拓荊科技 SACVD 也是國內(nèi)唯一一家產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)該設(shè)備的廠商,而北方華創(chuàng) CVD 產(chǎn) 品除 PECVD 外主要為 LPCVD、APCVD。ALD 產(chǎn)品方面,拓荊科技與北方華創(chuàng)產(chǎn)品應(yīng)用工藝有 所差異(拓荊科技ALD應(yīng)用于SADP工藝、STI表面薄膜;北方華創(chuàng)ALD應(yīng)用于HKMG工藝)。由此可見,拓荊科技與北方華創(chuàng)尚不存在直接競爭。
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第三代半導(dǎo)體聯(lián)合創(chuàng)新孵化中心 ??? 3年前