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內部安全功能包括使用外部限流電阻實現輸出電流限制、欠壓鎖定、過電流保護（OCP）和過熱保護關機。過溫輸出報警，可用于指示熱關機。

因此深紫外光刻膠采取了與i-line和g-line光刻膠完全不同的技術體系，這種技術體系被稱為化學放大光阻體系(Chemically Amplified Resist, CAR)。 在CAR技術體系中，光刻膠中的光引發劑經過曝光后并不直接改變光刻膠在顯影液中的溶解度，而是產生酸。在后續的熱烘培流程的高溫環境下，曝光產生的酸作為催化劑改變光刻膠在顯影液中的溶解度。

20世紀60年代開始研究離子注入機，先后承擔了90—65nm中束流和45—22nm大束流等重大項目的攻關任務，目前已擁有中束流離子注入機、低能大束流離子注入機、高能離子注入機和定制離子注入機四種產品，構建了較為系統的集成電路離子注入機譜系。