR)公司,通過此次并購,英飛凌將取得IR的Si基板GaN功率半導體制造技術(shù)。
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SiC和GaN功率器件為何能夠在電子界唱主角?原因在此
使用SiC和GaN器件 除了上述的精心布局外,SiC元器件的另一個潛在問題在于驅(qū)動要求與IGBT器件截然不同。雖然大多數(shù)晶體管的驅(qū)動通常使用對稱電源軌(如±5V),但SiC器件需要較小的負電壓以確保完全關(guān)斷,因此需要不對稱的電源軌(如-1V至-20V)。 此外,雖然SiC具有出色的散熱特性,與硅相比導熱特性亦出類拔萃,但是SiC元器件常使用為Si器件設(shè)計的封裝,例如芯片鍵合和引線鍵合。雖然這種封裝方法與SiC配合良好,但僅適用于低頻電路(數(shù)十千赫)。一旦應用于高頻電路,寄生電容和電感就會相應增大,從而阻礙基于SiC器件充分發(fā)揮全部潛力。 同樣,要充分利用GaN器件的優(yōu)勢,封裝就必須具有極低的寄生電感和出色的熱性能。嵌入式芯片封裝(類似于多層印刷電路板)等全新封裝方法,以低成本實現(xiàn)了所需的性能,同時還消除了引線鍵合以避免器件自身的可靠性問題。 柵極驅(qū)動器這一關(guān)鍵元件主要用作控制器與功率器件之間的接口。對于采用新器件的電子設(shè)計人員而言,柵極驅(qū)動設(shè)計始終是個難題,因此了解SiC和GaN功率器件的驅(qū)動方式就顯得尤為重要。具體要求是: 供電電壓高,通過低傳導損耗實現(xiàn)高能效 驅(qū)動強度高,實現(xiàn)低開關(guān)損耗 快速短路保護 傳播延遲和變化較小,實現(xiàn)高能效和快速系統(tǒng)控制 dv/dt抗擾度高 部分早期的GaN器件需要特殊的驅(qū)動器來防止柵極過壓。目前市面上推出具有大Vg容差的新一代E-HEMT,只需改變柵極電壓,即可由許多標準MOSFET驅(qū)動器來驅(qū)動。GaN FET是橫向器件,因此所需的最佳驅(qū)動電壓相對較低。
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GaN快充達到甜蜜點,中低壓市場迎來更多殺手級應用
- 國產(chǎn)GaN廠商可以以消費電子應用為突破點,積累技術(shù)和市場經(jīng)驗后再向門檻更高的工業(yè)、汽車應用進軍。 10月20日,納微半導體在美國納斯達克上市,成為全球首家氮化鎵(GaN功率芯片上市公司,總市值超過10億美元。隨著手機快充大規(guī)模采用,GaN高頻高效的優(yōu)勢充分展現(xiàn),受益于這一輪的東風,TrendForce預計納微將以29%的出貨量市占率拿下今年全球GaN功率市場第一名。 在《集微咨詢:千呼萬喚始出來的蘋果GaN快充,拉開下一個GaN爆點的序幕》中集微咨詢(JW insights)分析指出, 隨著中低壓GaN技術(shù)不斷成熟,競爭力提升,這將大大加速GaN生態(tài)的發(fā)展和成熟,成為GaN大規(guī)模商用的真正爆點 。如果按照工作電壓來分類,全球功率器件約68%應用在0~900V的區(qū)間。如果以2021年442億美元的功率器件市場來看,全球GaN功率器件的潛在市場規(guī)模約300億美元。
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氮化鎵“上車”,能行嗎?
