以 DVD 光碟機的內(nèi)部機構(gòu)件為例,除了平整度的要求外,由於原始設(shè)計的流道重於成品體積(20g:16g),而客戶要求 Tokyo Seiki 減輕流道重量,經(jīng)過五次的變更設(shè)計分析,流動指數(shù)的比較為 88%:99%,流道與成品體積比較為 10g:16g。
相反,光柵的表面是由周期性的微結(jié)構(gòu)組成的。為了對SRG進行建模,需要採用類似傅里葉模態(tài)法(也叫RCWA)的算法。本文將介紹VHG的工具。關(guān)於SRG的工具,請參見知識庫文章Simulating diffraction efficiency of surface-relief grating using the RCWA method。