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ZEMAX軟件技術(shù)應(yīng)用專題:利用Kogelnik方法模擬體積全像光柵的繞射效率
圖1(a)所示的SRG,可以通過幾種方法製造,如電子束寫入,光刻,納米
壓
印,或鑽石車削。與VHG不同,SRG沒有空間變化的折射率。相反,光柵的表面是由周期性的微結(jié)構(gòu)組成的。為了對SRG進行建模,需要採用類似傅里葉模
態(tài)
法(也叫RCWA)的算法。本文將介紹VHG的工具。
2122
w**elab86_Swsp
??? 3年前
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