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2021年，Duan團隊[158]搭建了一套基于DMD面投影的高分辨納米光刻系統，如圖10(c)所示，利用超快激光的非線性光學效應和非化學放大光刻膠的非線性固化特性，獲得了線寬僅為λ/12(32nm)的納米線，并且高效制備了數百微米尺度與納米尺度并存的跨尺度微納結構。