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通過精確測量粗糙度，我們能夠確保產品能夠互換使用，提高生產效率和產品性能。 針對汽車、飛機等精密工業加工領域粗糙度的高精度測量需求，中圖儀器SJ57系列輪廓儀創新精密機構、光柵細分掃描控制關鍵技術，多種型號產品適配各種不同的生產環境和工作需要。

Hybrid系列復合式閃測儀Hybrid系列復合式閃測儀是一種先進的全自動影像測量儀，基于大理石主體機臺和精密伺服控制系統，采用電動變倍鏡頭和大視場雙遠心鏡頭的混合架構，充分發揮光學電動變倍鏡頭的高精度優勢和大視場雙遠心鏡頭的效率優勢，能實現精度和效率的優化組合測量。

中圖儀器是一家自主研發型精密測量儀器公司，堅持以技術創新為發展基礎，歷經20年的技術積累和發展實踐，致力于推進高端裝備產品向自主化、智能化、高端化邁進，能為不同客戶、不同行業、不同應用場景提供全尺寸鏈解決方案，助力先進制造業發展。

在納米顯微測量領域，基于納米傳動與掃描技術、白光干涉與高精度3D重建技術、共聚焦測量等技術積累，推出了具有自主知識產權的白光干涉儀（Z向分辨率可高達0.1納米）和共聚焦顯微鏡，廣泛應用于半導體、3C電子、高校科研等行業領域。 微納米超精密測量技術，精確捕捉微觀世界 納米級測量技術是中圖儀器科技創新的重要體現。

三維測量技術以精密機械為基礎，綜合應用了電子技術、計算機技術、光學技術和數控技術等先進技術，可以對機械、汽車、航空、家具、工具原型等測量出高精度的幾何零部件以及測量復雜形狀的機械零部件，給各行業的工作帶來了很大的便利性。CHOTEST中圖儀器是集接觸式測量技術，CCD影像測量技術，激光測量技術，3D顯微測量技術于一體的技術密集型企業，專注于精密儀器的研發、制造和銷售。

中圖儀器顯微測量儀集合光學干涉、3D成像算法、納米驅動關鍵技術，為制造業提供了準確、可靠的測量手段： 1、三維顯微成像 W系列光學3D表面輪廓儀，Z向測量精度達到納米級。它基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。

在納米顯微測量領域，中圖儀器基于納米傳動與掃描技術、白光干涉與高精度3D重建技術、共聚焦測量等技術積累，推出了具有自主知識產權的白光干涉儀（Z向分辨率可高達0.1納米）和共聚焦顯微鏡，廣泛應用于半導體、3C電子、高校科研等行業領域。

什么是臺階儀？ 臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。 什么是臺階儀分辨率？ 臺階儀分辨率是指在臺階儀的測量范圍內，儀器能夠精確分辨出的最小距離。分辨率越高，儀器就能夠分辨出更小的表面形貌差異，得到更精確的測量結果。

中圖儀器在追求新質生產力的過程中，不斷創新，從納米到百米，全自主研發高質量幾何量測量儀器設備，高強度研發補齊國產精密測量短板。 在納米顯微測量領域，中圖顯微測量儀基于納米傳動與掃描技術、白光干涉與高精度3D重建技術、共聚焦測量等技術，能夠對微小對象進行高精度、高分辨率的測量和分析，引領精細化生產。

顯微測量儀是納米級精度的表面粗糙度測量技術。它利用光學、電子或機械原理對微小尺寸或表面特征進行測量，能夠提供納米級甚至更高級別的測量精度，這對于許多科學和工業應用至關重要。 在拋光至粗糙表面測量中，中圖儀器的顯微測量儀器具有從0.1nm到1mm的測量范圍，每種儀器都有其獨特的功能和應用范圍。

相信隨著科技的不斷發展，臺階儀將會在測量領域發揮更加重要的作用。 臺階儀優勢總結 1、高精度的測量能力 臺階儀在微觀表面形貌的測量中非常準確，能夠滿足高精度測量的需求。CP系列臺階儀具有亞埃級分辨率，結合單拱龍門式設計降低環境噪聲干擾，確保儀器具有良好的測量精度及重復性。

- 采用高性能的測控系統，確保測量的高精度和高重復性。 4、SuperView W1系列光學3D表面輪廓儀 - 利用白光干涉技術，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。 - 適用于半導體、3C電子、光學加工等領域的超精密加工行業。

中圖儀器基于3D光學成像測量非接觸、操作簡單、速度快等優點，以光學測量技術創新為發展基礎，研發出了常規尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器等，能提供從納米到百米的精密測量解決方案。

1、測量方式（1）CP200臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，測量時通過使用2μm半徑的金剛石針尖在超精密位移臺移動樣品時掃描其表面，測針的垂直位移距離被轉換為與特征尺寸相匹配的電信號并最終轉換為數字點云信號，數據點云信號在分析軟件中呈現并使用不同的分析工具來獲取相應的臺階高或粗糙度等有關表面質量的數據。

臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，最高垂直分辨率可達亞埃米級，且垂直方向動態比率高，可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。探針物理接觸測量結果穩定可靠，重復性好，精準拿捏測量的輪廓形貌細節。

CP系列臺階儀是一款采用可變差動電容傳感器LVDC的超精密接觸式微觀輪廓測量儀，具備影像導航功能的亞納米級分辨率（0.1nm的縱向分辨率），主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。 線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um量程下可達0.01埃，滿足被測件測量精度要求。

-—————————————— 中圖儀器 ———————————————是一家專業的幾何量測量儀器制造商，旗下有專門的微納檢測儀器事業部，目前有SuperView系列光學3D表面輪廓儀、VT6000系列共聚焦顯微鏡、CP系列臺階儀等三大類納米級3D測量產品。憑借著多年在客戶端應用場景下的錘煉，在3D顯微測量領域積累了豐富的開發與應用經驗。

Xtreme Vision顯微測量軟件是中圖儀器為SuperView系列光學3D表面輪廓儀、VT系列共聚焦顯微鏡打造的一款功能強大的微觀形貌測量分析平臺,廣泛應用于對器件表面質量要求極高的光學加工、半導體制造與封裝、超精密加工、3C產業鏈、航空航天、國防工業以及科學研究等領域。

3、應用臺階儀廣泛應用于大學、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫療設備等行業領域，可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。 CP系列臺階儀典型應用二、輪廓儀輪廓儀是測量工件的外形尺寸和形狀信息，適用于復雜形狀和曲線的測量。

共聚焦顯微鏡廣泛應用于對器件表面質量要求非常高的光伏太陽能、半導體封裝、激光加工、光學膜材、3C產業鏈等高端制造業，同時在航空航天、國防工業以及科學研究等領域也存在普遍使用。 臺階儀 臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺階高、膜層厚度、粗糙度等微觀形貌參數的測量。