除了定義浸沒在氧化物中的金屬射頻共面傳輸線,還需導(dǎo)入步驟2中計(jì)算的電阻和電容數(shù)據(jù)與結(jié)構(gòu),表示傳輸線之間的平板電阻和pn結(jié)的緊湊模型。 在此借助腳本,首先調(diào)用Eigenmode求解器,采用零偏壓下的電壓相關(guān)電容,對(duì)頻率10GHz~100GHz,間格為10GHz的每個(gè)頻率求解等效折射率(其中虛部為損耗)和群折射率,再以腳本計(jì)算出基本模態(tài)的阻抗(其中實(shí)部為電阻,虛部為電抗)。