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網格采用Ansys MESHING進行劃分，網格數量為10.7萬，由于在擋板附近為速度變化較大區域，因此采用局部網格加密的方法，如圖5所示。

網格采用ANSYS MESHING進行劃分，網格數量為10.7萬，由于在擋板附近為速度變化較大區域，因此采用局部網格加密的方法，如圖5所示。 圖4 反應器計算區域 圖5 反應器計算區域劃分網格ANSYS FLUNET中邊界條件設置：進口速度0.07m/s，溫度475K，組分H2:SiH4=9:1（摩爾分數）；出口為壓力出口邊界。

與系統耦合2.0的新集成，允許將EMA3D Charge中的等離子體物理場變量推送給其他Ansys物理場求解器。加強了與Ansys Fluent的多物理場耦合，用于電弧建模中的發熱、對流和耗散建模，或PE-CVD應用中的等離子體動力學模型。

Ansys Lumerical產品系列可幫助工程師進行光學波導仿真，而Ansys HFSS高頻電磁仿真軟件則可用于射頻和微波仿真。仿真可以幫助工程師更好地設計波導，而無需進行大量反復試驗和原型制作。以下是仿真軟件可實現的應用示例： 設計不同類型的波導，這些波導由不同材料制成，具有多種尺寸規格。