2.2 Ansys Lumerical FDTD/RCWA:亞波長(zhǎng)光柵設(shè)計(jì)聚焦納米級(jí)表面浮雕光柵仿真建模,是衍射波導(dǎo)核心器件設(shè)計(jì)關(guān)鍵: 采用嚴(yán)格耦合波分析(RCWA)與時(shí)域有限差分(FDTD)求解器,建模輸入、輸出耦合光柵衍射特性; 優(yōu)化光柵核心參數(shù),適配530nm基準(zhǔn)波長(zhǎng)、1.52折射率波導(dǎo)材料; 導(dǎo)出JSON光柵數(shù)據(jù)文件與.sop插件文件,以表面屬性形式接入Speos