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薄膜沉積是指在硅片 襯底上沉積一層待處理的薄膜材料，如二氧化硅、氮化硅、多晶硅等非金屬以及銅等金屬。

在“山水林田湖草沙”生態恢復領域內廣泛實施并取得了示范性效果，尤其適用于巖質或土質等邊坡及高陡邊坡，包括露天金屬礦山、露天非金屬礦山等。已列入國家發展改革委、科技部、工業和信息化部、自然資源部組織編制的《綠色技術推廣目錄（2020年）》。