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規則化網格劃分采用三維二十節點六面體實體單元SOLID186，利用線段分割數參數NSize控制網格單元大小，掃略劃分圖1.c幾何實體，見圖6所示。

這樣不但不會因為計算而影響整體模型而且減少計算關鍵點的時間和數量，為確定關鍵點提供了方便，將計算出的點在 ABAQUS 中定義出來并以此連接起來。再根據點、線、面之間的關系。將定義輪輞的關鍵點用線段連接，然后將線段圍城的封閉區間填充為面。 第三步，為了更好地描述輪輞的特征，我們需要利用一些特殊的技術，如精細的測量、精細的繪圖等，從而獲得更加準確的輪輞輪廓線。

，前者在單元的中心增加一個節點，節點順序為：1、3、2。

據芯思想研究院（ChipInsights）數據，2020年上述三家公司半導體用光刻機出貨413臺，較2019年的359臺增加54臺，漲幅為15%。其中，ASML公司出貨258臺，占比62.47%；尼康公司出貨31臺，占比7.51%；佳能公司出貨122臺，占比29.54%。在10納米節點以下，ASML穩穩占據100%的市場，佳能和尼康等同業競爭對手已無力追趕。

940公里，較上年同期增加1898公里。

a倍，則K1也增加a倍，K2也增加a倍，帶入計算公式，裂紋擴展角度是不變的。

（2）由切削過程中的應力云圖及切削碎屑的大小可知，隨著切削深度的增加，應力區域逐漸向切削刀具前端累積，切削形成的碎屑也不斷增大，切削面的粗糙度逐漸由平坦轉變為粗糙。