干涉儀的案例
白光干涉儀測量原理及干涉測量技術的應用
白光干涉儀測量原理
基本原理：白光干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡分成兩束，一束光經被測表面反射回來，另一束光經參考鏡反射，兩束反射
光最終匯聚并發生干涉。兩束相干光間光程差的任何變化會靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起。通過測量干涉條紋的變化，就可以測量出被測表面的相關物理量。
白光的特點及優勢：白光屬于多色光，具有連續的光譜。與單色光干涉不同，白光干涉在一定光程差范圍內會出現彩色的干涉條紋，并且只有在零光程差附近的極小范圍內才會出現清晰的、對比度高的干涉條紋。這一特性使得白光干涉儀在測量時能夠通過精確尋找零光程差位置來實現高精度的測量，對于微觀形貌的測量具有獨特的優勢。
干涉測量技術的應用
1、在工業生產中的應用：
（1）半導體制造：在半導體芯片制造過程中，白光干涉儀可用于測量芯片表面的形貌、薄膜厚度、臺階高度等參數，對芯片的制造工藝進行監控和質量檢測。例如，在光刻工藝后，可檢測光刻膠的厚度和表面平整度；在刻蝕工藝后，可測量刻蝕深度和表面粗糙度，確保芯片的性能和可靠性。而具備雙重防撞保護功能的白光干涉儀，在操作過程中更加安全可靠。Z 軸上裝有防撞機械電子傳感器以及軟件 ZSTOP 防撞保護功能，為精密的測量過程提供了雙重保障，讓用戶在進行半導體制造的高精度測量時多一重安心。
（2）光學加工：用于光學鏡片、透鏡、棱鏡等光學元件的表面形貌測量和質量檢測。可以測量光學元件的表面粗糙度、曲率半徑、面形精度等參數，幫助優化光學加工工藝，提高光學元件的質量。例如，在高精度光學鏡頭的制造中，白光干涉儀可以檢測鏡頭表面的微觀形貌，確保鏡頭的成像質量。
展開 白光干涉儀(光學3D表面輪廓儀)只能測同質材料嗎？
白光干涉儀以白光干涉為原理，廣泛應用于材料科學等領域，對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、磨損情況、腐蝕情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析，是一種常見的光學輪廓測量儀器。但是許多人對白光干涉儀的使用范圍和限制性存在疑問，本文將圍繞“白光干涉儀是否智能測量同質材料？”進行深入探討。
白光干涉儀由光源、分光器、干涉儀和探測器等部分組成。儀器基于干涉現象原理工作：當兩束或多束光線相互疊加時，會發生干涉現象。白光干涉儀利用這種干涉現象來測量光的相位差，從而獲得材料的相關參數。
光源發出的白光通過分光器被分成兩束光線，分別經過不同的光路。然后，這兩束光線再次相遇并疊加在一起，形成干涉圖樣。通過干涉圖樣的變化，我們可以得到材料的相關信息。
白光干涉儀只能測同質材料嗎？答案是否定的。在實際應用中，白光干涉儀的測量對象可以是各種類型的材料，例如金屬、陶瓷、塑料等。無論是同質材料還是非同質材料的測量，白光干涉儀的干涉圖樣分析和計算方法都可以提供準確而詳細的測量結果：
1、同質材料具有相似的光學特性，因此可以采用簡化的分析方法。利用干涉儀圖樣的分析，可以直接獲得相關參數（如膜層厚度、表面粗糙度、膜層折射率等），從而得到準確的測量結果。
2、對于非同質材料，由于其光學特性的差異性，分析方法相對更為復雜，通常需要借助計算機模擬和計算等手段來精確測量參數。
無論是研究材料性質、表面形貌，還是進行質量控制和判別等方面，白光干涉儀都具有廣泛的應用前景。
SuperViewW1白光干涉儀能夠以優于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。
展開 關于白光干涉儀的常見提問及回答
