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Zernike 多項式為單位圓環上一系列正交的多項式。周期性部分是以一個固定振幅和頻率疊加到表面上的矢高值，其形式與 OpticStudio 內置的 “us_eaperiodic.dll” 相同。

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3）主偏角(Kr ) 的選用原則 首先考慮車床、夾具和刀具組成的車削 工藝系統的剛性，如系統剛性好，主偏角應取小值，這樣有利于提高車刀使用壽命、改善散熱條件及表面粗造度。其次要考慮加工工件的幾何形狀，當加工臺階時，主偏角應取90°，加工中間切入的工件，主偏角一般取60 °。主偏角一般在30°～ 90°之間，最常用的是45°、75 °、90 °。

（4） 高端工藝平臺與核心裝備的“卡脖子”風險五維傳感芯片的制造，無論是超構表面的300mm晶圓級加工、SPAD器件所需的高反向偏壓隔離工藝，還是自由曲面模具的超精密車削，都嚴重依賴進口的尖端裝備和工藝平臺。從ASML的光刻機到Moore Nanotech的金剛石車床，從imec的工藝模塊授權到Synopsys的光學設計軟件，國內產業在工具鏈的源頭上面臨著系統性的受制于人。