正性光刻膠響應(yīng)波長為330-430納米,膠膜厚為1-3微米。負(fù)性光刻膠在紫外線等曝光源的照射下,將圖形轉(zhuǎn)移至光膠涂層上,在顯影溶液的作用下,負(fù)性光刻膠曝光部分產(chǎn)生交聯(lián)反應(yīng)而不溶于顯影液;未曝光部分溶于顯影液,將與掩膜上相反的圖形復(fù)制到襯底上。負(fù)性光刻膠響應(yīng)波長為 330-430 納米,膠膜厚0.3-1微米。正性光刻膠的分辨率更高,無溶脹現(xiàn)象。因此,正性光刻膠的應(yīng)用比負(fù)性光刻膠更為普及。圖2.
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半導(dǎo)體材料與工藝設(shè)備 ??? 3年前