2、如何對白光干涉儀進行日常維護：儀器應妥善放在干燥、清潔的房間內，防止振動；光學零件不用時，應存放在清潔的干燥盆內，避免發霉，必要時用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和乙醚混合液輕拭；傳動部件應有良好的潤滑，特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分；使用時，各調整部位用力要適當；導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕。
與其他儀器對比相關
1、白光干涉儀和激光干涉儀有什么區別：
（1）光源：白光干涉儀使用白光源，具有連續光譜；激光干涉儀使用激光光源，相干性好，是單色光。
（2）干涉條紋：白光干涉儀產生的干涉條紋是彩色的；激光干涉儀產生的干涉條紋一般是單色的，非常清晰。
（3）測量精度和范圍：白光干涉儀在測量微觀形貌方面精度高，適用于從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，測量范圍一般在納米到微米級別；激光干涉儀在測量大尺寸、長距離的位移和變形等方面精度高，相干長度長，測量范圍大。
（4）應用領域：白光干涉儀主要應用于半導體、3C電子、光學加工、微納材料等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域的微觀形貌測量；激光干涉儀主要應用于機床加工、精密測量、引力波探測等領域的高精度位移和長度測量。
展開 [FRED] 天文光干涉儀
簡介
天文光干涉儀能夠實現恒星和星系的高角分辨率的測量。首次搭建的天文光干涉儀分別由菲索（1868）和邁克爾遜（1890）提出。邁克爾遜恒星干涉儀于1920年成功地測出參宿四的直徑。現如今，恒星干涉儀可用于前沿研究，如外行星識別和恒星的超高分辨率（4豪弧秒）成像。在本文中，一種經典的邁克遜恒星干涉儀將會在FRED里面進行設計和分析。
恒星干涉儀設計
系統的幾何結構如圖1所示。干涉儀由四個反射鏡、一對小孔、一個正透鏡和一個探測儀組成。
圖1.邁克爾遜恒星干涉儀的幾何結構。反射鏡M1和M2由可變的距離d分開。另一組反射鏡使光線轉向通過不透明掩膜上的一對小孔上。一個平凸透鏡放置在掩膜的后面，相應的具有吸收的探測器平面放置在透鏡的焦平面處。
考慮恒星的測量。恒星由一個多色光光源模擬，它在一個小的角度范圍內照射干涉儀，這對應于它的角直徑。正常入射在兩個路徑P1和P2之間沒有光程差。然而，進入到干涉儀中光線的光程差會隨著角度的增大而增大。探測器上生成的干涉圖樣的一些例子如圖2所示。
圖2.左：角度范圍為1弧秒的恒星在探測器上的白光干涉圖樣，白光的中心波長為0.55um，半帶寬為0.1um。干涉儀的小孔半徑為1mm，反射鏡距離為50mm。右：增加反射鏡間距到100mm的干涉圖樣，此干涉圖的能見度降低了。
全局變量的腳本
條紋可見度是光源角度范圍、光譜含量、小孔半徑和兩個外反射鏡（M1和M2）之間的距離d的函數。在實際中，改變反射鏡間距可以獲得預期的未知值：光源的角度范圍。為了觀察干涉圖樣上這些變量每個的影響，使用FRED內置的BASIC腳本環境，可以寫入帶有全局變量的嵌入式腳本。這些變量如圖3所示。全局變量允許用戶對腳本化FRED模型進行調整，而不需要直接編輯腳本本身。
展開 
白光干涉儀(光學輪廓儀)：揭秘測量坑的形貌的利器！
白光干涉儀廣泛應用于科學研究和工程實踐各個領域中。它作為一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器，在測量坑的形貌方面扮演著舉足輕重的角色。
白光干涉儀怎么測量坑的形貌？它是利用干涉現象，使用白光源照射物體，并將反射光經過干涉儀的分光裝置后形成干涉圖樣。通過觀察干涉圖樣的變化，就可以獲得物體表面形貌的細節信息。
如何使用白光干涉儀來測量坑的形貌？在使用白光干涉儀測量坑的形貌時，將白光干涉儀的出光口對準坑樣的表面，調整儀器的焦距和位置，直到能夠得到清晰的干涉圖樣。然后，記錄下干涉圖樣的形狀和變化，最后進行數據處理和分析，就可以得出坑的形貌信息。在使用白光干涉儀進行測量的過程中，我們需要注意一些細節：
1、保持儀器穩定性和準確性。
在使用過程中，盡量避免外界干擾和震動，以確保測量結果的準確性。
