應(yīng)用前景:從圖像處理到納米制造1.實(shí)時(shí)圖像處理超表面微分器可集成于顯微鏡或攝像頭中,實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)邊緣增強(qiáng)、相位成像,尤其在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,無需染色即可觀察透明樣本的相位細(xì)節(jié)(如細(xì)胞膜結(jié)構(gòu))。2.半導(dǎo)體納米制造在芯片光刻工藝中,多層掩模的對(duì)準(zhǔn)精度直接決定電路性能。傳統(tǒng)光學(xué)對(duì)準(zhǔn)受限于衍射極限,而基于超表面的超分辨率探測器可將對(duì)準(zhǔn)精度提升至亞微米級(jí)(圖5)。
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摩爾芯創(chuàng) ??? 4月前