盡管新能源汽車對于GaN而言是一個具有未來的全新應用場景,但是如今依然面臨著挑戰(zhàn)。 據(jù)了解,在新能源汽車領(lǐng)域,GaN面臨最大的挑戰(zhàn)在于,由于車規(guī)級認證過程較慢,對器件的可靠性和安全性要求較高,并且GaN要同時面臨硅器件和SiC器件的競爭,因此只有GaN做得足夠好,成本足夠低,才可以有較強的競爭力,否則難以進行大規(guī)模應用和普及。此外,由于硅基GaN功率器件的工作電壓較低,而耐高壓的SiC基GaN功率器件又比較貴,因此法國Yole公司預估,GaN功率器件要到2025年后,才有可能在電動車上進行部署。
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GaN功率器件圖1
智芯研報 | 高效能、小體積加速GaN消費電子類應用
GaN材料的應用使器件小型化、輕量化,降低了電力電子裝置的體積、重量以及制作和生產(chǎn)的成本,能夠更好的控制成本,大規(guī)模的產(chǎn)業(yè)化,實現(xiàn)量產(chǎn)。 相較于硅器件GaN晶體管更具效率 GaN是直接能隙半導體,帶隙能量為3.4Ev,是硅的幾倍。更寬的帶隙使得GaN更適用于光電子器件。另外,GaN半導體具有1000倍于硅的電子遷移率,且更耐高溫,因此更能在高頻、高溫和高功率的環(huán)境下工作。 也就是說,與硅相比,GaN具有更節(jié)能、更快、更好的恢復特性等突出優(yōu)勢,能夠同時實現(xiàn)高頻率和高效率。 總的來說,GaN材料擁有很大帶隙,擊穿強高達Si的10倍,可大幅降低導通電阻,并可可在高溫下工作,非常適合應用在小型快充充電電源上。 GaN充電器不僅具備了低發(fā)熱小體積的突出優(yōu)勢,更在充電功率轉(zhuǎn)換上更具優(yōu)勢。 ▼GaN 和SiC 的性能差異 在功率器件方面,GaN器件適用于多數(shù)功率器件市場,市場空間巨大 GaN功率器件包括SBD、常關(guān)型FET、級聯(lián)FET等產(chǎn)品,主要應用于無線充電件、電源開關(guān)、逆變器、交流器等領(lǐng)域。 就性能來講,GaN材料更適用于高頻率應用場景,SiC則在高壓高功率場景表現(xiàn)更佳。隨著技術(shù)水平的進步與成本控制,GaN材料將在中低功率取代硅基功率器件,在300V~600V電壓間發(fā)揮優(yōu)勢作用。 根據(jù)Yole估計,在0~900V的低壓市場內(nèi),GaN都有較大的應用潛力。按照整體市場154億美元來看,占據(jù)68%的該部分低壓市場都是GaN的潛在市場,約有105億美元。 作為功率器件GaN在電源設(shè)備上先行一步,在其它電子器件市場也有望加速滲透 體積、效率及成本上的優(yōu)勢是GaN功率器件在消費電子產(chǎn)品市場上不斷突破的重要因素。
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GaN滲透率僅1%?這家企業(yè)二廠年底預產(chǎn),產(chǎn)能將提升10倍
? 2017國家重點研發(fā)計劃戰(zhàn)略性先進電子材料重點專項 課題名稱:GaN基新型電力電子器件關(guān)鍵技術(shù) 課題GaN功率器件雪崩擊穿效應與新型耐壓結(jié)構(gòu) 立項時間:2017年 GaN器件耐壓水平實現(xiàn)突破,達到國際先進水平,闡明GaN器件的穩(wěn)定性問題,找到提高器件穩(wěn)定性方法;嘗試GaN器件在電源中的應用,為推廣實用化打下基礎(chǔ)。 ? 