2、選擇適當的測量參數和條件。
根據不同的實際情況，可以調整白光干涉儀的參數，如照射角度、光源強度等，以獲得更精確的測量結果。
SuperViewW1白光干涉儀結合數字圖像處理技術和三維重建算法來提高測量的精度和效率，揭秘并測量坑的形貌，為科學研究和工程實踐提供更有力的支持。
1、可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法，并可依據表面粗糙程度，選擇不同步距進行速度調節。
2、復合型EPSI重建算法，解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區域，不見一絲重疊縫隙。
白光干涉儀在半導體封裝中對彈坑的測量
同時，白光干涉儀還可以結合其他測量手段，如激光共聚焦顯微鏡等，以獲得更全面的形貌信息。
展開 FRED天文光干涉儀
簡介
天文光干涉儀能夠實現恒星和星系的高角分辨率的測量。首次搭建的天文光干涉儀分別由菲索（1868）和邁克爾遜（1890）提出。邁克爾遜恒星干涉儀于1920年成功地測出參宿四的直徑。現如今，恒星干涉儀可用于前沿研究，如外行星識別和恒星的超高分辨率（4豪弧秒）成像。在本文中，一種經典的邁克遜恒星干涉儀將會在FRED里面進行設計和分析。
恒星干涉儀設計
系統的幾何結構如圖1所示。干涉儀由四個反射鏡、一對小孔、一個正透鏡和一個探測儀組成。
圖1 邁克爾遜恒星干涉儀的幾何結構。反射鏡M1和M2由可變的距離d分開。另一組反射鏡使光線轉向通過不透明掩膜上的一對小孔上。一個平凸透鏡放置在掩膜的后面，相應的具有吸收的探測器平面放置在透鏡的焦平面處。
考慮恒星的測量。恒星由一個多色光光源模擬，它在一個小的角度范圍內照射干涉儀，這對應于它的角直徑。正常入射在兩個路徑P1和P2之間沒有光程差。然而，進入到干涉儀中光線的光程差會隨著角度的增大而增大。探測器上生成的干涉圖樣的一些例子如圖2所示。
圖2 左：角度范圍為1弧秒的恒星在探測器上的白光干涉圖樣，白光的中心波長為0.55um，半帶寬為0.1um。干涉儀的小孔半徑為1mm，反射鏡距離為50mm。右：增加反射鏡間距到100mm的干涉圖樣，此干涉圖的能見度降低了。
全局變量的腳本
條紋可見度是光源角度范圍、光譜含量、小孔半徑和兩個外反射鏡（M1和M2）之間的距離d的函數。在實際中，改變反射鏡間距可以獲得預期的未知值：光源的角度范圍。為了觀察干涉圖樣上這些變量每個的影響，使用FRED內置的BASIC腳本環境，可以寫入帶有全局變量的嵌入式腳本。這些變量如圖3所示。
展開 基于激光的邁克爾遜干涉儀和干涉條紋探測
摘要
邁克爾遜干涉儀是光學干涉測量的典型裝置。 裝置中的不同配置可能導致不同的干涉條紋，因此，它們之間的關系非常值得去深入研究。借助VirtualLab Fusion中的非序列追跡技術，可以輕松設置和配置邁克爾遜干涉儀，并在不同情況下顯示干涉條紋。在該示例中，展示了幾種典型情況下相應的干涉條紋。
建模任務
等效光程的計算結果
平移可移動反射鏡的計算結果
傾斜可移動反射鏡的計算結果
平移和傾斜可移動反射鏡的計算結果
VirtualLab 視圖
VirtualLab 流程
?設置入射高斯場
-基本光源模型
?設置組件的位置和方向
-LPD II：位置和方向
?設置組件的非序列通道
-非序列追跡通道設置
VirtualLab 技術
文件信息
進一步閱讀
-馬赫澤德干涉儀
-全視場光學相干掃描干涉儀
-用于光學測試的飛索干涉儀
展開 天文光干涉儀，，，，
簡介
天文光干涉儀能夠實現恒星和星系的高角分辨率的測量。首次搭建的天文光干涉儀分別由菲索（1868）和邁克爾遜（1890）提出。邁克爾遜恒星干涉儀于1920年成功地測出參宿四的直徑。現如今，恒星干涉儀可用于前沿研究，如外行星識別和恒星的超高分辨率（4豪弧秒）成像。在本文中，一種經典的邁克遜恒星干涉儀將會在FRED里面進行設計和分析。 恒星干涉儀設計
系統的幾何結構如圖1所示。干涉儀由四個反射鏡、一對小孔、一個正透鏡和一個探測儀組成。
圖1.
