4)ALD(Atomic Layer Deposition)原子層沉積ALD采用單原子層逐層生長(zhǎng),既可用于低k介質(zhì)也可用于金屬柵極/高k金屬化合物薄膜沉積。ALD是通過(guò)脈沖波進(jìn)行單原子層膜逐層生長(zhǎng),將原子逐層沉積在襯底材料上,區(qū)別于傳統(tǒng)CVD在于,CVD將不同反應(yīng)氣體同時(shí)導(dǎo)入腔室,ALD是讓不同材料的脈沖波在不同時(shí)間到達(dá)晶圓表面,兩種氣體周期性地進(jìn)行反應(yīng)。