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nbsp;</div><div contenteditable="false" width="100%">論壇時間：2024年11月18-19日&nbsp;</div><div contenteditable="false" width="100%">展會地點：上海新國際博覽中心</div><div contenteditable="false" width="100%">展會規模：50,000平方米、

nbsp;</div><div contenteditable="false" width="100%">論壇時間：2024年11月18-19日&nbsp;</div><div contenteditable="false" width="100%">展會地點：上海新國際博覽中心</div><div contenteditable="false" width="100%">展會規模：50,000平方米、

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圖1（a）所示的SRG，可以通過幾種方法製造，如電子束寫入，光刻，納米壓印，或鑽石車削。與VHG不同，SRG沒有空間變化的折射率。相反，光柵的表面是由周期性的微結構組成的。為了對SRG進行建模，需要採用類似傅里葉模態法（也叫RCWA）的算法。本文將介紹VHG的工具。