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典型應用 3、SJ5730系列——高精度粗糙度輪廓一體測量 SJ5730系列高精度粗糙度輪廓一體測量儀納米級光學傳感器，可以對零件表面，尤其是大范圍曲面，如圓弧面和球面、異型曲面等進行檢測，是大曲面測量（軸承、人工關節、精密模具、齒輪、葉片、軸承滾子）領域精細粗糙度測量的利器。

一體型輪廓儀以其高精度、高穩定性和多功能性，在精密測量領域樹立了新的標桿。無論是在研發、生產還是質量控制環節，SJ5800都是提升測量效率和準確性的理想選擇。

SJ5730-100高精度粗糙度輪廓一體測量儀 SJ5730-200高精度粗糙度輪廓一體測量儀

在精密制造領域，表面粗糙度的測量是確保產品質量的關鍵步驟。光學3D表面輪廓儀為這一需求提供了解決方案。 在半導體制造、3C電子、光學加工等高精度行業，表面粗糙度的測量精度直接影響到產品的性能和可靠性。SuperView W系列光學3D表面輪廓儀正是為了滿足這一需求而設計的。

它是以白光干涉技術為原理，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

其中表面形貌的3D測量，包括了輪廓的測量以及表面粗糙度的測量，是微納結構測量最為基礎和重要的項目。目前常用的微結構表面形貌測量方法分為接觸式和非接觸式。運用非接觸式測量技術的3D光學檢測儀器，大多是基于光學方法（干涉顯微法、自動聚焦法、激光干涉法、光學顯微干涉法等），可對精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實現微納級測量，在微納米結構檢測中有著重要意義。

（2）白光干涉儀也可以測量臺階高，但更多的是測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。特別是能滿足超光滑表面所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求。

白光干涉儀的形貌測量，以表面形貌為主，即工件某一個表面上的微觀形貌：1、微觀輪廓尺寸測量：主要是臺階高、槽深之類，涉及到最小縱向10nm量級，在驗證上可以與原子力顯微鏡、臺階儀交叉驗證。2、粗糙度測量：白光測量的粗糙度范圍從0.1nm到10μm級別。面和線粗糙度測量，最高可確保0.1nm的測量可靠性，不限制材質和形狀。

光學 3D 表面輪廓儀能夠精確測量芯片的微觀結構，確保芯片的質量和性能符合嚴格的標準； 在機械制造領域，它可以用于檢測零部件的表面質量，為加工工藝的優化提供依據； 例如，光學 3D 表面輪廓儀通過納米傳動與掃描技術、白光干涉與高精度3D重建技術實現0.1nm級表面粗糙度測量，在光通信行業中輕松實現針對光纖端面粗糙度的測量

； 可將數據掃描點輸出到CAD、ASCII格式文件，方便細節觀察工件表面缺陷； 可進行CNC批量測量，CNC數據分析，提升測量效率； 進口光柵傳感器系統，儀器的精度及長期穩定性較好。

尤其在近幾年，先進節點走向10nm、7nm、5nm......白光3D輪廓測量儀適配芯片制造生產線，致力于滿足時下半導體封裝中晶圓減薄厚度、晶圓粗糙度、激光切割后槽深槽寬的測量需求，助力半導體行業發展。W1白光3D輪廓測量儀X/Y方向標準行程為140*100mm，滿足晶圓表面大范圍多區域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高、彈坑等微納米級別精度的測量。

2、光學3D表面輪廓儀（白光干涉儀）（1）產品概述光學3D表面輪廓儀主要是用于產品微觀形貌測量，主要是測微觀粗糙度，精度一般是亞微米和納級別的。能夠非接觸式快速測量精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸。（2）產品特點光學3D表面輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。

傳統接觸式測量或二維視覺檢測，在面對復雜曲面、異形結構及微觀形貌時，往往力不從心，數據片面，效率低下。3D輪廓掃描儀是一種專門用于捕捉物體三維形狀和幾何特征的高精度測量設備。它通過非接觸式的掃描技術，將被測物體的表面形貌轉化為數字化的點云或網格模型，廣泛應用于工業檢測、逆向工程、質量控制和產品設計等領域。

而粗糙度是影響光學曲面質量的重要因素之一。為確保光學元件的卓越性能，輪廓儀成為不可或缺的檢測工具。它以其超高精度、全自動化、多功能性和數據分析的特點，實現非球面鏡片的高精度專業檢測，解讀光學曲面的微妙變化。 光學鏡片曲面測量難點 1、幾何復雜性 光學鏡片具有各種各樣的幾何形狀，包括球面、非球面和自由曲面等。

科學選用專用平臺不僅能保障檢測數據的可靠，還能提升檢測效率。在制造業向高精度、高附加值轉型的趨勢下，專用高精度試驗T型槽平臺成為檢測的核心裝備，對推動產品品質升級具有重要意義。

多種高精度測量儀器被用于微觀尺寸的測量，其中包括光學3D表面輪廓儀（白光干涉儀）、共聚焦顯微鏡和臺階儀。有效評估材料表面的微觀結構和形貌，從而指導生產過程、優化產品性能。 光學3D表面輪廓儀（白光干涉儀） 光學3D表面輪廓儀是一種利用白光干涉原理進行非接觸式測量的高精度儀器。

6、SJ5730粗糙度輪廓測量一體機SJ5730粗糙度輪廓測量一體機具有12mm-24mm的粗糙度輪廓一體式測量范圍，分辨率達到0.1nm，一次掃描即可評價Ra粗糙度參數及微觀輪廓Pt參數，適合測量大曲面上的粗糙度，同時具備專業的軸承輪廓度評價功能，是大曲面測量（軸承、人工關節、精密模具、齒輪、葉片、光學鏡片）領域精細粗糙度測量的利器。

4.速度：光學3D表面輪廓儀視圖與分析工具同框設計，實現分析過程的所見即所得，大大縮減了操作時間；且批量測量樣品時，無需精確對焦，即可一鍵完成測量分析，有效提高生產效率。SuperViewW光學3D表面輪廓儀可加裝高速掃描模塊W-Ultra，在0.1nm分辨率下，其掃描速度提升到原機型的4倍以上。

非接觸高精密光學測量方式，不會劃傷甚至破壞工件，不僅能進行更高精度測量，在整個測量過程還不會觸碰到表面影響光潔度，能保留完整的晶圓片表面形貌。測量工序效率高，直接在屏幕上了解當前晶圓翹曲度、平面度、平整度的數據。 硅晶圓粗糙度測量 晶圓IC減薄后的粗糙度檢測白光干涉儀所具有技術競爭力在于接觸式和光學三維輪廓儀的結合。

一般將僅能顯示表面粗糙度數值的測量工具稱為表面粗糙度測量儀，同時能記錄表面輪廓曲線的稱為表面粗糙度輪廓儀。這兩種測量工具都有電子計算電路或電子計算機，它能自動計算出輪廓算術平均偏差Ra，微觀不平度十點高度Rz，輪廓*大高度Ry和其他多種評定參數，測量效率高，適用于測量Ra為0.025～6.3微米的表面粗糙度。