邁克爾遜恒星干涉儀的幾何結構。反射鏡M1和M2由可變的距離d分開。另一組反射鏡使光線轉向通過不透明掩膜上的一對小孔上。一個平凸透鏡放置在掩膜的后面，相應的具有吸收的探測器平面放置在透鏡的焦平面處。 考慮恒星的測量。恒星由一個多色光光源模擬，它在一個小的角度范圍內照射干涉儀，這對應于它的角直徑。正常入射在兩個路徑P1和P2之間沒有光程差。然而，進入到干涉儀中光線的光程差會隨著角度的增大而增大。探測器上生成的干涉圖樣的一些例子如圖2所示。
圖2.左：角度范圍為1弧秒的恒星在探測器上的白光干涉圖樣，白光的中心波長為0.55um，半帶寬為0.1um。干涉儀的小孔半徑為1mm，反射鏡距離為50mm。右：增加反射鏡間距到100mm的干涉圖樣，此干涉圖的能見度降低了。 全局變量的腳本 條紋可見度是光源角度范圍、光譜含量、小孔半徑和兩個外反射鏡（M1和M2）之間的距離d的函數。在實際中，改變反射鏡間距可以獲得預期的未知值：光源的角度范圍。為了觀察干涉圖樣上這些變量每個的影響，使用FRED內置的BASIC腳本環境，可以寫入帶有全局變量的嵌入式腳本。這些變量如圖3所示。全局變量允許用戶對腳本化FRED模型進行調整，而不需要直接編輯腳本本身。
展開 白光干涉儀測量材料表面三維形貌
白光干涉儀在測量材料表面三維形貌方面的應用非常廣泛，它通過非接觸式測量方法，能夠提供高精度的表面形貌數據。以下是白光干涉儀在測量三維形貌時的一些關鍵應用和特點：
1. 高精度測量：白光干涉儀能夠提供亞納米級的測量精度，非常適合于納米或亞納米級別的超高精度加工領域的檢測需求。它在同等放大倍率下的測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡 。
2. 非接觸式測量：作為一種非接觸式測量技術，白光干涉儀不會對樣品表面造成損傷，這對于易損或敏感材料的測量尤為重要。
3. 快速測量：白光干涉儀的測量速度快，可以快速獲取表面形貌數據，適合于快速檢測和質量控制。
4. 廣泛的測量范圍：白光干涉儀能夠測量從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，適用于不同材料和不同表面特性的測量。
5. 三維形貌重建：通過干涉條紋的變化，白光干涉儀能夠重建物體表面的三維形貌，提供詳細的表面特征信息。
6. 軟件分析：白光干涉儀通常配備有專門的軟件，用于操作控制、結果顯示和后處理，能夠以三維立體、二維平面以及斷面分布曲線方式顯示實時測量結果，并可對測量結果作進一步的修正處理 。
7. 應用領域：白光干涉儀在半導體制造、3C電子、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業中有廣泛應用 。
8. 圖像拼接技術：為了擴大測量視野范圍，白光干涉儀可以采用圖像拼接技術，通過軟件處理將多個測量區域的數據拼接成一個完整的三維形貌圖 。
9. 表面參數表征：白光干涉儀能夠測量并分析表面粗糙度、臺階高度、幾何輪廓等參數，為材料表面質量提供全面的評估。
10. 硬件構成：白光干涉儀的系統構成通常包括光學照明系統、光學成像系統、垂直掃描控制系統和信號處理系統 。
展開 天文光干涉儀
簡介
天文光干涉儀能夠實現恒星和星系的高角分辨率的測量。首次搭建的天文光干涉儀分別由菲索（1868）和邁克爾遜（1890）提出。邁克爾遜恒星干涉儀于1920年成功地測出參宿四的直徑。現如今，恒星干涉儀可用于前沿研究，如外行星識別和恒星的超高分辨率（4豪弧秒）成像。在本文中，一種經典的邁克遜恒星干涉儀將會在FRED里面進行設計和分析。
恒星干涉儀設計
系統的幾何結構如圖1所示。干涉儀由四個反射鏡、一對小孔、一個正透鏡和一個探測儀組成。