2016江蘇省重點研發(fā)計劃 課題名稱:高性能增強型Si基GaN功率開關(guān)器件共性關(guān)鍵技術(shù)研發(fā) 立項時間:2016年 結(jié)合國家在節(jié)能減排和實現(xiàn)能源高效利用等方面的發(fā)展需求,以實現(xiàn)高性能增強型Si基GaN功率開關(guān)器件為目標,開展與之相關(guān)的共性關(guān)鍵技術(shù)的研發(fā)工作,實現(xiàn)相關(guān)的技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)化開發(fā)。 相關(guān)閱讀: 參編單位集結(jié)號!2021第三代半導體白皮書調(diào)研啟動 投資近27億!ETC、電力、線材上市企業(yè)也要做SiC/GaN? 最高增長7724%!康佳、聞泰、士蘭微、華潤微“成績單”有哪些亮點? 又一車企采用碳化硅!這家企業(yè)年產(chǎn)能達2萬片,目標8萬片 點擊“閱讀原文”報名參編白皮書
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英特爾GaN這么強?12英寸晶圓、3D器件面世
最近, 英特爾 在官網(wǎng)表示,他們將展示 首款氮化鎵 (GaN) 穩(wěn)壓器, 其優(yōu)值是硅器件的 10倍 ,峰值效率超過 94% 。 這款穩(wěn)壓器最獨特之處在于,采用了5項技術(shù),將GaN功率GaN射頻晶體管,與硅PMOS的整合成一個片上系統(tǒng),既可以實現(xiàn)高頻操作,又可以實現(xiàn)高功率密度。而且該器件是基于12英寸硅晶圓,這在業(yè)界很少見,成本也非常有優(yōu)勢。 插播:加入大佬群,請加微信:hangjiashuo666。 12英寸、3D堆疊 同時實現(xiàn)高頻、高功率 6月13-19日,英特爾將在“VLSI 技術(shù)和電路研討會”展示4項研究成果,其中將公布首款氮化鎵穩(wěn)壓器的詳細信息。 據(jù)介紹,這款穩(wěn)壓器采用了封裝集成的低壓GaN NMOS功率晶體管,其優(yōu)值(FoM)比硅器件提高了5-10倍,搭配40nH電感器,可實現(xiàn)94.2%的峰值效率。 談及開發(fā)該器件的初衷時,英特爾表示,他們希望開發(fā)一種器件,能夠解決功率傳輸和射頻前端難題,同時還要降低了器件成本。 這是因為在5G通信等未來需求中,傳統(tǒng)的硅器件在高頻、高功率射頻功放方面性能不足,而GaAs HBT、GaAs HEMT和GaN HEMT又不適合用來制備高效功率電子器件,因為耗盡型GaAs HEMT和GaN HEMT是常開型器件,GaAs HBT是電流驅(qū)動,而不是場驅(qū)動。而混合使用這些器件,占用的PCB空間會比較大。 根據(jù)英特爾發(fā)布的論文,2020年5月他們首次在12英寸晶圓上實現(xiàn)了GaN和硅基CMOS的三維單片集成,而這次將要展示的穩(wěn)壓器是該技術(shù)的首次成果轉(zhuǎn)化,因此非常值得期待。
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智芯研報 | 氮化鎵(GaN)射頻器件市場:2026年預計達到24億美元以上
