靜電-結構耦合分析：
在電極與懸臂梁之間加直流電壓，了解不同的電壓下，懸臂梁的Y向位移和內部應力情況。
動態分析：
（1）U形懸臂梁自然狀態下模態分析：無驅動電壓時，U形結構的諧振頻率分析
（2） U形懸臂梁諧響應分析：驅動電壓為諧波時，以該電壓的頻率為變量，U形結構兩臂的最大位移隨驅動電壓頻率變化的特性（位移的頻率特性）
（3）預應力狀態下模態分析：當驅動電壓為某直流量，也就是U形結構的兩臂受以固定作用力時（所謂預應力狀態），U型結構的諧振頻率分析
（4）預應力狀態諧響應分析：當驅動電壓在此基礎上疊加一交流小分量，也就是預應力條件下，U形結構兩臂的最大位移隨驅動電壓頻率變化的特性
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