圖1 邁克爾遜恒星干涉儀的幾何結構。反射鏡M1和M2由可變的距離d分開。另一組反射鏡使光線轉向通過不透明掩膜上的一對小孔上。一個平凸透鏡放置在掩膜的后面，相應的具有吸收的探測器平面放置在透鏡的焦平面處。
考慮恒星的測量。恒星由一個多色光光源模擬，它在一個小的角度范圍內照射干涉儀，這對應于它的角直徑。正常入射在兩個路徑P1和P2之間沒有光程差。然而，進入到干涉儀中光線的光程差會隨著角度的增大而增大。探測器上生成的干涉圖樣的一些例子如圖2所示。
圖2 左：角度范圍為1弧秒的恒星在探測器上的白光干涉圖樣，白光的中心波長為0.55um，半帶寬為0.1um。干涉儀的小孔半徑為1mm，反射鏡距離為50mm。右：增加反射鏡間距到100mm的干涉圖樣，此干涉圖的能見度降低了。
全局變量的腳本
條紋可見度是光源角度范圍、光譜含量、小孔半徑和兩個外反射鏡（M1和M2）之間的距離d的函數。
展開 FRED案例展示：部分相干光的應用--天文光干涉儀
簡介:
天文光干涉儀能夠實現恒星和星系的高角分辨率的測量。首次搭建的天文光干涉儀分別由菲索（1868）和邁克爾遜（1890）提出。邁克爾遜恒星干涉儀于1920年成功地測出參宿四的直徑。現如今，恒星干涉儀可用于前沿研究，如外行星識別和恒星的超高分辨率（4豪弧秒）成像。在本文中，一種經典的邁克遜恒星干涉儀將會在FRED里面進行設計和分析。
①恒星干涉儀設計
系統的幾何結構如圖1所示。干涉儀由四個反射鏡、一對小孔、一個正透鏡和一個探測儀組成。
圖 1.邁克爾遜恒星干涉儀的幾何結構。反射鏡M1和M2由可變的距離d分開。另一組反射鏡使光線轉向通過不透明掩膜上的一對小孔上。一個平凸透鏡放置在掩膜的后面，相應的具有吸收的探測器平面放置在透鏡的焦平面處。
考慮恒星的測量。恒星由一個多色光光源模擬，它在一個小的角度范圍內照射干涉儀，這對應于它的角直徑。正常入射在兩個路徑P1和P2之間沒有光程差。然而，進入到干涉儀中光線的光程差會隨著角度的增大而增大。探測器上生成的干涉圖樣的一些例子如圖2所示。
圖2.左：角度范圍為1弧秒的恒星在探測器上的白光干涉圖樣，白光的中心波長為0.55um，半帶寬為0.1um。干涉儀的小孔半徑為1mm，反射鏡距離為50mm。右：增加反射鏡間距到100mm的干涉圖樣，此干涉圖的能見度降低了。
②全局變量的腳本
條紋可見度是光源角度范圍、光譜含量、小孔半徑和兩個外反射鏡（M1和M2）之間的距離d的函數。在實際中，改變反射鏡間距可以獲得預期的未知值：光源的角度范圍。為了觀察干涉圖樣上這些變量每個的影響，使用FRED內置的BASIC腳本環境，可以寫入帶有全局變量的嵌入式腳本。這些變量如圖3所示。全局變量允許用戶對腳本化FRED模型進行調整，而不需要直接編輯腳本本身。
展開 
[NEWSLETTER] 邁克爾遜干涉儀和光學計量學
自從1887年著名的邁克爾遜-莫雷實驗開始，邁克爾遜干涉儀及其變種在光學研究中發揮著重要作用。如今，人們仍然經常可以找到以邁克爾遜干涉儀形式配置的光學系統，例如相干掃描干涉儀。借助VirtualLab Fusion，尤其是在非序列場追跡的幫助下，我們展示了邁克爾遜白光干涉儀的工作原理，并展示了其如何應用于光學計量學。
邁克爾遜干涉儀
在充分考慮氙氣燈光源的光譜特性（即有限的相干長度）基礎上建模具有氙氣燈的邁克爾遜干涉儀。
光學層析掃描干涉儀
使用低相干氙氣燈，建立一個邁克爾遜干涉儀，用以精確掃描給定樣品的表面輪廓。
展開 激光干涉儀測量機床精度全面解析
而激光干涉儀是一種能夠測量機床精度的高精度測量裝置。它利用激光干涉現象來實現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優點，在機床加工領域有著廣泛的應用。
了解機床精度的重要性