由于Si半導體材料禁帶能量的限制,其截止頻率較低,因此Si半導體功率器件的工作頻率只能在S波段以下工作。GaAs器件具有比其它器件好很多的載流子遷移率,截止頻率很高,但受擊穿場強的限制,工作電壓低,導致器件輸出功率小,GaNHEMT具有寬的禁帶能量、高擊穿場強和高飽和電子漂移速度的特性,補償了這一不足而獲得好的高頻性能,GaNHEMT可以工作在更高頻率,同時能有高輸出功率。另外,GaNHEMT的固有特性使得其輸入輸出阻抗較高,電路的寬帶阻抗匹配更加容易實現(xiàn),使得GaNHEMT適合寬帶應用。 ▲不同材料體系射頻器件功率-頻率工作區(qū)間 ▌抗輻照能力強,環(huán)境適應性強 GaN是極穩(wěn)定的化合物,具有強的原子鍵、高的熱導率、在Ⅲ-Ⅴ族化合物中電離度是最高的、化學穩(wěn)定性好,使得GaN器件比Si和GaAs有更強抗輻照能力,同時GaN又是高熔點材料,熱傳導率高,GaN功率器件通常采用熱傳導率更優(yōu)的SiC做襯底,因此GaN功率器件具有較高的結(jié)溫,能在高溫環(huán)境下工作。
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GaN功率芯片走向成熟,納微GaNSense開啟智能集成時代
03 GaN功率芯片在向集成化發(fā)展 GaN功率芯片主要以2個流派在發(fā)展,一個是eMode常開型的,納微代表的是另一個分支——eMode常關(guān)型。相比傳統(tǒng)的常關(guān)型的GaN功率器件,納微又進一步做了集成,包括驅(qū)動、保護和控制的集成。 GaN功率芯片集成的優(yōu)勢如下。 ①傳統(tǒng)的Si器件參數(shù)不夠優(yōu)異,開關(guān)速率、開關(guān)頻率都受到極大的限制,通常基于Si器件的電源系統(tǒng)設(shè)置都是在(60~100)kHz的開關(guān)頻率范圍,導致的結(jié)果是:因為開關(guān)頻率較低,它的儲能元件,相對電感電容用的尺寸比較大,電源的功率密度會相對較低,業(yè)界通常的功率密度小于0.5 W/cc。 ②分立式GaN因為受限于驅(qū)動的線路的復雜性,如果沒有把驅(qū)動集成到功率器件里,受限于外部器件的布局、布線參數(shù)的影響,開關(guān)頻率沒有發(fā)揮到GaN本來發(fā)揮到的高度。所以,對比于普通的Si器件大概只有二三倍開關(guān)頻率的提升,可想而知功率密度的提升也是比較有限的。相比于傳統(tǒng)的電源適配器或電源解決方案,盡管友商或者同行可以設(shè)計出較高的功率密度,但是遠沒達到1W/cc的數(shù)字。而納微的功率GaN器件由于集成了控制、驅(qū)動和保護,由于不依賴于外部集成參數(shù)的影響,開關(guān)頻率可以充分釋放。例如在電源適配器方面,目前納微主流的開關(guān)頻率在300、400 kHz,模塊電源方面已有客戶設(shè)計到了MHz。目前很多納微的客戶方案已遠遠大于1W/cc。 納微的主流產(chǎn)品系列是GaNFastTM系列,是把驅(qū)動控制和基本保護集成在功率器件里。
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GaN功率芯片走向成熟,納微GaNSense開啟智能集成時代
03 GaN功率芯片在向集成化發(fā)展 GaN功率芯片主要以2個流派在發(fā)展,一個是eMode常開型的,納微代表的是另一個分支——eMode常關(guān)型。相比傳統(tǒng)的常關(guān)型的GaN功率器件,納微又進一步做了集成,包括驅(qū)動、保護和控制的集成。 GaN功率芯片集成的優(yōu)勢如下。 ①傳統(tǒng)的Si器件參數(shù)不夠優(yōu)異,開關(guān)速率、開關(guān)頻率都受到極大的限制,通常基于Si器件的電源系統(tǒng)設(shè)置都是在(60~100)kHz的開關(guān)頻率范圍,導致的結(jié)果是:因為開關(guān)頻率較低,它的儲能元件,相對電感電容用的尺寸比較大,電源的功率密度會相對較低,業(yè)界通常的功率密度小于0.5 W/cc。 ②分立式GaN因為受限于驅(qū)動的線路的復雜性,如果沒有把驅(qū)動集成到功率器件里,受限于外部器件的布局、布線參數(shù)的影響,開關(guān)頻率沒有發(fā)揮到GaN本來發(fā)揮到的高度。所以,對比于普通的Si器件大概只有二三倍開關(guān)頻率的提升,可想而知功率密度的提升也是比較有限的。相比于傳統(tǒng)的電源適配器或電源解決方案,盡管友商或者同行可以設(shè)計出較高的功率密度,但是遠沒達到1W/cc的數(shù)字。而納微的功率GaN器件由于集成了控制、驅(qū)動和保護,由于不依賴于外部集成參數(shù)的影響,開關(guān)頻率可以充分釋放。例如在電源適配器方面,目前納微主流的開關(guān)頻率在300、400 kHz,模塊電源方面已有客戶設(shè)計到了MHz。目前很多納微的客戶方案已遠遠大于1W/cc。 納微的主流產(chǎn)品系列是GaNFastTM系列,是把驅(qū)動控制和基本保護集成在功率器件里。
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氮化鎵繼消費領(lǐng)域之后再瞄準汽車市場
車用氮化鎵主要存在四方面挑戰(zhàn): 車用領(lǐng)域的功率要求波動較大,需要在所有工況下,保持器件參數(shù)的長期穩(wěn)定; 車規(guī)功率器件長期處于高振動、高濕度、高溫度的工作環(huán)境,要求器件在應對熱應力和機械應力的過程中有著極高的可靠性; 車在裝備過程中,在體積重量和制造成本上都有嚴格的要求,功率器件必須契合汽車裝備本身的需要; 車規(guī)器件需要做到15年到20年的使用壽命,技術(shù)門檻很高。 盡管困難重重,與傳統(tǒng)硅功率器件以及碳化硅相比,GaN憑借其特有的優(yōu)勢,未來依然有望得到大規(guī)模應用。目前GaN在新能源汽車中應用尚未大規(guī)模起量,但仍是一個具有潛力的應用方向。
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GaN功率器件圖2
GaN產(chǎn)業(yè)鏈—射頻通信大顯身手,功率器件或后來居上
來源:平安證券
華為大肆招兵、大舉進攻功率器件意欲何為?
NO.4 華為布局 GaN 氮化鎵(GaN)被稱為第三代半導體材料。相比硅,它的性能成倍提升,而且比硅更適合做大功率器件、體積更小、功率密度更大。氮化鎵芯片頻率遠高于硅,有效降低內(nèi)部變壓器等原件體積,同時優(yōu)秀的散熱性能也使內(nèi)部原件排布可以更加精密,最終完美解決了充電速率和便攜性的矛盾。 GaN功率器件主要銷售給電子市場 ,對于消費市場來說,比較典型的就是快充,快充頭產(chǎn)品中主要包括兩塊核心部件,一是電源管理IC芯片,另一塊是功率分立器件。快充的要求是功率密度和效率。所以企業(yè)就必須以這種外形尺寸真正壓縮系統(tǒng)并降低每功率價格。 2020年4月8日,在華為2020春季新品發(fā)布上,華為發(fā)布了一款充電器單品——65W GaN(氮化鎵)雙口充電器。 當時就有傳言說是華為自研,但實際情況還有待考究。不過熟悉華為的供應鏈相關(guān)人士指出,華為在GaN領(lǐng)域已經(jīng)布局頗深。 除了消費電子領(lǐng)域的快充,基于GaN的分立器件,也更適合于高功率應用,例如數(shù)據(jù)中心或基站電源。2020年6月,華為宣布將在英國建立光電子研發(fā)與制造基地。
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曾經(jīng)的LED領(lǐng)頭羊Cree剝離照明業(yè)務,對我國發(fā)展化合物半導體有何啟示?