機床精度直接影響著產品的質量和性能，它是制造業中至關重要的一個指標。在現代制造業中，隨著對產品精度要求的不斷提高，機床精度的重要性也日益凸顯。而激光干涉儀作為一種高精度測量工具，被廣泛應用于機床精度的測量中。
工作原理
激光干涉儀利用激光光束的干涉原理來測量物體的形狀和表面的高度差異。其原理是基于兩束相干光在空間交叉的地方發生干涉，形成干涉條紋，通過測量干涉條紋的變化來推斷被測量物體的參數。
測量原理
激光干涉儀的測量原理主要包括相位測量和位移測量。相位測量是通過測量干涉條紋的相位差來計算被測量物體的形狀、位置等參數；位移測量是通過測量干涉條紋的位移來確定物體的位移量。這兩種測量原理在不同應用場景下有著各自的優勢和適用性。
產品優勢
1、激光干涉儀具有非常高的測量精度和重復性。
2、激光干涉儀可以實現非接觸式測量，不會對被測量物體造成損傷。
3、激光干涉儀具有實時性測量能力，能夠同時測量多個位置或參數，提高測量效率。
產品應用
1.測量機床導軌的直線度和平行度。
導軌是機床中的重要零部件，直線度和平行度的誤差會直接影響機床的加工精度和穩定性。激光干涉儀可以通過測量導軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差，從而指導后續的優化和調整。
2.測量機床工作臺的平面度和垂直度。
機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質量。
展開 FRED運用：天文光干涉儀
簡介
天文光干涉儀能夠實現恒星和星系的高角分辨率的測量。首次搭建的天文光干涉儀分別由菲索（1868）和邁克爾遜（1890）提出。邁克爾遜恒星干涉儀于1920年成功地測出參宿四的直徑。現如今，恒星干涉儀可用于前沿研究，如外行星識別和恒星的超高分辨率（4豪弧秒）成像。在本文中，一種經典的邁克遜恒星干涉儀將會在FRED里面進行設計和分析。
恒星干涉儀設計
系統的幾何結構如圖1所示。干涉儀由四個反射鏡、一對小孔、一個正透鏡和一個探測儀組成。
圖1 邁克爾遜恒星干涉儀的幾何結構。反射鏡M1和M2由可變的距離d分開。另一組反射鏡使光線轉向通過不透明掩膜上的一對小孔上。一個平凸透鏡放置在掩膜的后面，相應的具有吸收的探測器平面放置在透鏡的焦平面處。
考慮恒星的測量。恒星由一個多色光光源模擬，它在一個小的角度范圍內照射干涉儀，這對應于它的角直徑。正常入射在兩個路徑P1和P2之間沒有光程差。然而，進入到干涉儀中光線的光程差會隨著角度的增大而增大。探測器上生成的干涉圖樣的一些例子如圖2所示。
圖2 左：角度范圍為1弧秒的恒星在探測器上的白光干涉圖樣，白光的中心波長為0.55um，半帶寬為0.1um。干涉儀的小孔半徑為1mm，反射鏡距離為50mm。右：增加反射鏡間距到100mm的干涉圖樣，此干涉圖的能見度降低了。
全局變量的腳本
條紋可見度是光源角度范圍、光譜含量、小孔半徑和兩個外反射鏡（M1和M2）之間的距離d的函數。在實際中，改變反射鏡間距可以獲得預期的未知值：光源的角度范圍。為了觀察干涉圖樣上這些變量每個的影響，使用FRED內置的BASIC腳本環境，可以寫入帶有全局變量的嵌入式腳本。這些變量如圖3所示。
展開 邁克爾遜干涉儀和光學計量學
自從1887年著名的邁克爾遜-莫雷實驗開始，邁克爾遜干涉儀及其變種在光學研究中發揮著重要作用。如今，人們仍然經常可以找到以邁克爾遜干涉儀形式配置的光學系統，例如相干掃描干涉儀。借助VirtualLab Fusion，尤其是在非序列場追跡的幫助下，我們展示了邁克爾遜白光干涉儀的工作原理，并展示了其如何應用于光學計量學。
邁克爾遜干涉儀
在充分考慮氙氣燈光源的光譜特性（即有限的相干長度）基礎上建模具有氙氣燈的邁克爾遜干涉儀。
光學層析掃描干涉儀
使用低相干氙氣燈，建立一個邁克爾遜干涉儀，用以精確掃描給定樣品的表面輪廓。
展開 