2017年,Cree選擇與國內(nèi)三安光電公司成立合資公司,變相讓出了中低功率LED市場。 圖1 2016-2019財年Cree公司營業(yè)收入(單位:百萬美元) 數(shù)據(jù)來源:公司財報,賽迪智庫整理和預測 (三)新興應用市場驅(qū)動化合物半導體產(chǎn)業(yè)成長 除了具有出色的發(fā)光性能,化合物半導體相對Si器件還具有開關(guān)速度快、耐電壓高、散熱好等特點,在射頻和功率器件領(lǐng)域擁有更優(yōu)異的性能。 在新能源汽車中,使用SiC功率器件可以使充電裝置體積縮小80%、重量減輕60%、能量損耗降低25%。特斯拉的Model 3車型中已采用SiC MOSFET作為逆變器的開關(guān)器件,替代IGBT器件。在移動通信基站中,使用GaN射頻器件可以滿足更高通信頻段下的通信效率,使每座基站可覆蓋的用戶提升2倍,單用戶的數(shù)據(jù)傳輸速率提升10倍。華為公司在4G通信基站中已開始批量使用GaN射頻器件,替代LDMOS器件。此外在光伏、風能、家電等應用市場,SiC和GaN器件也有替代市場空間。 2018年,全球SiC功率器件市場規(guī)模約為4.5億美元,全球GaN射頻器件市場規(guī)模約為5億美元,5年后的市場規(guī)模有望分別達到20億美元和10億美元。 (四)Cree計劃專注發(fā)展化合物半導體業(yè)務 Cree公司成立于1987年,早期的技術(shù)來源自美國北卡州立大學。Cree于1991年發(fā)布了第一片商用的SiC襯底材料,于1998年推出了首個工業(yè)用的GaN-on-SiC射頻器件。Cree于2002年發(fā)布全球首個商用的SiC功率器件,于2011年發(fā)布全球首個SiC MOSFET功率器件
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超低成本GaN器件面世
三維蛇形通道襯底 簡單來說,這項外延技術(shù)先制備具有三維蛇形通道的立體疊層掩膜襯底,然后在硅晶圓上異質(zhì)外延生長了高質(zhì)量的GaN晶體。 胡教授認為,在立體疊層掩膜襯底上外延的GaN晶體,實現(xiàn)了在完整的條形區(qū)域內(nèi)都是低位錯密度的高質(zhì)量區(qū),為更復雜的高性能跨窗口區(qū)的功率電子器件提供了無限可能。 此外,受益于橫向的生長調(diào)控,實現(xiàn)了各層的堆疊方向是非極性的(110)晶面,從而避免極化電場對能帶結(jié)構(gòu)的影響,有望應用于對極化場散射敏感和對頻率性能要求高的電子器件;其橫向設(shè)計也使得漂移層寬度可輕松做到超越大電壓下的耗盡區(qū)寬度,而不受異質(zhì)外延垂直結(jié)構(gòu)中晶體厚度與晶體質(zhì)量之間矛盾的制約。 具體生長流程如下: 首先,在異質(zhì)襯底上進行蛇形通道掩膜。 然后,GaN在通道中生長。 第三步,橫向生長n+-GaN,并生長AlGaN來引入AlN覆蓋掩膜。 第四步,橫向生長n--GaN。 第五步,對于PND器件,繼續(xù)橫向生長p-GaN。 氮化鎵器件制備的2大難題 眾所周知,GaN材料的擊穿電壓理論上可達到、甚至大于 3mV/cm 的水平, 是硅的10倍 (0.3MV/cm),因此,憑借這個優(yōu)勢,理論上GaN器件能夠替代超過67%的硅器件市場。 但是,目前全球還沒有適合商用的GaN同質(zhì)襯底,盡管三菱化學正在建線,準備生產(chǎn)4英寸的氮化鎵襯底(.點這里.),但是價格會非常高。 因此,業(yè)界將目光轉(zhuǎn)向了廉價的大尺寸硅襯底上,希望通過生長GaN外延層來制備功率器件。但是,由于硅襯底的導電性和低的臨界擊穿電場會導致產(chǎn)生垂直方向擊穿問題。所以,提高硅基氮化鎵功率器件的擊穿電壓是急需攻克的關(guān)鍵問題。
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